Ver3.0 ๐ฌ ์ฐจ์ธ๋ GAA ํธ๋์ง์คํฐ ์ค๊ณ์ ๋ชจ๋ ๊ฒ

๐ฌ ์ฐจ์ธ๋ GAA ํธ๋์ง์คํฐ ์ค๊ณ์ ๋ชจ๋ ๊ฒ
๋ฐ๋์ฒด์ ๋ฏธ๋๋ฅผ ์ฌ๋ ํ์ ์ ์ธ ํธ๋์ง์คํฐ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํํค์ณ๋ณด์! ๐
๐ฏ GAA ํธ๋์ง์คํฐ, ์ ์ง๊ธ ์ฃผ๋ชฉ๋ฐ๋ ๊ฑธ๊น?
์น๊ตฌ์ผ, ํน์ ์ค๋งํธํฐ์ด ํด๊ฐ ๊ฐ์๋ก ๋ ๋นจ๋ผ์ง๊ณ ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ๋ ์ค๋ ๊ฐ๋ ๊ฑฐ ๋๊ปด๋ดค์ด? ๐ค ๊ทธ๊ฒ ๋ค ํธ๋์ง์คํฐ ๋๋ถ์ด์ผ. ํธ๋์ง์คํฐ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์นฉ์ ๊ฐ์ฅ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ ์์์ธ๋ฐ, ์ด๊ฒ ์์์ง์๋ก ์นฉ ์ฑ๋ฅ์ด ์ข์์ง๊ฑฐ๋ . ๊ทธ๋ฐ๋ฐ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์๊ฒผ์ด. ๊ธฐ์กด ๋ฐฉ์์ผ๋ก๋ ๋ ์ด์ ์๊ฒ ๋ง๋ค๊ธฐ๊ฐ ์ด๋ ค์์ง ๊ฑฐ์ผ! ๐ฑ
๊ทธ๋์ ๋ฑ์ฅํ ๊ฒ ๋ฐ๋ก GAA(Gate-All-Around) ํธ๋์ง์คํฐ์ผ. ์ด๋ฆ ๊ทธ๋๋ก ๊ฒ์ดํธ๊ฐ ์ฑ๋์ ์์ ํ ๋๋ฌ์ธ๋ ๊ตฌ์กฐ์ธ๋ฐ, ์ด๊ฒ ์ ํ๋ช ์ ์ด๋๊ณ ? ์ง๊ธ๋ถํฐ ์ฐจ๊ทผ์ฐจ๊ทผ ์์๋ณด์! ๐ก
๐ ํธ๋์ง์คํฐ์ ๊ธฐ๋ณธ ์๋ฆฌ๋ถํฐ ์ดํดํ๊ธฐ
GAA๋ฅผ ์ ๋๋ก ์ดํดํ๋ ค๋ฉด ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ๋ญ์ง๋ถํฐ ์์์ผ ํด. ํธ๋์ง์คํฐ๋ ์ฝ๊ฒ ๋งํ๋ฉด ์ ๊ธฐ ์ ํธ๋ฅผ ์ ์ดํ๋ ์ค์์น์ผ. ๐๏ธ ์๋๊ผญ์ง๋ฅผ ์๊ฐํด๋ด. ์์ก์ด๋ฅผ ๋๋ฆฌ๋ฉด ๋ฌผ์ด ๋์ค๊ฑฐ๋ ๋ฉ์ถ์์? ํธ๋์ง์คํฐ๋ ๋น์ทํด. ๊ฒ์ดํธ(Gate)๋ผ๋ ๋ถ๋ถ์ ์ ์์ ๊ฑธ๋ฉด ์์ค(Source)์์ ๋๋ ์ธ(Drain)์ผ๋ก ์ ๋ฅ๊ฐ ํ๋ฅด๊ฑฐ๋ ๋ฉ์ถ๋ ๊ฑฐ์ง.
2. ์์ค(Source): ์ ์๊ฐ ์ถ๋ฐํ๋ ๊ณณ. ์ ๋ฅ์ ์์์ ์ด์ผ.
3. ๋๋ ์ธ(Drain): ์ ์๊ฐ ๋์ฐฉํ๋ ๊ณณ. ์ ๋ฅ์ ๋์ฐฉ์ ์ด์ง.
๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ด ์ฌ์ด์ ์ฑ๋(Channel)์ด๋ผ๋ ์ ๋ฅ ํต๋ก๊ฐ ์์ด. ๊ฒ์ดํธ ์ ์์ ๋ฐ๋ผ ์ด ์ฑ๋์ด ์ด๋ฆฌ๊ณ ๋ซํ๋ ๊ฑฐ์ผ! โก
์ ํต์ ์ธ ํ๋ฉด(Planar) ํธ๋์ง์คํฐ๋ ๋ง ๊ทธ๋๋ก ํํํด. ๊ฒ์ดํธ๊ฐ ์ฑ๋ ์์ ๋ฑ ๋ถ์ด์๋ 2D ๊ตฌ์กฐ์ง. ์ด๊ฒ 1960๋ ๋๋ถํฐ 2000๋ ๋ ์ด๋ฐ๊น์ง ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ์ด๋์์ด. ํ์ง๋ง ๋ฌธ์ ๊ฐ ์์์ด. ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ์๊ฒ ๋ง๋ค์๋ก ๋จ์ฑ๋ ํจ๊ณผ(Short Channel Effect)๋ผ๋ ๊ฒ ์ฌํด์ง๋ ๊ฑฐ์ผ. ๐ฐ
๋จ์ฑ๋ ํจ๊ณผ๊ฐ ๋ญ๋๊ณ ? ๊ฒ์ดํธ๊ฐ ์ฑ๋์ ์ ๋๋ก ์ ์ดํ์ง ๋ชปํ๋ ํ์์ด์ผ. ๋ง์น ์๋๊ผญ์ง๋ฅผ ์ ๊ฐ๋๋ฐ๋ ๋ฌผ์ด ์๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ, ๊ฒ์ดํธ ์ ์์ ๊บผ๋ ์ ๋ฅ๊ฐ ๊ณ์ ํ๋ฅด๋ ๊ฑฐ์ง. ์ด๊ฑธ ๋์ค ์ ๋ฅ(Leakage Current)๋ผ๊ณ ํด. ์ด๊ฒ ์ฌํด์ง๋ฉด ์ ๋ ฅ ์๋น๊ฐ ๋์ด๋๊ณ ์นฉ์ด ๋จ๊ฑฐ์์ ธ. ๐ฅ
๐๏ธ FinFET์ ๋ฑ์ฅ: 3D ํ๋ช ์ ์์
2011๋ , ์ธํ ์ด 22nm ๊ณต์ ์์ FinFET(Fin Field-Effect Transistor)์ ์ฒ์ ๋์ ํ์ด. ์ด๊ฑด ์ ๋ง ํ๋ช ์ ์ด์์ง! ๐ ํ๋ฉด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ฒ๋ฆฌ๊ณ ์ฑ๋์ ์ธ์์ ์ง๋๋ฌ๋ฏธ(Fin) ๋ชจ์์ผ๋ก ๋ง๋ ๊ฑฐ์ผ. ๊ฒ์ดํธ๊ฐ ์ด ํ์ 3๋ฉด์ ๊ฐ์ธ๋๊น ์ฑ๋ ์ ์ด๋ ฅ์ด ์์ฒญ๋๊ฒ ์ข์์ง ๊ฑฐ์ง.
๊ฒ์ดํธ ์ ์ด: 1๋ฉด
๋์ค ์ ๋ฅ: ๋์
์ง์ ๋: ์ ํ์
๊ฒ์ดํธ ์ ์ด: 3๋ฉด
๋์ค ์ ๋ฅ: ๋ฎ์
์ง์ ๋: ํฅ์
FinFET ๋๋ถ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ ๊ณ๋ 14nm, 10nm, 7nm, 5nm๊น์ง ๋ฏธ์ธ๊ณต์ ์ ๊ณ์ ๋ฐ์ ์ํฌ ์ ์์์ด. ์ผ์ฑ์ ์์ TSMC ๊ฐ์ ํ์ด๋๋ฆฌ ์ ์ฒด๋ค์ด ์น์ดํ๊ฒ ๊ฒฝ์ํ๋ฉด์ ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ์ ์์ผฐ์ง. ํ์ง๋ง 5nm ์ดํ๋ก ๊ฐ๋ฉด์ ๋ ํ๊ณ๊ฐ ๋ณด์ด๊ธฐ ์์ํ์ด. ๐
ํ์ ํญ์ ๋ ์ค์ด๋ฉด ๊ตฌ์กฐ์ ์ผ๋ก ๋ถ์์ ํด์ง๊ณ , ๋์ด๋ฅผ ๋์ด๋ฉด ์ ์กฐ ๋์ด๋๊ฐ ๊ธ๊ฒฉํ ์ฌ๋ผ๊ฐ๊ฑฐ๋ . ๊ฒ๋ค๊ฐ 3๋ฉด๋ง ์ ์ดํ๋๊น ์ฌ์ ํ ๋์ค ์ ๋ฅ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์์ ํ ํด๊ฒฐ๋์ง ์์์ด. ๊ทธ๋์ ๋ฑ์ฅํ ๊ฒ ๋ฐ๋ก GAA์ผ! ๐
๐จ GAA ํธ๋์ง์คํฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์๋ฆฌ
GAA(Gate-All-Around)๋ ์ด๋ฆ์์ ์ ์ ์๋ฏ์ด ๊ฒ์ดํธ๊ฐ ์ฑ๋์ ์์ ํ ๋๋ฌ์ธ๋ ๊ตฌ์กฐ์ผ. 360๋ ์ ๋ฐฉ์๋ก ์ ์ดํ๋ ๊ฑฐ์ง! ๐ ์ด๊ฒ ์ ์ค์ํ๋๋ฉด, ์ฑ๋์ ๋ชจ๋ ๋ฉด์ ๊ฒ์ดํธ๊ฐ ์ ์ดํ๋๊น ์ ๋ฅ ๋์ค์ด ๊ฑฐ์ ์์ด. ๋ง์น ์๋๊ด์ ์์ ํ ์กฐ์ด๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ๋ง์ด์ผ.
GAA์๋ ํฌ๊ฒ ๋ ๊ฐ์ง ํํ๊ฐ ์์ด:
์ฅ์ : ์ฑ๋ ํญ ์กฐ์ ๊ฐ๋ฅ, ์ ๋ฅ ๊ตฌ๋๋ ฅ ์ฐ์
๋จ์ : ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋ณต์ก๋ ๋์
์ฅ์ : ์ต๊ณ ์์ค์ ๊ฒ์ดํธ ์ ์ด๋ ฅ, ๊ทน๋ฏธ์ธ ๊ณต์ ๊ฐ๋ฅ
๋จ์ : ์ ๋ฅ ๊ตฌ๋๋ ฅ์ด ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฎ์, ์ ์กฐ ๋์ด๋ ๋งค์ฐ ๋์
์ผ์ฑ์ ์๋ ๋๋ ธ์ํธ ๋ฐฉ์์ MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET)๋ผ๊ณ ๋ถ๋ฅด๊ณ , TSMC๋ ๋น์ทํ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ๋ฐ ์ค์ด์ผ. ์ธํ ์ RibbonFET์ด๋ผ๋ ์ด๋ฆ์ผ๋ก ์์ฒด GAA ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ ์์ง. ๊ฐ ํ์ฌ๋ง๋ค ์ด๋ฆ์ ๋ค๋ฅด์ง๋ง ํต์ฌ ์๋ฆฌ๋ ๊ฐ์! ๐ข
โ๏ธ GAA ํธ๋์ง์คํฐ ์ค๊ณ์ ํต์ฌ ์์๋ค
GAA ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ์ค๊ณํ ๋๋ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ง๋ฅผ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํด. ๋จ์ํ ๊ฒ์ดํธ๋ก ์ฑ๋์ ๋๋ฌ์ธ๋ฉด ๋์ด ์๋๊ฑฐ๋ ! ๊ฐ ์์๋ฅผ ์ต์ ํํด์ผ ์ต๊ณ ์ ์ฑ๋ฅ์ ๋ผ ์ ์์ด. ๐ฏ
๐น ์ฑ๋ ์ค๊ณ
์ฑ๋์ ์ ๋ฅ๊ฐ ํ๋ฅด๋ ํต๋ก์ผ. GAA์์๋ ์ด ์ฑ๋์ ๋๊ป, ํญ, ๊ฐ์๊ฐ ์์ฒญ ์ค์ํด. ๋๋ ธ์ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ณดํต 5~7nm ๋๊ป๋ก ๋ง๋ค์ด. ๋๋ฌด ์์ผ๋ฉด ์ ๋ฅ๊ฐ ์ ์ ํ๋ฅด๊ณ , ๋๋ฌด ๋๊บผ์ฐ๋ฉด ๊ฒ์ดํธ ์ ์ด๋ ฅ์ด ๋จ์ด์ง๊ฑฐ๋ .
์ฑ๋ ํญ์ ์ฉ๋์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ ธ. ๊ณ ์ฑ๋ฅ์ด ํ์ํ ๋ก์ง ํ๋ก์๋ ๋์ ์ฑ๋์, ์ ์ ๋ ฅ์ด ์ค์ํ ํ๋ก์๋ ์ข์ ์ฑ๋์ ์ฐ์ง. ์ด๊ฑธ ์ฑ๋ ํญ ์กฐ์ (Width Scaling)์ด๋ผ๊ณ ํด. ๊ฐ์ ์นฉ ์์์๋ ๋ถ๋ถ๋ง๋ค ๋ค๋ฅธ ํญ์ ์ ์ฉํ ์ ์์ด์ ์ ์ฐ์ฑ์ด ๋์! ๐
โข 3์ธต ์ ์ธต: ๊ท ํ์กํ ์ฑ๋ฅ, ๊ฐ์ฅ ์ผ๋ฐ์
โข 4์ธต ์ด์: ์ ๋ฅ ๊ตฌ๋๋ ฅ ์ต๊ณ , ์ ์กฐ ๋์ด๋ ๊ธ์์น
์ผ์ฑ 3nm ๊ณต์ ์ 3์ธต ๋๋ ธ์ํธ๋ฅผ ๊ธฐ๋ณธ์ผ๋ก ์ฌ์ฉํด. ์ธต์๊ฐ ๋ง์์๋ก ์ฑ๋ฅ์ ์ข์ง๋ง ์์จ์ด ๋จ์ด์ง๊ณ ๋น์ฉ์ด ์ฌ๋ผ๊ฐ๊ฑฐ๋ . ๐
๐น ๊ฒ์ดํธ ์คํ ์ค๊ณ
๊ฒ์ดํธ๋ ๋จ์ํ ๊ธ์ ๋ฉ์ด๋ฆฌ๊ฐ ์๋์ผ. ์ฌ๋ฌ ์ธต์ผ๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง ๊ฒ์ดํธ ์คํ(Gate Stack) ๊ตฌ์กฐ์ผ. ๊ฐ์ฅ ์์ชฝ์๋ ๊ฒ์ดํธ ์ ์ ์ฒด(Gate Dielectric)๊ฐ ์์ด. ์ด๊ฑด ์ ์ฐ์ฒด์ธ๋ฐ, ๊ฒ์ดํธ์ ์ฑ๋ ์ฌ์ด์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์กฐ์ ํ๋ ์ญํ ์ ํด. ๐งฒ
GAA์์๋ ์ฃผ๋ก High-k ์ ์ ์ฒด๋ฅผ ์จ. 'k'๋ ์ ์ ์์๋ฅผ ๋ปํ๋๋ฐ, ๋์์๋ก ๊ฐ์ ๋๊ป์์ ๋ ๊ฐํ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ๋ง๋ค ์ ์์ด. ๋ํ์ ์ผ๋ก HfOโ(ํํ๋ ์ฐํ๋ฌผ)๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ง. ๋๊ป๋ ๋ณดํต 1~2nm ์ ๋๋ก ์์ฒญ ์์!
์ ์ ์ฒด ๋ฐ๊นฅ์ชฝ์๋ ์ผํจ์ ์กฐ์ ๊ธ์(Work Function Metal)์ด ์์ด. ์ด๊ฒ ํธ๋์ง์คํฐ์ ๋ฌธํฑ ์ ์(Threshold Voltage)์ ๊ฒฐ์ ํด. NMOS์ PMOS์ ๋ฐ๋ผ ๋ค๋ฅธ ๊ธ์์ ์จ์ผ ํ๊ฑฐ๋ . ๊ทธ ์์ ์ต์ข ์ ์ผ๋ก ๊ฒ์ดํธ ์ ๊ทน(Gate Electrode)์ด ์์ด. ๋ณดํต ํ ์คํ (W)์ด๋ ์ฝ๋ฐํธ(Co)๋ฅผ ์ฌ์ฉํด. โก
๐น ์์ค/๋๋ ์ธ ์ค๊ณ
์์ค์ ๋๋ ์ธ์ ์ ๋ฅ๊ฐ ๋ค์ด๊ฐ๊ณ ๋์ค๋ ์ ์ถ๊ตฌ์ผ. GAA์์๋ ์ด ๋ถ๋ถ ์ค๊ณ๊ฐ ํนํ ๊น๋ค๋ก์. ์๋ํ๋ฉด ์ ์ธต๋ ์ฑ๋ ๊ฐ๊ฐ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๊ท ๋ฑํ๊ฒ ๊ณต๊ธํด์ผ ํ๊ฑฐ๋ ! ๐ช
์ด๋ฅผ ์ํด ์ํผํ์ ์ฑ์ฅ(Epitaxial Growth) ๊ธฐ์ ์ ์ฌ์ฉํด. ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐํ ์์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋๊ฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํค์ฐ๋ ๊ฑฐ์ผ. NMOS์๋ ์ธ(P)์ ๋ํํ nํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์, PMOS์๋ ๋ถ์(B)๋ฅผ ๋ํํ pํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํค์. ์ด๋ ๊ฒ๋ฅด๋ง๋(Ge)์ ์์ด์ SiGe(์ค๋ฆฌ์ฝ-๊ฒ๋ฅด๋ง๋)๋ฅผ ๋ง๋ค๊ธฐ๋ ํด. ์ด๋ฌ๋ฉด ์ ๋ฅ๊ฐ ๋ ์ ํ๋ฅด๊ฑฐ๋ ! ๐
๐น ์คํ์ด์ ์ค๊ณ
์คํ์ด์(Spacer)๋ ๊ฒ์ดํธ์ ์์ค/๋๋ ์ธ ์ฌ์ด์ ๊ฐ๊ฒฉ์ ์ ์งํ๋ ์ ์ฐ์ฒด์ผ. ์ด๊ฒ ์์ผ๋ฉด ๊ฒ์ดํธ์ ์์ค/๋๋ ์ธ์ด ์ ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ์ฐ๊ฒฐ๋ผ์ ๋จ๋ฝ์ด ์ผ์ด๋๊ฑฐ๋ . GAA์์๋ ์ฑ๋ ์ฌ์ด์ฌ์ด์๋ ์คํ์ด์๊ฐ ํ์ํด์ ์ค๊ณ๊ฐ ๋ณต์กํด. ๐ต
๋ณดํต SiN(์งํ์ค๋ฆฌ์ฝ)์ด๋ SiOโ(์ฐํ์ค๋ฆฌ์ฝ)๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋๋ฐ, ๋๊ป๊ฐ 5nm ์ดํ๋ก ์์ฒญ ์์. ๋๋ฌด ๋๊บผ์ฐ๋ฉด ํธ๋์ง์คํฐ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์ปค์ง๊ณ , ๋๋ฌด ์์ผ๋ฉด ์ ์ฐ์ด ์ ๋๋ก ์ ๋๊ฑฐ๋ . ๋๋ ธ๋ฏธํฐ ๋จ์์ ์ ๋ฐํจ์ด ํ์ํ ๋ถ๋ถ์ด์ผ! ๐ฏ
๐ญ GAA ํธ๋์ง์คํฐ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ์ค์
์ด๋ก ์ ์๊ฒ ๋๋ฐ, ์ค์ ๋ก ์ด๋ป๊ฒ ๋ง๋๋์ง ๊ถ๊ธํ์ง? GAA ํธ๋์ง์คํฐ ์ ์กฐ๋ ์ ๋ง ๋ณต์กํด. ์๋ฐฑ ๋จ๊ณ์ ๊ณต์ ์ ๊ฑฐ์ณ์ผ ํ๊ฑฐ๋ ! ์ฌ๊ธฐ์๋ ํต์ฌ ๊ณต์ ๋ง ์ดํด๋ณผ๊ฒ. ๐๏ธ
๐ธ 1๋จ๊ณ: ๊ต๋ ์ ์ธต (Superlattice Formation)
๋จผ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์จ์ดํผ ์์ Si(์ค๋ฆฌ์ฝ)์ SiGe(์ค๋ฆฌ์ฝ-๊ฒ๋ฅด๋ง๋)๋ฅผ ๊ต๋๋ก ์์. ์ด๊ฑธ ์ํผํ์ ์ฑ์ฅ์ผ๋ก ํ๋๋ฐ, ์์ ๋จ์๋ก ์ ํํ๊ฒ ์์์ผ ํด. Si ์ธต์ ๋์ค์ ์ฑ๋์ด ๋๊ณ , SiGe ์ธต์ ๋์ค์ ์ ๊ฑฐ๋ ํฌ์์ธต(Sacrificial Layer)์ด์ผ. ๋ณดํต 3~5์์ ์์ง. ๊ฐ ์ธต์ ๋๊ป๋ 5~10nm ์ ๋์ผ! ๐
๐ธ 2๋จ๊ณ: ํ ํจํฐ๋ (Fin Patterning)
์ ์ธต๋ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ ๋ชจ์์ผ๋ก ๊น์๋ด์ผ ํด. ์ด๋ EUV(๊ทน์์ธ์ ) ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ๋ฅผ ์ฌ์ฉํด. EUV๋ ํ์ฅ์ด 13.5nm๋ก ์์ฒญ ์งง์์ ๋ฏธ์ธํ ํจํด์ ๋ง๋ค ์ ์๊ฑฐ๋ . ํฌํ ๋ ์ง์คํธ(๊ฐ๊ด์ )๋ฅผ ๋ฐ๋ฅด๊ณ EUV๋ก ๋ ธ๊ดํ ๋ค์, ์๊ฐํด์ ํ์ ๋ง๋ค์ด. ๐ฆ
์ด ๊ณผ์ ์ด ์ ๋ง ์ด๋ ค์. ํ์ ํญ์ด 10nm ์ดํ์ธ๋ฐ, ์์ง์ผ๋ก 50nm ์ด์ ๊น์ด๋ฅผ ํ์ผ ํ๊ฑฐ๋ . ์ข ํก๋น(Aspect Ratio)๊ฐ 5:1 ์ด์์ด์ผ. ๋ง์น ์ฐํ๋ก ์ฐ๋ฌผ์ ํ๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ์ด๋ ค์ด ์์ ์ด์ง! ๐ฐ
๐ธ 3~4๋จ๊ณ: ๋๋ฏธ ๊ฒ์ดํธ์ ์คํ์ด์
์ง์ง ๊ฒ์ดํธ๋ฅผ ๋ง๋ค๊ธฐ ์ ์ ์์๋ก ๋๋ฏธ ๊ฒ์ดํธ(Dummy Gate)๋ฅผ ๋ง๋ค์ด. ๋ณดํต ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฌ์ฉํด. ์ ์์๋ก ๋ง๋๋๊ณ ? ๋์ค์ ๊ณ ์จ ๊ณต์ ์ ๊ฑฐ์ณ์ผ ํ๋๋ฐ, ์ง์ง ๊ธ์ ๊ฒ์ดํธ๋ ๊ณ ์จ์์ ์์๋๊ฑฐ๋ . ๊ทธ๋์ ์ผ๋จ ๋๋ฏธ๋ก ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ก์๋๋ ๊ฑฐ์ผ. ๐ญ
๋๋ฏธ ๊ฒ์ดํธ ์์์ ์คํ์ด์๋ฅผ ๋ง๋ค์ด. SiN(์งํ์ค๋ฆฌ์ฝ)์ ์ฆ์ฐฉํ ๋ค์ ์ด๋ฐฉ์ฑ ์๊ฐ์ผ๋ก ์๋ฉด๋ง ๋จ๊ธฐ๋ ๊ฑฐ์ง. ์ด ์คํ์ด์๊ฐ ๋์ค์ ์์ค/๋๋ ์ธ๊ณผ ๊ฒ์ดํธ ์ฌ์ด์ ๊ฐ๊ฒฉ์ ์ ํํ๊ฒ ์ ์งํด์ค. ์ ๋ฐ๋๊ฐ 1nm ์ดํ์ฌ์ผ ํด! ๐ฏ
๐ธ 5๋จ๊ณ: ์์ค/๋๋ ์ธ ํ์ฑ
ํ์ ์์ชฝ ๋๋ถ๋ถ์ ์๊ฐํด์ ์ ๊ฑฐํ๊ณ , ๊ทธ ์๋ฆฌ์ ๋ํ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ํผํ์ ์ฑ์ฅ์ผ๋ก ํค์. NMOS์๋ ์ธ(P)์ ๋ํํ nโบ ์ค๋ฆฌ์ฝ์, PMOS์๋ ๋ถ์(B)๋ฅผ ๋ํํ pโบ SiGe๋ฅผ ํค์ฐ์ง. ๋ํ ๋๋๋ 10ยฒโฐ~10ยฒยน atoms/cmยณ ์์ค์ผ๋ก ์์ฒญ ๋์์ผ ํด. โ๏ธ
์ด๋ ์ค์ํ ๊ฒ ์ ์ด ์ ํญ(Contact Resistance)์ ๋ฎ์ถ๋ ๊ฑฐ์ผ. ๊ธ์ ๋ฐฐ์ ๊ณผ ๋ฐ๋์ฒด๊ฐ ๋ง๋๋ ๋ถ๋ถ์ ์ ํญ์ธ๋ฐ, ์ด๊ฒ ๋์ผ๋ฉด ์ฑ๋ฅ์ด ๋จ์ด์ง๊ฑฐ๋ . ๊ทธ๋์ ๋์ผ(Ni)์ด๋ ํฐํ๋(Ti)์ผ๋ก ์ค๋ฆฌ์ฌ์ด๋(Silicide)๋ฅผ ๋ง๋ค์ด์ ์ ํญ์ ๋ฎ์ถฐ. ๐
๐ธ 6๋จ๊ณ: ์ฑ๋ ๋ฆด๋ฆฌ์ค (Channel Release)
์ด์ ํต์ฌ ๊ณต์ ์ด์ผ! ๋๋ฏธ ๊ฒ์ดํธ๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๊ณ , SiGe ํฌ์์ธต์ ์ ํ์ ์ผ๋ก ์๊ฐํด์ ์ ๊ฑฐํด. ์ด๋ฌ๋ฉด Si ์ฑ๋๋ค์ด ๊ณต์ค์ ๋ ์๋ ์ํ๊ฐ ๋์ง. ์ด๊ฑธ ์ฑ๋ ๋ฆด๋ฆฌ์ค(Channel Release) ๋๋ ์ฑ๋ ์์คํ์ (Channel Suspension)์ด๋ผ๊ณ ํด. ๐
SiGe๋ง ์ ํ์ ์ผ๋ก ์ ๊ฑฐํ๋ ๊ฒ ๊ด๊ฑด์ด์ผ. ๋ณดํต ๊ณผ์ฐํ์์(HโOโ)์ ์๋ชจ๋์(NHโ)๋ฅผ ์์ ์ฉ์ก์ ์ฌ์ฉํด. ์ด ์ฉ์ก์ SiGe๋ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์๊ฐํ์ง๋ง Si๋ ๊ฑฐ์ ์๊ฐํ์ง ์๊ฑฐ๋ . ์ ํ๋น(Selectivity)๊ฐ 100:1 ์ด์์ด์ผ! ํํ์ ๋ง๋ฒ์ด์ง? โจ
๐ธ 7๋จ๊ณ: ๊ฒ์ดํธ ์คํ ํ์ฑ
์ด์ ์ง์ง ๊ฒ์ดํธ๋ฅผ ๋ง๋ค ์ฐจ๋ก์ผ. ๋จผ์ ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ(ALD, Atomic Layer Deposition)์ผ๋ก High-k ์ ์ ์ฒด๋ฅผ ์ฆ์ฐฉํด. ALD๋ ์์ ํ ์ธต์ฉ ์๋ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ ๋๊ป๋ฅผ 1ร (์น์คํธ๋กฌ, 0.1nm) ๋จ์๋ก ์กฐ์ ํ ์ ์์ด. HfOโ๋ฅผ 1~2nm ๋๊ป๋ก ๊ท ์ผํ๊ฒ ์ฝํ ํ๋ ๊ฑฐ์ง. ๐จ
๊ทธ ์์ ์ผํจ์ ์กฐ์ ๊ธ์์ ์ฆ์ฐฉํด. NMOS์๋ TiN(์งํํฐํ๋), PMOS์๋ TiAlC(ํฐํ๋-์๋ฃจ๋ฏธ๋-ํ์) ๊ฐ์ ๊ฑธ ์จ. ๋๊ป๋ 2~3nm ์ ๋์ผ. ๋ง์ง๋ง์ผ๋ก ํ ์คํ (W)์ด๋ ์ฝ๋ฐํธ(Co)๋ก ๊ฒ์ดํธ ์ ๊ทน์ ์ฑ์. ์ด๋ CVD(Chemical Vapor Deposition)๋ PVD(Physical Vapor Deposition)๋ฅผ ์ฌ์ฉํด. โ๏ธ
CVD: ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ. ๊ธฐ์ฒด ์ํ์ ์ ๊ตฌ์ฒด๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ๋ฐ๋ง ํ์ฑ. ๋น ๋ฅด๊ณ ๊ท ์ผํจ.
PVD: ๋ฌผ๋ฆฌ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ. ํ๊ฒ ๋ฌผ์ง์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ผ๋ก ํ๊ฒจ๋ด์ ์ฆ์ฐฉ. ๊ธ์ ์ฆ์ฐฉ์ ์ ๋ฆฌ.
๊ฐ ๋ฐฉ๋ฒ๋ง๋ค ์ฅ๋จ์ ์ด ์์ด์ ์ฉ๋์ ๋ง๊ฒ ์ ํํด์ผ ํด!
๐ธ 8๋จ๊ณ: ๋ฐฐ์ ์ฐ๊ฒฐ (Interconnect)
ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ๋ง๋ค์์ผ๋ฉด ์ด์ ์ฐ๊ฒฐํด์ผ์ง! BEOL(Back-End-Of-Line) ๊ณต์ ์ด๋ผ๊ณ ํด. ์ธต๊ฐ ์ ์ฐ๋ง(ILD, Inter-Layer Dielectric)์ ์ฆ์ฐฉํ๊ณ , ๋น์(Via)์ ๋ฐฐ์ ์ ํ์ฑํด. ๋ณดํต ๊ตฌ๋ฆฌ(Cu)๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋๋ฐ, ๋์ผ ๋ค๋ง์ (Dual Damascene) ๊ณต์ ์ผ๋ก ๋ง๋ค์ด. ๐
์ต๊ทผ์๋ ๊ตฌ๋ฆฌ ๋์ ์ฝ๋ฐํธ(Co)๋ ๋ฃจํ ๋(Ru)์ ์ฐ๊ธฐ๋ ํด. ๋ฏธ์ธ ๋ฐฐ์ ์์๋ ๊ตฌ๋ฆฌ๋ณด๋ค ์ ํญ์ด ๋ฎ๊ฑฐ๋ . 3nm ์ดํ ๊ณต์ ์์๋ ๋ฐฐ์ ์ ํญ์ด ์ฑ๋ฅ์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ฌ๋ฃ ์ ํ์ด ์ค์ํด! ๐ก
๐ GAA vs FinFET: ์ฑ๋ฅ ๋น๊ต
๊ทธ๋์ GAA๊ฐ FinFET๋ณด๋ค ์ผ๋ง๋ ์ข์๋ฐ? ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ์์น๋ก ๋น๊ตํด๋ณผ๊ฒ! ๐
โข ์ฑ๋ฅ: ๊ฐ์ ์ ๋ ฅ์์ ์ฝ 30% ํฅ์
โข ์ ๋ ฅ ํจ์จ: ๊ฐ์ ์ฑ๋ฅ์์ ์ฝ 50% ๊ฐ์
โข ๋ฉด์ : ์ฝ 35% ์ถ์
์ด๊ฒ ๋ฌด์จ ์๋ฏธ๋๋ฉด, ์ค๋งํธํฐ ์นฉ์ด 30% ๋นจ๋ผ์ง๊ฑฐ๋, ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ๊ฐ 50% ๋ ์ค๋ ๊ฐ๊ฑฐ๋, ์นฉ ํฌ๊ธฐ๊ฐ 35% ์์์ง๋ค๋ ๊ฑฐ์ผ! ๐
ํนํ ๋์ค ์ ๋ฅ ๊ฐ์๊ฐ ์์ฒญ๋. FinFET์ 3๋ฉด๋ง ์ ์ดํ๋๊น ์ฑ๋ ๋ฐ๋ฉด์ผ๋ก ์ ๋ฅ๊ฐ ์๋๋ฐ, GAA๋ ์์ ํ ๋๋ฌ์ธ๋๊น ๋์ค์ด ๊ฑฐ์ ์์ด. ์ด๊ฒ ์ ์ ๋ ฅ ๋์์ ๊ฒฐ์ ์ ์ด์ผ. ๋๊ธฐ ์ ๋ ฅ(Standby Power)์ด 70% ์ด์ ์ค์ด๋ ๋ค๊ณ ํด! ๐
๊ตฌ๋ ์ ๋ฅ(Drive Current)๋ ๊ฐ์ ๋ผ. ๊ฐ์ ๋ฉด์ ์์ ๋ ๋ง์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ํ๋ฆด ์ ์์ด. ๋๋ ธ์ํธ์ ํญ์ ์กฐ์ ํ ์ ์์ด์, ๊ณ ์ฑ๋ฅ ํ๋ก์๋ ๋์ ์ฑ๋์ ์จ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ง์ด ํ๋ฆฌ๊ณ , ์ ์ ๋ ฅ ํ๋ก์๋ ์ข์ ์ฑ๋์ ์จ์ ๋์ค์ ์ต์ํํ ์ ์์ง. ์ด๋ฐ ์ ์ฐ์ฑ์ด GAA์ ํฐ ์ฅ์ ์ด์ผ! ๐๏ธ
SCE(Short Channel Effect)๋ ํจ์ฌ ์ ์ด. ์ฑ๋ ๊ธธ์ด๋ฅผ 10nm ์ดํ๋ก ์ค์ฌ๋ ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ์ ๋๋ก ๋์ํด. FinFET์ 12nm ์ดํ๋ก ๊ฐ๋ฉด SCE๊ฐ ์ฌํด์ง๋๋ฐ, GAA๋ 7nm๊น์ง๋ ๋ฌธ์ ์์ด. ์ด๊ฒ 2nm, 1.4nm ๊ฐ์ ๊ทน๋ฏธ์ธ ๊ณต์ ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ๋ ๊ฑฐ์ง! ๐ฌ
๐ง GAA ๊ธฐ์ ์ ๋์ ๊ณผ์ ๋ค
GAA๊ฐ ์๋ฒฝํ ๊ฑด ์๋์ผ. ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ง ์ด๋ ค์์ด ์๊ฑฐ๋ . ์ด๊ฑธ ํด๊ฒฐํ๋ ๊ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์์ง๋์ด๋ค์ ์์ ์ง! ๐ค
๐บ ์ ์กฐ ๋์ด๋์ ์์จ
๊ฐ์ฅ ํฐ ๋ฌธ์ ๋ ์ ์กฐ ๋์ด๋์ผ. FinFET๋ณด๋ค ๊ณต์ ๋จ๊ณ๊ฐ 30% ์ด์ ๋ง์. ํนํ ์ฑ๋ ๋ฆด๋ฆฌ์ค ๊ณต์ ์ด ๊น๋ค๋ก์. SiGe๋ฅผ ์ ํ์ ์ผ๋ก ์๊ฐํ ๋ Si ์ฑ๋์ด ์์๋๋ฉด ์ ๋๊ฑฐ๋ . ์ฑ๋ ๋๊ป๊ฐ 5nm๋ฐ์ ์ ๋๋๋ฐ, 1nm๋ง ๊น์ฌ๋ ํน์ฑ์ด ํฌ๊ฒ ๋ณํด. ๐ฑ
๊ฒ์ดํธ ์คํ์ ํ์ฑํ ๋๋ ์ด๋ ค์. ์ ์ธต๋ ์ฑ๋ ์ฌ์ด์ฌ์ด์ ๊ท ์ผํ๊ฒ ์ฆ์ฐฉํด์ผ ํ๋๋ฐ, ๊ณต๊ฐ์ด ์ข์์ ๋ฌผ์ง์ด ์ ์ ๋ค์ด๊ฐ. ์ด๊ฑธ ๊ฐญ ํ๋ง(Gap Filling) ๋ฌธ์ ๋ผ๊ณ ํด. ALD๋ฅผ ์จ๋ ์๋ฒฝํ๊ฒ ๊ท ์ผํ๊ฒ ๋ง๋ค๊ธฐ ์ด๋ ค์. ๋ถ๊ท ์ผ๋๊ฐ 5% ์ด์์ด๋ฉด ํธ๋์ง์คํฐ ํน์ฑ์ด ๋ค์ญ๋ ์ญํด์ ธ. ๐
์ด๋ฐ ์ด๋ ค์ ๋๋ฌธ์ ์ด๊ธฐ ์์จ(Yield)์ด ๋ฎ์. ์์จ์ ์ ์์ ์ผ๋ก ์๋ํ๋ ์นฉ์ ๋น์จ์ธ๋ฐ, FinFET์ 90% ์ด์์ธ๋ฐ GAA๋ ์ด๊ธฐ์ 70% ์ ๋๋ฐ์ ์ ๋์ด. ์ง๊ธ์ ๋ง์ด ๊ฐ์ ๋์ง๋ง ์ฌ์ ํ FinFET๋ณด๋ค ๋ฎ์. ์์จ์ด ๋ฎ์ผ๋ฉด ์์ฐ ๋น์ฉ์ด ์ฌ๋ผ๊ฐ๊ฑฐ๋ . ๐ธ
๐บ ๋น์ฉ ๋ฌธ์
GAA ์นฉ์ ์ ๋ง ๋น์ธ. 3nm GAA ์จ์ดํผ ํ ์ฅ ๊ฐ๊ฒฉ์ด 2๋ง ๋ฌ๋ฌ(์ฝ 2,600๋ง ์)๊ฐ ๋์ด! ๐ต 5nm FinFET์ 1.5๋ฐฐ ์ด์์ด์ผ. ์ ์ด๋ ๊ฒ ๋น์ธ๋๋ฉด:
2. ๊ณต์ ๋จ๊ณ ์ฆ๊ฐ: ์ ์ฒด ๊ณต์ ์ด 1,000๋จ๊ณ ์ด์. ๊ฐ ๋จ๊ณ๋ง๋ค ์๊ฐ๊ณผ ๋น์ฉ์ด ๋ค์ด.
3. ์์จ ์์ค: ์์จ์ด 10% ๋ฎ์ผ๋ฉด ์ค์ง ๋น์ฉ์ 15~20% ์ฆ๊ฐํด.
4. ๊ฒ์ฌ ๋ฐ ์ธก์ : ๋๋ ธ๋ฏธํฐ ๋จ์ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น๊ฐ ํ์. ์ด๊ฒ๋ ์๋ฐฑ์ต ์์ง๋ฆฌ์ผ.
5. ์ฌ๋ฃ ๋น์ฉ: High-k ์ ์ ์ฒด, ํฌ๊ท ๊ธ์ ๋ฑ ๊ณ ๊ฐ ์ฌ๋ฃ ์ฌ์ฉ.
์ด ๋๋ฌธ์ GAA ์นฉ์ ์ฃผ๋ก ๊ณ ์ฑ๋ฅ ํ๋ก์ธ์๋ ํ๋ฆฌ๋ฏธ์ ์ค๋งํธํฐ์๋ง ์ฐ์ฌ. ์ ๊ฐ ์ ํ์๋ ์์ง FinFET์ ์ฐ์ง. ๋น์ฉ ๋๋น ํจ๊ณผ๋ฅผ ๋ฐ์ ธ์ผ ํ๋๊น! ๐ก
๐บ ์ด ๊ด๋ฆฌ ๋ฌธ์
GAA๋ ์ฑ๋์ด ๊ณต์ค์ ๋ ์์ด์ ์ด ๋ฐฉ์ถ(Heat Dissipation)์ด ์ด๋ ค์. FinFET์ ์ฑ๋์ด ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐํ์ ๋ถ์ด์์ด์ ์ด์ด ๊ธฐํ์ผ๋ก ๋น ์ ธ๋๊ฐ๋๋ฐ, GAA๋ ๊ทธ๊ฒ ์ ๋ผ. ์ด์ด ์ฑ๋์ ๊ฐํ์ ์จ๋๊ฐ ์ฌ๋ผ๊ฐ๋ ๊ฑฐ์ผ. ๐ฅ
์จ๋๊ฐ 10ยฐC ์ฌ๋ผ๊ฐ๋ฉด ํธ๋์ง์คํฐ ์ฑ๋ฅ์ด 5~10% ๋จ์ด์ ธ. ์๋ช ๋ ์งง์์ง๊ณ . ๊ทธ๋์ ์ด ๊ด๋ฆฌ(Thermal Management)๊ฐ ์ค์ํด. ์ด์ ๋์จ์ด ๋์ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ฐ๊ฑฐ๋, ์นฉ ์ค๊ณ ๋จ๊ณ์์ ์ด ๋ถ์ฐ์ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํด. ์ต๊ทผ์๋ ๋ค์ด์๋ชฌ๋ ํํธ ์คํ๋ ๋ ๊ฐ์ ์ฒจ๋จ ๋๊ฐ ๊ธฐ์ ๋ ์ฐ๊ตฌ ์ค์ด์ผ! โ๏ธ
๐บ ์ค๊ณ ๋ณต์ก๋
GAA๋ ์ค๊ณ๋ ๋ณต์กํด. ์ฑ๋ ํญ์ ์กฐ์ ํ ์ ์๋ค๋ ๊ฑด ์ข์๋ฐ, ๊ทธ๋งํผ ์ค๊ณ ๋ณ์๊ฐ ๋ง์์ง๋ค๋ ๋ป์ด์ผ. ์ด๋ค ํ๋ก์ ์ด๋ค ํญ์ ์ธ์ง, ๋ช ์ธต์ ์์์ง ๋ค ๊ฒฐ์ ํด์ผ ํ๊ฑฐ๋ . ๐จ
EDA(Electronic Design Automation) ๋๊ตฌ๋ ์ ๋ฐ์ดํธ๊ฐ ํ์ํด. ๊ธฐ์กด FinFET์ฉ ๋๊ตฌ๋ก๋ GAA๋ฅผ ์ ๋๋ก ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ํ ์ ์์ด. ์๋ก์ด SPICE ๋ชจ๋ธ๊ณผ PDK(Process Design Kit)๊ฐ ํ์ํ์ง. ์ด๊ฒ ๋ค ๊ฐ๋ฐ๋๋ ค๋ฉด ์๊ฐ์ด ๊ฑธ๋ ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ค๊ณ ํ์ฌ๋ค์ด GAA๋ก ์ ํํ๋ ๋ฐ ์๊ฐ์ด ๊ฑธ๋ฆฌ๋ ์ด์ ์ผ. โฐ
๐ ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์ ๊ณ์ GAA ๊ฒฝ์
GAA๋ ์ฐจ์ธ๋ ๋ฐ๋์ฒด์ ํต์ฌ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ ์ ์ธ๊ณ ๋ฐ๋์ฒด ํ์ฌ๋ค์ด ์น์ดํ๊ฒ ๊ฒฝ์ํ๊ณ ์์ด. ๋๊ฐ ๋จผ์ ์์ฐํ๋๋๊ฐ ์์ฅ ์ง๋ฐฐ๋ ฅ์ ๊ฒฐ์ ํ๊ฑฐ๋ ! ๐
๐ท ์ผ์ฑ์ ์: ์ ๋ ์ฃผ์
์ผ์ฑ์ ์๊ฐ 2022๋ 6์, ์ธ๊ณ ์ต์ด๋ก 3nm GAA ๊ณต์ ์ ์์ฐํ์ด! ๐ MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET)์ด๋ผ๋ ์ด๋ฆ์ผ๋ก ๋๋ ธ์ํธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฑํํ์ง. ์ฒซ ๊ณ ๊ฐ์ ์ค๊ตญ์ ๊ด์ฐ ์ฑ๊ตด ์นฉ ์ ์ฒด์๋๋ฐ, ์ดํ ํ์ปด, ์๋น๋์ ๊ฐ์ ๋ํ ๊ณ ๊ฐ๋ค๋ ๊ด์ฌ์ ๋ณด์ด๊ณ ์์ด.
์ผ์ฑ์ 2์ธ๋ 3nm(3GAE), 2nm, 1.4nm ๋ก๋๋งต๋ ๋ฐํํ์ด. 2nm๋ 2025๋ , 1.4nm๋ 2027๋ ์์ฐ ๋ชฉํ์ผ. 1.4nm์์๋ ๋๋ ธ์์ด์ด ๊ตฌ์กฐ๋ก ์ ํํ ๊ฐ๋ฅ์ฑ๋ ์์ด. ์ผ์ฑ์ ๊ฐ์ ์ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ์ ํ์ด๋๋ฆฌ ํตํฉ์ด์ผ. DRAM, NAND์ ๋ก์ง์ ํ ํจํค์ง์ ๋ฃ๋ HBM(High Bandwidth Memory) ๊ฐ์ ๊ธฐ์ ์์ ์ ๋ฆฌํ์ง! ๐ช
๐ท TSMC: ์ถ๊ฒฉ์
TSMC๋ 2025๋ ํ๋ฐ๊ธฐ์ 2nm GAA ๊ณต์ ์ ์์ฐํ ์์ ์ด์ผ. ์ผ์ฑ๋ณด๋ค ๋ฆ์ง๋ง, TSMC๋ ์์จ๊ณผ ์์ ์ฑ์์ ์ ํ์ด ๋ ์์ด. ์ ํ, AMD, ์๋น๋์ ๊ฐ์ ๋ํ ๊ณ ๊ฐ๋ค์ด ๊ธฐ๋ค๋ฆฌ๊ณ ์์ง. ๐
TSMC๋ GAA๋ฅผ GAAFET์ด๋ผ๊ณ ๋ถ๋ฅด๋๋ฐ, ๋๋ ธ์ํธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฑํํ ๊ฑฐ์ผ. ํน์ดํ ์ ์ ๋ฐฑ์ฌ์ด๋ ์ ๋ ฅ ๊ณต๊ธ(Backside Power Delivery) ๊ธฐ์ ์ ํจ๊ป ๋์ ํ๋ค๋ ๊ฑฐ์ผ. ์นฉ ๋ท๋ฉด์ผ๋ก ์ ๋ ฅ์ ๊ณต๊ธํด์ ๋ฐฐ์ ํผ์ก๋๋ฅผ ์ค์ด๋ ๊ฑฐ์ง. ์ด๋ฌ๋ฉด ์ฑ๋ฅ์ด 10% ์ด์ ํฅ์๋๋! โก
๐ท ์ธํ : ๋ ์ ๋ ธ์
์ธํ ์ RibbonFET์ด๋ผ๋ ์์ฒด GAA ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐ ์ค์ด์ผ. 2024๋ ์ถ์ ์์ ์ธ Intel 20A ๊ณต์ (์ค์ ๋ก๋ 2nm๊ธ)๋ถํฐ ์ ์ฉํ ๊ฑฐ์ผ. ์ธํ ์ ํน์ง์ ๋๋ ธ๋ฆฌ๋ณธ(Nanoribbon) ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ด๋ค๋ ๊ฑฐ์ผ. ๋๋ ธ์ํธ๋ณด๋ค ์๊ณ ๋์ ํํ์ง. ๐
์ธํ ์ RibbonFET๊ณผ ํจ๊ป PowerVia๋ผ๋ ๋ฐฑ์ฌ์ด๋ ์ ๋ ฅ ๊ณต๊ธ ๊ธฐ์ ๋ ๋์ ํด. TSMC์ ๋น์ทํ ์ ๊ทผ์ด์ผ. ์ธํ ์ ๋ชฉํ๋ 2025๋ ๊น์ง 5์ธ๋ ๊ณต์ (Intel 18A, 1.8nm๊ธ)์ ์ถ์ํด์ ํ์ด๋๋ฆฌ ์์ฅ 2์๋ก ์ฌ๋ผ์๋ ๊ฑฐ์ผ. ์ผ์ฌ์ฐฌ ๊ณํ์ด์ง! ๐
์ด๋ ๊ฒ ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์ ๊ณ๊ฐ GAA๋ฅผ ์ค์ฌ์ผ๋ก ์ฌํธ๋๊ณ ์์ด. ๋๊ฐ ๋จผ์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์์ฐํ๋๋๊ฐ ํฅํ 10๋ ์ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฅ์ ์ข์ฐํ ๊ฑฐ์ผ. ์ ๋ง ํฅ๋ฏธ์ง์งํ ๊ฒฝ์์ด์ง? ๐ฏ
๐ฎ GAA ์ดํ์ ๋ฏธ๋: ์ฐจ์ฐจ์ธ๋ ๊ธฐ์ ๋ค
GAA๊ฐ ์ต์ข ๋ชฉ์ ์ง๋ ์๋์ผ. ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ๊ณ์ ์งํํ๊ฑฐ๋ ! GAA ์ดํ์๋ ๋ญ๊ฐ ์ฌ๊น? ๐ค
๐ธ CFET (Complementary FET)
CFET์ NMOS์ PMOS๋ฅผ ์์ง์ผ๋ก ์๋ ๊ตฌ์กฐ์ผ. ์ง๊ธ์ NMOS์ PMOS๊ฐ ์์ผ๋ก ๋๋ํ ์๋๋ฐ, ์ด๊ฑธ ์์๋๋ก ์์ผ๋ฉด ๋ฉด์ ์ด ์ ๋ฐ์ผ๋ก ์ค์ด๋ค์ด! ๐๏ธ
CFET์ GAA์ ์งํํ์ด๋ผ๊ณ ๋ณผ ์ ์์ด. ๋๋ ธ์ํธ๋ ๋๋ ธ์์ด์ด๋ฅผ ์์ง์ผ๋ก ๋ฐฐ์นํ๋ ๊ฑฐ์ง. ์ด๋ก ์ ์ผ๋ก๋ ์ง์ ๋๋ฅผ 2๋ฐฐ ๋์ผ ์ ์์ด. ํ์ง๋ง ์ ์กฐ ๋์ด๋๊ฐ GAA๋ณด๋ค ํจ์ฌ ๋์. 2028~2030๋ ์ฏค ์ค์ฉํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋ผ. โณ
๐ธ 2D ์์ฌ ํธ๋์ง์คํฐ
์ค๋ฆฌ์ฝ ๋์ 2D ์์ฌ๋ฅผ ์ฐ๋ ๊ฑฐ์ผ. ๋ํ์ ์ผ๋ก ๊ทธ๋ํ(Graphene)์ด๋ MoSโ(์ดํฉํ๋ชฐ๋ฆฌ๋ธ๋ด) ๊ฐ์ ๊ฑฐ์ง. ์ด๋ฐ ์์ฌ๋ ์์ ํ ์ธต ๋๊ป(0.3~0.7nm)๋ฐ์ ์ ๋ผ์ ๊ทน๋ฏธ์ธ ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ๋ง๋ค ์ ์์ด. ๐ฌ
ํนํ MoSโ๋ ๋ฐด๋๊ฐญ์ด ์์ด์ ํธ๋์ง์คํฐ๋ก ์ฐ๊ธฐ ์ข์. ์ด๋ฏธ ์คํ์ค์์๋ 1nm ์ฑ๋ ๊ธธ์ด์ MoSโ ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ๋ง๋ค์ด์ก์ด! ํ์ง๋ง ๋๋ ์์ฐ ๊ธฐ์ ์ด ์์ด์ ์์ฉํ๋ 2030๋ ๋๋ก ์์๋ผ. ๐
๐ธ ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ํธ๋์ง์คํฐ
CNT(Carbon Nanotube)๋ ํ์ ์์๊ฐ ์ก๊ฐํ์ผ๋ก ์ฐ๊ฒฐ๋ ์ํตํ ๊ตฌ์กฐ์ผ. ์ ์ ์ด๋๋๊ฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค 100๋ฐฐ ์ด์ ๋์์ ์ด๊ณ ์ ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ๋ง๋ค ์ ์์ด. โก
MIT์ ์คํ ํผ๋ ๋ํ์์ CNT ํธ๋์ง์คํฐ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ๋ฐํ ํ๊ณ ์์ด. ๋ฌธ์ ๋ CNT๋ฅผ ๊ท ์ผํ๊ฒ ๋ฐฐ์ดํ๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค๋ ๊ฑฐ์ผ. ๊ธ์์ฑ CNT์ ๋ฐ๋์ฒด์ฑ CNT๊ฐ ์์ฌ ์์ด์ ๋ถ๋ฆฌํ๋ ๊ฒ๋ ๊ณผ์ ๊ณ . ํ์ง๋ง ํด๊ฒฐ๋๋ฉด ํ๋ช ์ ์ธ ์ฑ๋ฅ ํฅ์์ด ๊ฐ๋ฅํด! ๐
๐ธ ์์ ํฐ๋๋ง ํธ๋์ง์คํฐ
TFET(Tunneling FET)์ ์์ ํฐ๋๋ง ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ด์ฉํ๋ ํธ๋์ง์คํฐ์ผ. ๊ธฐ์กด ํธ๋์ง์คํฐ๋ณด๋ค ํจ์ฌ ๋ฎ์ ์ ์์์ ๋์ํ ์ ์์ด์ ์ด์ ์ ๋ ฅ ํ๋ก์ ์ ๋ฆฌํด. ๐
๋ฌธ์ ๋ ์ ๋ฅ ๊ตฌ๋๋ ฅ์ด ๋ฎ๋ค๋ ๊ฑฐ์ผ. ๊ทธ๋์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ ํ๋ก๋ณด๋ค๋ IoT ์ผ์ ๊ฐ์ ์ ์ ๋ ฅ ์์ฉ์ ์ ํฉํด. ์ธํ ๊ณผ IBM์ด ์ฐ๊ตฌ ์ค์ด๊ณ , 2030๋ ๋ ์์ฉํ๋ฅผ ๋ชฉํ๋ก ํ๊ณ ์์ด. ๐ฏ
2026~2027: 1.4nm GAA, ๋ฐฑ์ฌ์ด๋ ์ ๋ ฅ ๊ณต๊ธ ํ๋
2028~2030: CFET, 1nm ์ดํ ๊ณต์
2030~2035: 2D ์์ฌ, CNT ํธ๋์ง์คํฐ ์์ฉํ
2035~: ์์ ์ปดํจํ , ๋ด๋ก๋ชจํฝ ์นฉ ๋ณธ๊ฒฉํ
๋ฌผ๋ก ์ด๊ฑด ์์์ด๊ณ , ๊ธฐ์ ๋ฐ์ ์๋์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง ์ ์์ด! ๐
๐ฏ GAA ํธ๋์ง์คํฐ์ ์ค์ ์์ฉ ๋ถ์ผ
์ด๋ก ์ ์ถฉ๋ถํ ์์๋ดค์ผ๋, ์ด์ GAA๊ฐ ์ค์ ๋ก ์ด๋์ ์ฐ์ด๋์ง ์์๋ณด์! ๐
๐ฑ ๋ชจ๋ฐ์ผ ํ๋ก์ธ์
GAA์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์์ฅ์ ์ญ์ ์ค๋งํธํฐ AP(Application Processor)์ผ. ํ์ปด์ ์ค๋ ๋๋๊ณค, ์ ํ์ A์๋ฆฌ์ฆ, ์ผ์ฑ์ ์์๋ ธ์ค ๊ฐ์ ์นฉ๋ค์ด์ง. ์ด๋ฐ ์นฉ๋ค์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ๊ณผ ์ ์ ๋ ฅ์ ๋์์ ์๊ตฌํ๊ฑฐ๋ . GAA๊ฐ ๋ฑ ๋ง์! ๐ฑ
์๋ฅผ ๋ค์ด, ์ผ์ฑ ์์๋ ธ์ค 2400์ 3nm GAA ๊ณต์ ์ผ๋ก ๋ง๋ค์ด์ก์ด. ์ด์ ์ธ๋ ๋๋น ์ฑ๋ฅ์ด 30% ํฅ์๋๊ณ ์ ๋ ฅ ์๋น๋ 40% ์ค์์ง. ๋๋ถ์ ์ค๋งํธํฐ ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ๊ฐ ๋ ์ค๋ ๊ฐ๊ณ , ๊ฒ์์ด๋ AI ๊ธฐ๋ฅ์ด ๋ ๋นจ๋ผ์ก์ด. ์ฌ์ฉ์ ์ ์ฅ์์๋ ์ฒด๊ฐ ์ฑ๋ฅ์ด ํ ์ข์์ง ๊ฑฐ์ง! ๐ฎ
๐ป ๊ณ ์ฑ๋ฅ ์ปดํจํ
์๋ฒ์ฉ CPU๋ GAA๋ก ์ ํํ๊ณ ์์ด. AMD์ EPYC, ์ธํ ์ Xeon ๊ฐ์ ํ๋ก์ธ์๋ค์ด์ผ. ๋ฐ์ดํฐ์ผํฐ์์๋ ์ ๋ ฅ ํจ์จ์ด ์์ฒญ ์ค์ํด. ์๋ฒ ์์ฒ ๋๊ฐ 24์๊ฐ ๋์๊ฐ๋๊น ์ ๊ธฐ๋ฃ๊ฐ ์ด๋ง์ด๋งํ๊ฑฐ๋ . ๐ธ
GAA ๊ธฐ๋ฐ ์๋ฒ CPU๋ ๊ฐ์ ์ฑ๋ฅ์์ ์ ๋ ฅ์ 50% ์ค์ผ ์ ์์ด. ์ด๊ฒ ๋ฐ์ดํฐ์ผํฐ ์ ์ฒด๋ก ๋ณด๋ฉด ์ฐ๊ฐ ์์ต ์์ ์ ๊ธฐ๋ฃ ์ ๊ฐ์ด์ผ! ๊ฒ๋ค๊ฐ ๋ฐ์ด๋ ์ค์ด์ ๋๊ฐ ๋น์ฉ๋ ์ค์ด๋ค์ง. ๊ตฌ๊ธ, ์๋ง์กด, ๋ง์ดํฌ๋ก์ํํธ ๊ฐ์ ํด๋ผ์ฐ๋ ์ ์ฒด๋ค์ด GAA ์นฉ์ ๊ด์ฌ์ด ๋ง์ ์ด์ ์ผ. โ๏ธ
๐ค AI ๊ฐ์๊ธฐ
AI ์นฉ์ GAA์ ๋ ๋ค๋ฅธ ํฌ๋ฌ ์ฑ์ด์ผ. ์๋น๋์์ GPU, ๊ตฌ๊ธ์ TPU, ํ ์ฌ๋ผ์ Dojo ๊ฐ์ ์นฉ๋ค์ด์ง. AI ํ์ต๊ณผ ์ถ๋ก ์๋ ์์ฒญ๋ ์ฐ์ฐ๋์ด ํ์ํ๋ฐ, GAA์ ๊ณ ์ง์ ๋๊ฐ ๋ฑ ๋ง์! ๐ง
ํนํ ์จ๋๋ฐ์ด์ค AI์ ์ ๋ฆฌํด. ์ค๋งํธํฐ์ด๋ ์ฃ์ง ๊ธฐ๊ธฐ์์ AI๋ฅผ ๋๋ฆฌ๋ ค๋ฉด ์ ์ ๋ ฅ์ด ํ์๊ฑฐ๋ . GAA ๊ธฐ๋ฐ NPU(Neural Processing Unit)๋ ๊ฐ์ ์ ๋ ฅ์์ 2๋ฐฐ ์ด์์ AI ์ฑ๋ฅ์ ๋ผ ์ ์์ด. ๋๋ถ์ ์ค๋งํธํฐ์์๋ ์ค์๊ฐ ๋ฒ์ญ, ์ฌ์ง ํธ์ง, ์์ฑ ์ธ์์ด ๋นจ๋ผ์ก์ง! ๐ค
๐ ์๋์ฐจ ๋ฐ๋์ฒด
์์จ์ฃผํ์ฐจ์๋ ์์ฒญ๋ ์ฐ์ฐ ๋ฅ๋ ฅ์ด ํ์ํด. ์นด๋ฉ๋ผ, ๋ผ์ด๋ค, ๋ ์ด๋ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ค์๊ฐ์ผ๋ก ์ฒ๋ฆฌํด์ผ ํ๊ฑฐ๋ . ํ ์ฌ๋ผ์ FSD(Full Self-Driving) ์นฉ, ์๋น๋์์ Drive Orin ๊ฐ์ ์นฉ๋ค์ด GAA๋ก ์ ํํ๊ณ ์์ด. ๐
์๋์ฐจ ์นฉ์ ์ ๋ขฐ์ฑ์ด ์์ฒญ ์ค์ํด. ์ฌ๋ ๋ชฉ์จ์ด ๊ฑธ๋ฆฐ ๋ฌธ์ ๋๊น! GAA๋ ๋์ค ์ ๋ฅ๊ฐ ์ ์ด์ ์ค์๋ ํ๋ฅ ์ด ๋ฎ์. ๊ฒ๋ค๊ฐ ์จ๋ ๋ฒ์๋ ๋์ด. ์๋์ฐจ๋ -40ยฐC์์ 125ยฐC๊น์ง ๋์ํด์ผ ํ๋๋ฐ, GAA๊ฐ ์ด๋ฐ ๊ทนํ ํ๊ฒฝ์์๋ ์์ ์ ์ด์ผ. ๐ก๏ธ
์ด๋ ๊ฒ GAA๋ ์ฐ๋ฆฌ ์ผ์์ ๊ฑฐ์ ๋ชจ๋ ์ ์๊ธฐ๊ธฐ์ ๋ค์ด๊ฐ๊ณ ์์ด. ์ค๋งํธํฐ๋ถํฐ ์๋์ฐจ, ์๋ฃ๊ธฐ๊ธฐ๊น์ง! ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ์ ์ด ์ฐ๋ฆฌ ์ถ์ ์ผ๋ง๋ ๋ฐ๊พธ๋์ง ์ค๊ฐ๋์ง? ๐
๐ GAA ์ค๊ณ ์ ๊ณ ๋ ค์ฌํญ๊ณผ ์ต์ ํ ์ ๋ต
์ค์ ๋ก GAA ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ์ค๊ณํ ๋๋ ๋ญ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํ ๊น? ๋ฐ๋์ฒด ์ค๊ณ ์์ง๋์ด์ ๊ด์ ์์ ์์๋ณด์! ๐ง
๐น ์ฑ๋ ํญ ์ต์ ํ
GAA์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ฅ์ ์ ์ฑ๋ ํญ์ ์์ ๋กญ๊ฒ ์กฐ์ ํ ์ ์๋ค๋ ๊ฑฐ์ผ. ์ด๊ฑธ ํ์ฉํด์ ํ๋ก๋ง๋ค ์ต์ ํํ ์ ์์ด. ๐
โข ๋์ค ์ ๋ฅ ์ต์ํ
โข ์ ์ ๋ ฅ ํ๋ก์ ์ ํฉ
โข SRAM, ์ ์ ๋ ฅ ๋ก์ง
์ค๊ฐ ์ฑ๋ (40~60nm):
โข ๊ท ํ์กํ ์ฑ๋ฅ
โข ์ผ๋ฐ ๋ก์ง ํ๋ก
โข ๋๋ถ๋ถ์ ๋์งํธ ํ๋ก
๋์ ์ฑ๋ (80~100nm):
โข ๋์ ๊ตฌ๋ ์ ๋ฅ
โข ๊ณ ์ฑ๋ฅ ํ๋ก์ ์ ํฉ
โข I/O ๋ฒํผ, ๊ณ ์ ์ธํฐํ์ด์ค
์ค๊ณํ ๋๋ ๊ฐ ๋ธ๋ก์ ์๊ตฌ์ฌํญ์ ๋ถ์ํด์ ์ต์ ์ ์ฑ๋ ํญ์ ์ ํํด์ผ ํด. ์๋ฅผ ๋ค์ด, CPU ์ฝ์ด๋ ๊ณ ์ฑ๋ฅ์ด ํ์ํ๋ ๋์ ์ฑ๋์, ์บ์ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ๋ ์ ์ ๋ ฅ์ด ์ค์ํ๋ ์ข์ ์ฑ๋์ ์ฐ๋ ์์ด์ง. ์ด๋ฐ ํผํฉ ์ฑ๋ ํญ ์ค๊ณ(Mixed-Width Design)๊ฐ GAA์ ํต์ฌ ์ ๋ต์ด์ผ! ๐ฏ
๐น ์ ์ธต ๊ฐ์ ๊ฒฐ์
๋๋ ธ์ํธ๋ฅผ ๋ช ์ธต ์์์ง๋ ์ค์ํ ๊ฒฐ์ ์ด์ผ. ์ธต์๊ฐ ๋ง์์๋ก ์ ๋ฅ ๊ตฌ๋๋ ฅ์ ์ข์์ง์ง๋ง, ์ ์กฐ ๋์ด๋์ ๋น์ฉ์ด ์ฌ๋ผ๊ฐ๊ฑฐ๋ . ๐๏ธ
์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก 3์ธต์ด ํ์ค์ด์ผ. 2์ธต์ ๋ฉด์ ํจ์จ์ ์ข์ง๋ง ์ฑ๋ฅ์ด ๋ถ์กฑํ๊ณ , 4์ธต ์ด์์ ์์จ์ด ๋จ์ด์ ธ. ํ์ง๋ง ํน์ํ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๋ค๋ฅด๊ฒ ํ ์ ์์ด. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์ด๊ณ ์ I/O ํ๋ก๋ 4์ธต์ ์จ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ต๋ํํ๊ณ , ์ ์ ๋ ฅ ์ผ์๋ 2์ธต์ผ๋ก ๋ฉด์ ์ ์ค์ด๋ ์์ด์ง. ๐ก
๐น ๋ฌธํฑ ์ ์ ์กฐ์
๋ฌธํฑ ์ ์(Threshold Voltage, Vth)์ ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ์ผ์ง๋ ์ ์์ด์ผ. ์ด๊ฒ ๋ฎ์ผ๋ฉด ๋น ๋ฅด์ง๋ง ๋์ค ์ ๋ฅ๊ฐ ๋ง๊ณ , ๋์ผ๋ฉด ๋๋ฆฌ์ง๋ง ๋์ค์ด ์ ์ด. ํธ๋ ์ด๋์คํ ๊ด๊ณ์ง. โ๏ธ
GAA์์๋ ๊ฒ์ดํธ ์ผํจ์ ๊ธ์์ ๋ฐ๊ฟ์ Vth๋ฅผ ์กฐ์ ํด. ๋ณดํต 3~4๊ฐ์ง Vth ์ต์ ์ ์ ๊ณตํด:
โข RVT (Regular Vth): 0.3~0.4V, ์ผ๋ฐ ํ๋ก
โข HVT (High Vth): 0.4~0.5V, ์ ์ ๋ ฅ ํ๋ก
โข SLVT (Super Low Vth): 0.1~0.2V, ์ด๊ณ ์ ํ๋ก (์ ํ์ )
์ค๊ณ์๋ ํ์ด๋ฐ ๋ถ์์ ํตํด ๊ฐ ๊ฒฝ๋ก์ ์ ์ ํ Vth๋ฅผ ์ ํํด์ผ ํด!
๐น ๋ฐฐ์ ์ต์ ํ
3nm ์ดํ์์๋ ๋ฐฐ์ ์ ํญ์ด ์ฑ๋ฅ ๋ณ๋ชฉ์ด ๋ผ. ํธ๋์ง์คํฐ๋ ๋นจ๋ผ์ก๋๋ฐ ๋ฐฐ์ ์ด ๋๋ฆฌ๋ฉด ์๋ฏธ๊ฐ ์๊ฑฐ๋ ! ๐
๊ทธ๋์ ์ฌ๋ฌ ์ต์ ํ ๊ธฐ๋ฒ์ ์จ:
1. ๋ฐฑ์ฌ์ด๋ ์ ๋ ฅ ๊ณต๊ธ: ์ ๋ ฅ์ ์ ์นฉ ๋ท๋ฉด์ผ๋ก ๋นผ์ ์ ํธ์ ๊ณผ ๋ถ๋ฆฌํด. ๋ฐฐ์ ํผ์ก๋๊ฐ ์ค์ด๋ค์ด ์ ํธ ์ง์ฐ์ด ๊ฐ์ํด. ๐
2. ์ ์ ํญ ๊ธ์: ๊ตฌ๋ฆฌ ๋์ ๋ฃจํ ๋(Ru)์ด๋ ์ฝ๋ฐํธ(Co)๋ฅผ ์จ. ๋ฏธ์ธ ๋ฐฐ์ ์์๋ ์ด๊ฒ ์ ํญ์ด ๋ ๋ฎ์. โก
3. ์์ด๊ฐญ: ๋ฐฐ์ ์ฌ์ด์ ๊ณต๊ธฐ์ธต์ ๋ฃ์ด์ ๊ธฐ์ ์ปคํจ์ํด์ค๋ฅผ ์ค์ฌ. ์ ํธ ์๋๊ฐ ๋นจ๋ผ์ง์ง. ๐จ
๐น ์ ๋ ฅ ๊ด๋ฆฌ
GAA ์นฉ์ ์ ๋ ฅ ๋ฐ๋๊ฐ ๋์์ ์ด ๊ด๋ฆฌ๊ฐ ์ค์ํด. ์ค๊ณ ๋จ๊ณ์์๋ถํฐ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํด. ๐ฅ
โข ์ ๋ ฅ ๊ฒ์ดํ : ์ ์ฐ๋ ๋ธ๋ก์ ์ ์์ ์์ ์ฐจ๋จ
โข DVFS: ๋์ ์ ์/์ฃผํ์ ์กฐ์ ๋ก ๋ถํ์ ๋ฐ๋ผ ์ ๋ ฅ ์กฐ์
โข ๋ฉํฐ ์ ์ ๋๋ฉ์ธ: ๋ธ๋ก๋ง๋ค ๋ค๋ฅธ ์ ์ ์ฌ์ฉ
โข ์ด ์ธ์ ๋ฐฐ์น: ๋ฐ์ด์ด ๋ง์ ๋ธ๋ก์ ๋ถ์ฐ ๋ฐฐ์น
์ด๋ฐ ๊ธฐ๋ฒ๋ค์ ์กฐํฉํ๋ฉด ์ ๋ ฅ์ 30~50% ์ค์ผ ์ ์์ด!
๐ ๏ธ GAA ์ค๊ณ ๋๊ตฌ์ ๋ฐฉ๋ฒ๋ก
GAA ์นฉ์ ์ค๊ณํ๋ ค๋ฉด ํน๋ณํ ๋๊ตฌ์ ๋ฐฉ๋ฒ๋ก ์ด ํ์ํด. ๊ธฐ์กด FinFET์ฉ ๋๊ตฌ๋ก๋ ๋ถ์กฑํ๊ฑฐ๋ ! ๐จ
๐ธ TCAD ์๋ฎฌ๋ ์ด์
TCAD(Technology Computer-Aided Design)๋ ํธ๋์ง์คํฐ์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ๋์์ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ํ๋ ๋๊ตฌ์ผ. GAA ๊ฐ์ ์๋ก์ด ๊ตฌ์กฐ๋ ์คํ์ ์ผ๋ก ๋ง๋ค๊ธฐ ์ ์ TCAD๋ก ๋จผ์ ๊ฒ์ฆํด์ผ ํด. ์ํ์ฐฉ์ค๋ฅผ ์ค์ผ ์ ์๊ฑฐ๋ ! ๐ฅ๏ธ
Synopsys์ Sentaurus, Silvaco์ ATLAS ๊ฐ์ ๋๊ตฌ๋ฅผ ์จ. ์ด๊ฑธ๋ก ์ฑ๋ ๋๊ป, ๊ฒ์ดํธ ์คํ ๊ตฌ์กฐ, ๋ํ ํ๋กํ์ผ ๊ฐ์ ๊ฑธ ์ต์ ํํด. ์๋ฐฑ ๋ฒ์ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ์ ๋๋ ค์ ์ต์ ์กฐ๊ฑด์ ์ฐพ๋ ๊ฑฐ์ง. ์๊ฐ์ ์ค๋ ๊ฑธ๋ฆฌ์ง๋ง ์ค์ ์ ์กฐ ๋น์ฉ์ ํฌ๊ฒ ์ค์ผ ์ ์์ด! โฑ๏ธ
๐ธ SPICE ๋ชจ๋ธ๋ง
TCAD๋ก ์ต์ ํํ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ SPICE ๋ชจ๋ธ๋ก ๋ง๋ค์ด์ผ ํ๋ก ์ค๊ณ์ ์ธ ์ ์์ด. GAA๋ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋ณต์กํด์ ๊ธฐ์กด BSIM ๋ชจ๋ธ๋ก๋ ์ ํ๋๊ฐ ๋จ์ด์ ธ. ๊ทธ๋์ ์๋ก์ด BSIM-IMG(Independent Multi-Gate) ๋ชจ๋ธ์ ๊ฐ๋ฐํ์ด. ๐
์ด ๋ชจ๋ธ์ ๊ฐ ๋๋ ธ์ํธ๋ฅผ ๋ ๋ฆฝ์ ์ผ๋ก ๋ชจ๋ธ๋งํด์ ์ ํ๋๋ฅผ ๋์์ด. ์ค์ฐจ๊ฐ 5% ์ด๋ด๋ก ์ค์ด๋ค์์ง. ๋ชจ๋ธ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๊ฐ 100๊ฐ ์ด์์ด๋ผ ์ถ์ถํ๊ธฐ ์ด๋ ต์ง๋ง, ์ ํํ ํ๋ก ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ์ ์ํด ํ์์ผ! ๐ฏ
๐ธ PDK์ ์ค๊ณ ๋ฃฐ
PDK(Process Design Kit)๋ ํ์ด๋๋ฆฌ๊ฐ ์ ๊ณตํ๋ ์ค๊ณ ํคํธ์ผ. ํธ๋์ง์คํฐ ๋ชจ๋ธ, ํ์ค ์ ๋ผ์ด๋ธ๋ฌ๋ฆฌ, ์ค๊ณ ๋ฃฐ ๋ฑ์ด ํฌํจ๋ผ ์์ด. GAA PDK๋ FinFET๋ณด๋ค ํจ์ฌ ๋ณต์กํด. ์ฑ๋ ํญ ์ต์ ์ด ๋ง๊ณ , ์ ์ธต ๊ฐ์๋ ์ ํํ ์ ์์ผ๋๊น! ๐
์ค๊ณ ๋ฃฐ๋ ๊น๋ค๋ก์. ์ต์ ๊ฐ๊ฒฉ, ์ต์ ํญ, ์ธ์ ํจ๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฒ ๋ ์๊ฒฉํด. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ๋๋ ธ์ํธ ์ฌ์ด ๊ฐ๊ฒฉ์ 5nm ์ด์์ด์ด์ผ ํ๊ณ , ๊ฒ์ดํธ ํผ์น๋ 48nm ์ด์์ด์ด์ผ ํด. ์ด๋ฐ ๋ฃฐ์ ์ด๊ธฐ๋ฉด ์ ์กฐ๊ฐ ์ ๋๊ฑฐ๋ ์์จ์ด ๋จ์ด์ ธ. ์ค๊ณ์๋ ์ด ๋ฃฐ์ ์ฒ ์ ํ ์ง์ผ์ผ ํด! โ ๏ธ
๐ธ EDA ๋๊ตฌ ์ฒด์ธ
์ค์ ์นฉ ์ค๊ณ๋ ์ฌ๋ฌ EDA ๋๊ตฌ๋ฅผ ์ฐ๊ณํด์ ํด. ์ ์ฒด ํ๋ฆ์ ์ด๋:
2. ๋ ผ๋ฆฌ ํฉ์ฑ: Synopsys Design Compiler๋ก ๊ฒ์ดํธ ๋ ๋ฒจ ๋ณํ
3. ๋ฐฐ์น: Cadence Innovus๋ก ํ์ค ์ ๋ฐฐ์น
4. ํด๋ญ ํธ๋ฆฌ ํฉ์ฑ: ํด๋ญ ๋ถ๋ฐฐ ๋คํธ์ํฌ ์์ฑ
5. ๋ฐฐ์ : ์ ํธ์ ์ฐ๊ฒฐ
6. ํ์ด๋ฐ ๊ฒ์ฆ: Synopsys PrimeTime์ผ๋ก ํ์ด๋ฐ ์ฒดํฌ
7. ๋ฌผ๋ฆฌ ๊ฒ์ฆ: Mentor Calibre๋ก DRC/LVS ์ฒดํฌ
8. ๊ธฐ์ ์ถ์ถ: StarRC๋ก ๋ฐฐ์ ๊ธฐ์ ์ฑ๋ถ ์ถ์ถ
9. ์ต์ข ์๋ฎฌ๋ ์ด์ : ๊ธฐ์ ์ฑ๋ถ ํฌํจํด์ ์ฌ๊ฒ์ฆ
๊ฐ ๋จ๊ณ๋ง๋ค ๋ฐ๋ณต๊ณผ ์ต์ ํ๊ฐ ํ์ํด. ์ ์ฒด ์ค๊ณ์ ์๊ฐ์์ด ๊ฑธ๋ ค!
GAA ์ค๊ณ๋ FinFET๋ณด๋ค 20~30% ์๊ฐ์ด ๋ ๊ฑธ๋ ค. ๋ณต์ก๋๊ฐ ๋์ผ๋๊น! ํ์ง๋ง ์ฑ๋ฅ ํฅ์์ ์๊ฐํ๋ฉด ์ถฉ๋ถํ ๊ฐ์น ์๋ ํฌ์์ผ. ๐
๐ผ GAA ๊ธฐ์ ๊ณผ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๋ฏธ๋
GAA๋ ๋จ์ํ ํธ๋์ง์คํฐ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ณํ๊ฐ ์๋์ผ. ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ์ฒด์ ํ๋๋ฅผ ๋ฐ๊พธ๊ณ ์์ด! ๐
๐น ํ์ด๋๋ฆฌ ๊ฒฝ์ ๊ตฌ๋ ๋ณํ
GAA ์์ฐ ๋ฅ๋ ฅ์ด ํ์ด๋๋ฆฌ์ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ๊ฒฐ์ ํ๊ณ ์์ด. ์ผ์ฑ์ด 3nm GAA๋ฅผ ๋จผ์ ์์ฐํ๋ฉด์ TSMC๋ฅผ ์ถ๊ฒฉํ๊ณ ์์ง. TSMC๋ 2025๋ 2nm GAA๋ก ๋ฐ๊ฒฉํ ์์ ์ด๊ณ . ์ธํ ๋ ํ์ด๋๋ฆฌ ์ฌ์ ์ ๋ฐ์ด๋ค๋ฉด์ 3ํ์ ๊ตฌ๋๊ฐ ํ์ฑ๋๊ณ ์์ด. ๐ฅ
์ค์ํ ๊ฑด ๊ธฐ์ ๋ ฅ๋ฟ ์๋๋ผ ์์จ๊ณผ ๋น์ฉ์ด์ผ. ์๋ฌด๋ฆฌ ์ฑ๋ฅ์ด ์ข์๋ ์์จ์ด ๋ฎ์ผ๋ฉด ๊ณ ๊ฐ์ด ์ ์. TSMC๊ฐ ๊ฐํ ์ด์ ๋ 90% ์ด์์ ๋์ ์์จ ๋๋ฌธ์ด๊ฑฐ๋ . ์ผ์ฑ๋ ์์จ์ ๋น ๋ฅด๊ฒ ๊ฐ์ ํ๊ณ ์์ด. 2024๋ ๋ง์๋ 80% ์ด์์ผ๋ก ์ฌ๋ผ๊ฐ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋ผ. ๐
๐น ์ค๊ณ ํ์ฌ์ ๋์
ํน๋ฆฌ์ค(์ค๊ณ ์ ๋ฌธ) ํ์ฌ๋ค๋ GAA์ ์ ์ํด์ผ ํด. ๊ธฐ์กด ์ค๊ณ๋ฅผ ๊ทธ๋๋ก ์ธ ์ ์๊ฑฐ๋ . ๋์์ธ ๋ง์ด๊ทธ๋ ์ด์ (Design Migration)์ด ํ์ํด. ๐
ํ์ปด, ์๋น๋์, AMD ๊ฐ์ ํ์ฌ๋ค์ ์ด๋ฏธ GAA ์ค๊ณ ํ์ ๊พธ๋ ธ์ด. ์๋ก์ด PDK๋ฅผ ๋ฐฐ์ฐ๊ณ , ์ค๊ณ ๋ฐฉ๋ฒ๋ก ์ ์ ๋ฐ์ดํธํ๊ณ , IP๋ฅผ ์ฌ์ค๊ณํ๋ ์์ ์ ํ๊ณ ์์ง. ์ด๊ฒ 1~2๋ ๊ฑธ๋ฆฌ๋ ํฐ ํ๋ก์ ํธ์ผ. ํ์ง๋ง GAA์ ์ฑ๋ฅ ํฅ์์ ์๊ฐํ๋ฉด ํ์์ ์ธ ํฌ์์ง! ๐ช
๐น ์ฅ๋น ์ ์ฒด์ ๊ธฐํ
GAA ์ ์กฐ์๋ ์ฒจ๋จ ์ฅ๋น๊ฐ ํ์์ผ. ์ด๊ฒ ์ฅ๋น ์ ์ฒด๋ค์๊ฒ๋ ํฐ ๊ธฐํ์ง! ๐ฐ
โข Applied Materials: ์ํผํ์ ์ฑ์ฅ, CVD, ์๊ฐ ์ฅ๋น
โข Lam Research: ์์์ธต ์๊ฐ(ALE), ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๊ฐ
โข Tokyo Electron: ์ฆ์ฐฉ, ์๊ฐ, ์ธ์ ์ฅ๋น
โข KLA: ๊ฒ์ฌ ๋ฐ ์ธก์ ์ฅ๋น
์ด ํ์ฌ๋ค์ ์ฃผ๊ฐ๊ฐ GAA ์์ฐ๊ณผ ํจ๊ป ๊ธ๋ฑํ๊ณ ์์ด! ๐
ํนํ EUV ์ฅ๋น๋ GAA์ ํต์ฌ์ด์ผ. ASML์ด ๋ ์ ๊ณต๊ธํ๋๋ฐ, ํ ๋์ 2,000์ต ์์ด ๋์ด. ๊ทธ๋ฐ๋ฐ๋ ์ฃผ๋ฌธ์ด ๋ฐ๋ ค์ 2๋ ์ด์ ๊ธฐ๋ค๋ ค์ผ ํด. ๋ฐ๋์ฒด ์ ์ฒด๋ค์ด GAA ์์ฐ์ ์ํด ์์ญ ๋์ฉ ์ฃผ๋ฌธํ๊ณ ์๊ฑฐ๋ ! ๐ฐ
๐น ์ธ์ฌ ์์ ์ฆ๊ฐ
GAA ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ๊ณผ ์์ฐ์ผ๋ก ๋ฐ๋์ฒด ์ธ์ฌ ์์๊ฐ ํญ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์์ด. ํนํ ๊ณต์ ์์ง๋์ด, ์ค๊ณ ์์ง๋์ด, ์ฅ๋น ์์ง๋์ด๊ฐ ๋ถ์กฑํด. ๐
์ผ์ฑ์ ์์ TSMC๋ ๋งค๋ ์์ฒ ๋ช ์ฉ ์ฑ์ฉํ๊ณ ์์ด. ์ด๋ด๋ ๋์์ง๊ณ ์์ง. ๋ฐ๋์ฒด ์ ๊ณต์๋ ์ทจ์ ๊ฑฑ์ ์ด ์๋ ์๋์ผ! ๋ง์ฝ ์ ๊ธฐ์ ์๊ณตํ์ ๊ณต๋ถํ๊ณ ์๋ค๋ฉด, GAA ๊ฐ์ ์ต์ ๊ธฐ์ ์ ๋ฐฐ์๋๋ฉด ํฐ ๋์์ด ๋ ๊ฑฐ์ผ. ์ฌ๋ฅ๋ท ๊ฐ์ ํ๋ซํผ์์ ๊ด๋ จ ์ง์์ ๊ณต์ ํ๊ฑฐ๋ ๋ฐฐ์ธ ์๋ ์๊ณ ! ๐
โข ๋ฐ๋์ฒด ๋ฌผ๋ฆฌํ (์์์ญํ, ๊ณ ์ฒด๋ฌผ๋ฆฌ)
โข ์ ์ํ๋ก (์๋ ๋ก๊ทธ, ๋์งํธ)
โข ๊ณต์ ๊ธฐ์ (๋ฐ๋ง, ์๊ฐ, ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ)
โข ์ค๊ณ ๋๊ตฌ (Cadence, Synopsys, Mentor)
โข ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ (Python, C++, Verilog)
์ถ์ฒ ์ง๋ก:
โข ๋ํ: ์ ๊ธฐ์ ์๊ณตํ, ๋ฐ๋์ฒด๊ณตํ ์ ๊ณต
โข ๋ํ์: ์์ฌ ์ด์ (์ฐ๊ตฌ๊ฐ๋ฐ์ง์ ๊ฑฐ์ ํ์)
โข ์ธํด: ๋ฐฉํ ๋ ๋ฐ๋์ฒด ํ์ฌ ์ธํด ๊ฒฝํ
โข ์๊ฒฉ์ฆ: ๋ฐ๋์ฒด์ค๊ณ๊ธฐ์ฌ, ๋ฐ๋์ฒด์ ์กฐ๊ธฐ์ฌ
์ด์ฌํ ๊ณต๋ถํ๋ฉด ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์์ ์ผํ ์ ์์ด! ๐
๐ฑ GAA ๊ธฐ์ ์ ํ๊ฒฝ์ ์ํฅ
๊ธฐ์ ๋ฐ์ ๋งํผ ์ค์ํ ๊ฒ ํ๊ฒฝ์ด์ผ. GAA๋ ํ๊ฒฝ์ ์ด๋ค ์ํฅ์ ๋ฏธ์น ๊น? ๐
๐ธ ์๋์ง ํจ์จ ๊ฐ์
GAA์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ํ๊ฒฝ์ ์ด์ ์ ์๋์ง ํจ์จ์ด์ผ. ๊ฐ์ ์ฑ๋ฅ์์ ์ ๋ ฅ์ 50% ์ค์ผ ์ ์๋ค๋ ๊ฑด, ์ ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก ์์ฒญ๋ ์๋์ง ์ ๊ฐ์ด์ผ! โก
์๋ฅผ ๋ค์ด, ๋ฐ์ดํฐ์ผํฐ๋ ์ ์ธ๊ณ ์ ๋ ฅ์ 1~2%๋ฅผ ์๋นํด. GAA ์นฉ์ผ๋ก ์ ํํ๋ฉด ์ด ์ค ์ ๋ฐ์ ์ค์ผ ์ ์์ด. ์ฐ๊ฐ ์๋ฐฑ TWh์ ์ ๋ ฅ ์ ๊ฐ์ด์ง. ์ด์ฐํํ์ ๋ฐฐ์ถ๋ ์์ฒ๋ง ํค ์ค์ด๋ค์ด. ๊ธฐํ๋ณํ ๋์์ ํฐ ๋์์ด ๋๋ ๊ฑฐ์ผ! ๐ฑ
๐ธ ์ ์กฐ ๊ณผ์ ์ ํ๊ฒฝ ๋ถ๋ด
ํ์ง๋ง GAA ์ ์กฐ ๊ณผ์ ์ ํ๊ฒฝ ๋ถ๋ด์ด ์ปค. ๊ณต์ ๋จ๊ณ๊ฐ ๋ง์์ ํํ๋ฌผ์ง ์ฌ์ฉ๋์ด ๋์ด๋๊ฑฐ๋ . ํนํ ๋ถํ์์(HF), ์๋ชจ๋์(NHโ), ๊ณผ์ฐํ์์(HโOโ) ๊ฐ์ ์ํ ๋ฌผ์ง์ ๋ง์ด ์จ. โ ๏ธ
๋ฌผ ์ฌ์ฉ๋๋ ์์ฒญ๋. ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ฅ ํ๋๊ฐ ํ๋ฃจ์ ์๋ง ํค์ ๋ฌผ์ ์ฐ๊ฑฐ๋ . GAA๋ ์ธ์ ๊ณต์ ์ด ๋ ๋ง์์ ๋ฌผ ์ฌ์ฉ๋์ด 20~30% ์ฆ๊ฐํด. ์ด๊ฒ ํ๊ฒฝ ๋ฌธ์ ๋ก ์ง์ ๋ฐ๊ณ ์์ด. ๐ง
โข ๋ฌผ ์ฌํ์ฉ: ํ์ ์ฒ๋ฆฌ ํ ์ฌ์ฌ์ฉ, ์ฌํ์ฉ๋ฅ 90% ์ด์
โข ํํ๋ฌผ์ง ์ ๊ฐ: ์นํ๊ฒฝ ๋์ฒด ๋ฌผ์ง ๊ฐ๋ฐ
โข ํ์ ํฌ์ง: ๊ณต์ ์ค ๋ฐ์ํ๋ COโ ํฌ์ง ๋ฐ ์ ์ฅ
โข ํ๊ธฐ๋ฌผ ์ฌํ์ฉ: ์ค๋ฆฌ์ฝ ์จ์ดํผ ์ฌ์, ๊ธ์ ํ์
ํ๊ฒฝ๊ณผ ๊ธฐ์ ๋ฐ์ ์ ๋์์ ์ถ๊ตฌํ๋ ๊ฒ ๊ณผ์ ์ผ! ๐ฟ
๐ธ ์ ํ ์๋ช ๊ณผ ์ ์ ํ๊ธฐ๋ฌผ
GAA ์นฉ์ ์ฑ๋ฅ์ด ์ข์์ ์ ํ ์๋ช ์ด ๊ธธ์ด์ง ์ ์์ด. ์ค๋งํธํฐ์ 2๋ ์ด ์๋๋ผ 3~4๋ ์ธ ์ ์๋ค๋ฉด, ์ ์ ํ๊ธฐ๋ฌผ์ด ์ค์ด๋ค๊ฒ ์ง? โป๏ธ
ํ์ง๋ง ๋ฐ๋๋ก ์ฑ๋ฅ์ด ์ข์์ ๋ ์์ฃผ ๋ฐ๊พธ๊ณ ์ถ์ด์ง ์๋ ์์ด. ์ด๊ฑด ์๋น์์ ์ ํ์ด์ผ. ํ๊ฒฝ์ ์๊ฐํ๋ค๋ฉด ์ ํ์ ์ค๋ ์ฐ๋ ๊ฒ ์ข๊ฒ ์ง? ์ฌ๋ฅ๋ท์์ ์ ์๊ธฐ๊ธฐ ์๋ฆฌ๋ ์ ๊ทธ๋ ์ด๋ ์ฌ๋ฅ์ ๊ณต์ ํ๋ ๊ฒ๋ ํ๊ฒฝ ๋ณดํธ์ ๋์์ด ๋ ๊ฑฐ์ผ! ๐ง
๐ฌ ๋ง๋ฌด๋ฆฌ: GAA๊ฐ ์ฌ๋ ๋ฏธ๋
์ฌ๊ธฐ๊น์ง GAA ํธ๋์ง์คํฐ์ ๋ํด ๊น์ด ์์๋ดค์ด. ์ ๋ง ๋ง์ ๋ด์ฉ์ด์์ง? ๐ ๊ฐ๋จํ ์ ๋ฆฌํด๋ณผ๊ฒ!
โ ์ฅ์ : ์ต๊ณ ์ ๊ฒ์ดํธ ์ ์ด๋ ฅ, ๋์ค ์ ๋ฅ ์ต์ํ, ์ฑ๋ฅ๊ณผ ์ ๋ ฅ ํจ์จ ๋์ ๊ฐ์
โ ์ข ๋ฅ: ๋๋ ธ์ํธ(ํ์ฌ), ๋๋ ธ์์ด์ด(๋ฏธ๋)
โ ์ ์กฐ: EUV ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ, ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ, ์ ํ์ ์๊ฐ ๋ฑ ์ฒจ๋จ ๊ณต์ ํ์
โ ์์ฉ: ์ค๋งํธํฐ, ์๋ฒ, AI ์นฉ, ์๋์ฐจ, ์๋ฃ๊ธฐ๊ธฐ ๋ฑ ๋ชจ๋ ๋ถ์ผ
โ ๊ณผ์ : ์ ์กฐ ๋์ด๋, ๋น์ฉ, ์์จ, ์ด ๊ด๋ฆฌ
โ ๋ฏธ๋: 2nm, 1.4nm๋ก ๊ณ์ ๋ฐ์ , ์ดํ CFET, 2D ์์ฌ๋ก ์งํ
GAA๋ ๋ฌด์ด์ ๋ฒ์น์ ์ฐ์ฅํ๊ณ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๋ฏธ๋๋ฅผ ์ฌ๋ ํต์ฌ ๊ธฐ์ ์ด์ผ! ๐
GAA ํธ๋์ง์คํฐ๋ ๋จ์ํ ๊ธฐ์ ๋ฐ์ ์ด ์๋์ผ. ์ฐ๋ฆฌ ์ถ์ ๋ฐ๊พธ๋ ํ์ ์ด์ง. ๋ ๋น ๋ฅธ ์ค๋งํธํฐ, ๋ ์ค๋ ๊ฐ๋ ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ, ๋ ๋๋ํ AI, ๋ ์์ ํ ์์จ์ฃผํ์ฐจ... ์ด ๋ชจ๋ ๊ฒ GAA ๋๋ถ์ ๊ฐ๋ฅํด์ง๊ณ ์์ด. ๐
๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ๊ณ์ ์งํํ ๊ฑฐ์ผ. GAA ์ดํ์๋ CFET, 2D ์์ฌ, ํ์ ๋๋ ธํ๋ธ ๊ฐ์ ์๋ก์ด ๊ธฐ์ ๋ค์ด ๊ธฐ๋ค๋ฆฌ๊ณ ์์ด. ์ด์ฉ๋ฉด ์ง๊ธ ์ด ๊ธ์ ์ฝ๋ ๋ํฌ ์ค ๋๊ตฐ๊ฐ๊ฐ ์ฐจ์ฐจ์ธ๋ ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ ์ง๋ ๋ชฐ๋ผ! ๐
์ ๊ธฐ์ ์๊ณตํ, ํนํ ๋ฐ๋์ฒด ๋ถ์ผ๋ ์ ๋ง ํฅ๋ฏธ์ง์งํ ๋ถ์ผ์ผ. ๋๋ ธ๋ฏธํฐ ์ธ๊ณ์์ ์์๋ฅผ ๋ค๋ฃจ๋ ๊ธฐ์ , ์์์ญํ์ ์์ฉํ๋ ๋ฌผ๋ฆฌํ, ๋ณต์กํ ํ๋ก๋ฅผ ์ค๊ณํ๋ ๊ณตํ... ๋ชจ๋ ๊ฒ ์ด์ฐ๋ฌ์ง ์ข ํฉ ์์ ์ด์ง. ์ด๋ ต์ง๋ง ๊ทธ๋งํผ ๋ณด๋๋ ํฌ๊ณ ! ๐ช
๋ง์ฝ ์ด ๋ถ์ผ์ ๊ด์ฌ์ด ์๊ฒผ๋ค๋ฉด, ๋ ๊ณต๋ถํด๋ณด๊ธธ ์ถ์ฒํด. ๋ํ ๊ฐ์, ์จ๋ผ์ธ ์ฝ์ค, ๋ ผ๋ฌธ, ํนํ ๋ฑ ๋ฐฐ์ธ ์๋ฃ๊ฐ ๋ง์. ์ฌ๋ฅ๋ท ๊ฐ์ ํ๋ซํผ์์ ์ ๋ฌธ๊ฐ์๊ฒ ๋ฐฐ์ฐ๊ฑฐ๋, ๋ฐ๋๋ก ๋์ ์ง์์ ๊ณต์ ํ ์๋ ์์ด. ํจ๊ป ๋ฐฐ์ฐ๊ณ ์ฑ์ฅํ๋ ๊ฒ ์ค์ํ๋๊น! ๐
๊ธฐ์ ์ ๊ณ์ ๋ฐ์ ํ์ง๋ง, ๊ทธ ๊ธฐ์ ์ ๋ง๋ค๊ณ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฑด ๊ฒฐ๊ตญ ์ฌ๋์ด์ผ. GAA ํธ๋์ง์คํฐ๋ ์๋ง์ ์์ง๋์ด๋ค์ ๋๊ณผ ๋ ธ๋ ฅ์ด ๋ง๋ค์ด๋ธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฌผ์ด์ง. ์ฐ๋ฆฌ๋ ๊ฐ์์ ์๋ฆฌ์์ ์ธ์์ ๋ ๋์ ๊ณณ์ผ๋ก ๋ง๋ค ์ ์์ด. ๊ธฐ์ ๋ก, ์ง์์ผ๋ก, ์ฌ๋ฅ์ผ๋ก! ๐
๊ธด ๊ธ ์ฝ์ด์ค์ ๊ณ ๋ง์! GAA ํธ๋์ง์คํฐ์ ๋ํด ๊ถ๊ธํ ๊ฒ ์์ผ๋ฉด ์ธ์ ๋ ๋ ์ฐพ์๋ณด๊ณ , ์ง๋ฌธํ๊ณ , ํ ๋ก ํด๋ด. ์ง์์ ๋๋์๋ก ์ปค์ง๋๊น! ๋ค์์ ๋ ์ฌ๋ฏธ์๋ ๊ธฐ์ ์ด์ผ๊ธฐ๋ก ๋ง๋์. ์๋ ! ๐
๐ ๋ ๋ง์ ์ง์์ ์ฐพ๊ณ ๊ณ์ ๊ฐ์?
์ฌ๋ฅ๋ท '์ง์์ธ์ ์ฒ'์์ ๋ค์ํ ์ ๋ฌธ ์ง์์ ๋ง๋๋ณด์ธ์!
์ ๊ธฐ์ ์๊ณตํ๋ถํฐ AI, ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ, ๋์์ธ๊น์ง
์ ๋ฌธ๊ฐ๋ค์ ์ด์์๋ ์ง์์ด ์ฌ๋ฌ๋ถ์ ๊ธฐ๋ค๋ฆฝ๋๋ค. ๐ณ
๊ด๋ จ ํค์๋
๋๊ธ ์์ฑ
์ด ๊ธ์ ๋ํ ์ฌ๋ฌ๋ถ์ ์๊ฐ์ ๋ค๋ ค์ฃผ์ธ์
๋ก๊ทธ์ธ์ด ํ์ํฉ๋๋ค
๋๊ธ์ ์์ฑํ๋ ค๋ฉด ๋จผ์ ๋ก๊ทธ์ธํด์ฃผ์ธ์.
๋๊ธ 0
์ง์์ธ์ ์ฒ - ์ง์ ์ฌ์ฐ๊ถ ๋ณดํธ ๊ณ ์ง
์ง์ ์ฌ์ฐ๊ถ ๋ณดํธ ๊ณ ์ง
- ์ ์๊ถ ๋ฐ ์์ ๊ถ: ๋ณธ ์ปจํ ์ธ ๋ ์ฌ๋ฅ๋ท์ ๋ ์ AI ๊ธฐ์ ๋ก ์์ฑ๋์์ผ๋ฉฐ, ๋ํ๋ฏผ๊ตญ ์ ์๊ถ๋ฒ ๋ฐ ๊ตญ์ ์ ์๊ถ ํ์ฝ์ ์ํด ๋ณดํธ๋ฉ๋๋ค.
- AI ์์ฑ ์ปจํ ์ธ ์ ๋ฒ์ ์ง์: ๋ณธ AI ์์ฑ ์ปจํ ์ธ ๋ ์ฌ๋ฅ๋ท์ ์ง์ ์ฐฝ์๋ฌผ๋ก ์ธ์ ๋๋ฉฐ, ๊ด๋ จ ๋ฒ๊ท์ ๋ฐ๋ผ ์ ์๊ถ ๋ณดํธ๋ฅผ ๋ฐ์ต๋๋ค.
- ์ฌ์ฉ ์ ํ: ์ฌ๋ฅ๋ท์ ๋ช ์์ ์๋ฉด ๋์ ์์ด ๋ณธ ์ปจํ ์ธ ๋ฅผ ๋ณต์ , ์์ , ๋ฐฐํฌ, ๋๋ ์์ ์ ์ผ๋ก ํ์ฉํ๋ ํ์๋ ์๊ฒฉํ ๊ธ์ง๋ฉ๋๋ค.
- ๋ฐ์ดํฐ ์์ง ๊ธ์ง: ๋ณธ ์ปจํ ์ธ ์ ๋ํ ๋ฌด๋จ ์คํฌ๋ํ, ํฌ๋กค๋ง, ๋ฐ ์๋ํ๋ ๋ฐ์ดํฐ ์์ง์ ๋ฒ์ ์ ์ฌ์ ๋์์ด ๋ฉ๋๋ค.
- AI ํ์ต ์ ํ: ์ฌ๋ฅ๋ท์ AI ์์ฑ ์ปจํ ์ธ ๋ฅผ ํ AI ๋ชจ๋ธ ํ์ต์ ๋ฌด๋จ ์ฌ์ฉํ๋ ํ์๋ ๊ธ์ง๋๋ฉฐ, ์ด๋ ์ง์ ์ฌ์ฐ๊ถ ์นจํด๋ก ๊ฐ์ฃผ๋ฉ๋๋ค.
์์ง ๋๊ธ์ด ์์ต๋๋ค.