์ฝ˜ํ…์ธ  ๋Œ€ํ‘œ ์ด๋ฏธ์ง€ - ๐Ÿ”ฌ ์ฐจ์„ธ๋Œ€ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์„ค๊ณ„์˜ ๋ชจ๋“  ๊ฒƒ

๐Ÿ”ฌ ์ฐจ์„ธ๋Œ€ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์„ค๊ณ„์˜ ๋ชจ๋“  ๊ฒƒ

๋ฐ˜๋„์ฒด์˜ ๋ฏธ๋ž˜๋ฅผ ์—ฌ๋Š” ํ˜์‹ ์ ์ธ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํŒŒํ—ค์ณ๋ณด์ž! ๐Ÿš€

๐ŸŽฏ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ, ์™œ ์ง€๊ธˆ ์ฃผ๋ชฉ๋ฐ›๋Š” ๊ฑธ๊นŒ?

์นœ๊ตฌ์•ผ, ํ˜น์‹œ ์Šค๋งˆํŠธํฐ์ด ํ•ด๊ฐ€ ๊ฐˆ์ˆ˜๋ก ๋” ๋นจ๋ผ์ง€๊ณ  ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๋„ ์˜ค๋ž˜ ๊ฐ€๋Š” ๊ฑฐ ๋А๊ปด๋ดค์–ด? ๐Ÿค” ๊ทธ๊ฒŒ ๋‹ค ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ๋•๋ถ„์ด์•ผ. ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ์˜ ๊ฐ€์žฅ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ์ธ๋ฐ, ์ด๊ฒŒ ์ž‘์•„์งˆ์ˆ˜๋ก ์นฉ ์„ฑ๋Šฅ์ด ์ข‹์•„์ง€๊ฑฐ๋“ . ๊ทธ๋Ÿฐ๋ฐ ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ์ƒ๊ฒผ์–ด. ๊ธฐ์กด ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ๋Š” ๋” ์ด์ƒ ์ž‘๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ๊ฐ€ ์–ด๋ ค์›Œ์ง„ ๊ฑฐ์•ผ! ๐Ÿ˜ฑ

๊ทธ๋ž˜์„œ ๋“ฑ์žฅํ•œ ๊ฒŒ ๋ฐ”๋กœ GAA(Gate-All-Around) ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์•ผ. ์ด๋ฆ„ ๊ทธ๋Œ€๋กœ ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์ฑ„๋„์„ ์™„์ „ํžˆ ๋‘˜๋Ÿฌ์‹ธ๋Š” ๊ตฌ์กฐ์ธ๋ฐ, ์ด๊ฒŒ ์™œ ํ˜๋ช…์ ์ด๋ƒ๊ณ ? ์ง€๊ธˆ๋ถ€ํ„ฐ ์ฐจ๊ทผ์ฐจ๊ทผ ์•Œ์•„๋ณด์ž! ๐Ÿ’ก

๐Ÿ”‘ ํ•ต์‹ฌ ํฌ์ธํŠธ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋Š” ์‚ผ์„ฑ์ „์ž๊ฐ€ 3nm ๊ณต์ •๋ถ€ํ„ฐ ๋ณธ๊ฒฉ ์ ์šฉํ•œ ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ๊ตฌ์กฐ๋กœ, ๊ธฐ์กด FinFET์„ ๋›ฐ์–ด๋„˜๋Š” ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์ „๋ ฅ ํšจ์œจ์„ ์ œ๊ณตํ•ด. TSMC๋„ 2nm ๊ณต์ •๋ถ€ํ„ฐ ๋„์ž…ํ•  ์˜ˆ์ •์ด๋ผ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—…๊ณ„ ์ „์ฒด๊ฐ€ ์ฃผ๋ชฉํ•˜๊ณ  ์žˆ์ง€!
ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ๊ตฌ์กฐ์˜ ์ง„ํ™” Planar ํ‰๋ฉด ๊ตฌ์กฐ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ฑ„๋„ ์ œ์–ด๋ ฅ: โญโญ FinFET 3D ํ•€ ๊ตฌ์กฐ 3๋ฉด ์ œ์–ด ์ œ์–ด๋ ฅ: โญโญโญโญ GAA ์ „๋ฐฉ์œ„ ํฌ์œ„ ๊ตฌ์กฐ ์™„์ „ ํฌ์œ„ ์ œ์–ด๋ ฅ: โญโญโญโญโญ

๐Ÿ“š ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ๊ธฐ๋ณธ ์›๋ฆฌ๋ถ€ํ„ฐ ์ดํ•ดํ•˜๊ธฐ

GAA๋ฅผ ์ œ๋Œ€๋กœ ์ดํ•ดํ•˜๋ ค๋ฉด ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๊ฐ€ ๋ญ”์ง€๋ถ€ํ„ฐ ์•Œ์•„์•ผ ํ•ด. ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋Š” ์‰ฝ๊ฒŒ ๋งํ•˜๋ฉด ์ „๊ธฐ ์‹ ํ˜ธ๋ฅผ ์ œ์–ดํ•˜๋Š” ์Šค์œ„์น˜์•ผ. ๐ŸŽ›๏ธ ์ˆ˜๋„๊ผญ์ง€๋ฅผ ์ƒ๊ฐํ•ด๋ด. ์†์žก์ด๋ฅผ ๋Œ๋ฆฌ๋ฉด ๋ฌผ์ด ๋‚˜์˜ค๊ฑฐ๋‚˜ ๋ฉˆ์ถ”์ž–์•„? ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋„ ๋น„์Šทํ•ด. ๊ฒŒ์ดํŠธ(Gate)๋ผ๋Š” ๋ถ€๋ถ„์— ์ „์••์„ ๊ฑธ๋ฉด ์†Œ์Šค(Source)์—์„œ ๋“œ๋ ˆ์ธ(Drain)์œผ๋กœ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ํ๋ฅด๊ฑฐ๋‚˜ ๋ฉˆ์ถ”๋Š” ๊ฑฐ์ง€.

๐Ÿ”ง ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ 3๋Œ€ ๊ตฌ์„ฑ ์š”์†Œ 1. ๊ฒŒ์ดํŠธ(Gate): ์ „๋ฅ˜ ํ๋ฆ„์„ ์ œ์–ดํ•˜๋Š” ์ œ์–ดํŒ. ์—ฌ๊ธฐ์— ์ „์••์„ ๊ฑธ๋ฉด ์ฑ„๋„์ด ํ˜•์„ฑ๋ผ.

2. ์†Œ์Šค(Source): ์ „์ž๊ฐ€ ์ถœ๋ฐœํ•˜๋Š” ๊ณณ. ์ „๋ฅ˜์˜ ์‹œ์ž‘์ ์ด์•ผ.

3. ๋“œ๋ ˆ์ธ(Drain): ์ „์ž๊ฐ€ ๋„์ฐฉํ•˜๋Š” ๊ณณ. ์ „๋ฅ˜์˜ ๋„์ฐฉ์ ์ด์ง€.

๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์ด ์‚ฌ์ด์— ์ฑ„๋„(Channel)์ด๋ผ๋Š” ์ „๋ฅ˜ ํ†ต๋กœ๊ฐ€ ์žˆ์–ด. ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ „์••์— ๋”ฐ๋ผ ์ด ์ฑ„๋„์ด ์—ด๋ฆฌ๊ณ  ๋‹ซํžˆ๋Š” ๊ฑฐ์•ผ! โšก

์ „ํ†ต์ ์ธ ํ‰๋ฉด(Planar) ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋Š” ๋ง ๊ทธ๋Œ€๋กœ ํ‰ํ‰ํ•ด. ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์ฑ„๋„ ์œ„์— ๋”ฑ ๋ถ™์–ด์žˆ๋Š” 2D ๊ตฌ์กฐ์ง€. ์ด๊ฒŒ 1960๋…„๋Œ€๋ถ€ํ„ฐ 2000๋…„๋Œ€ ์ดˆ๋ฐ˜๊นŒ์ง€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฐ์—…์„ ์ด๋Œ์—ˆ์–ด. ํ•˜์ง€๋งŒ ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ์žˆ์—ˆ์–ด. ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ์ž‘๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค์ˆ˜๋ก ๋‹จ์ฑ„๋„ ํšจ๊ณผ(Short Channel Effect)๋ผ๋Š” ๊ฒŒ ์‹ฌํ•ด์ง€๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๐Ÿ˜ฐ

๋‹จ์ฑ„๋„ ํšจ๊ณผ๊ฐ€ ๋ญ๋ƒ๊ณ ? ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์ฑ„๋„์„ ์ œ๋Œ€๋กœ ์ œ์–ดํ•˜์ง€ ๋ชปํ•˜๋Š” ํ˜„์ƒ์ด์•ผ. ๋งˆ์น˜ ์ˆ˜๋„๊ผญ์ง€๋ฅผ ์ž ๊ฐ”๋Š”๋ฐ๋„ ๋ฌผ์ด ์ƒˆ๋Š” ๊ฒƒ์ฒ˜๋Ÿผ, ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ „์••์„ ๊บผ๋„ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๊ณ„์† ํ๋ฅด๋Š” ๊ฑฐ์ง€. ์ด๊ฑธ ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜(Leakage Current)๋ผ๊ณ  ํ•ด. ์ด๊ฒŒ ์‹ฌํ•ด์ง€๋ฉด ์ „๋ ฅ ์†Œ๋น„๊ฐ€ ๋Š˜์–ด๋‚˜๊ณ  ์นฉ์ด ๋œจ๊ฑฐ์›Œ์ ธ. ๐Ÿ”ฅ

๐Ÿ—๏ธ FinFET์˜ ๋“ฑ์žฅ: 3D ํ˜๋ช…์˜ ์‹œ์ž‘

2011๋…„, ์ธํ…”์ด 22nm ๊ณต์ •์—์„œ FinFET(Fin Field-Effect Transistor)์„ ์ฒ˜์Œ ๋„์ž…ํ–ˆ์–ด. ์ด๊ฑด ์ •๋ง ํ˜๋ช…์ ์ด์—ˆ์ง€! ๐ŸŽ‰ ํ‰๋ฉด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ฒ„๋ฆฌ๊ณ  ์ฑ„๋„์„ ์„ธ์›Œ์„œ ์ง€๋А๋Ÿฌ๋ฏธ(Fin) ๋ชจ์–‘์œผ๋กœ ๋งŒ๋“  ๊ฑฐ์•ผ. ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์ด ํ•€์˜ 3๋ฉด์„ ๊ฐ์‹ธ๋‹ˆ๊นŒ ์ฑ„๋„ ์ œ์–ด๋ ฅ์ด ์—„์ฒญ๋‚˜๊ฒŒ ์ข‹์•„์ง„ ๊ฑฐ์ง€.

Planar ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ
๊ฒŒ์ดํŠธ ์ œ์–ด: 1๋ฉด
๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜: ๋†’์Œ
์ง‘์ ๋„: ์ œํ•œ์ 
FinFET ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ
๊ฒŒ์ดํŠธ ์ œ์–ด: 3๋ฉด
๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜: ๋‚ฎ์Œ
์ง‘์ ๋„: ํ–ฅ์ƒ

FinFET ๋•๋ถ„์— ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—…๊ณ„๋Š” 14nm, 10nm, 7nm, 5nm๊นŒ์ง€ ๋ฏธ์„ธ๊ณต์ •์„ ๊ณ„์† ๋ฐœ์ „์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ์—ˆ์–ด. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์™€ TSMC ๊ฐ™์€ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ์—…์ฒด๋“ค์ด ์น˜์—ดํ•˜๊ฒŒ ๊ฒฝ์Ÿํ•˜๋ฉด์„œ ๊ธฐ์ˆ ์„ ๋ฐœ์ „์‹œ์ผฐ์ง€. ํ•˜์ง€๋งŒ 5nm ์ดํ•˜๋กœ ๊ฐ€๋ฉด์„œ ๋˜ ํ•œ๊ณ„๊ฐ€ ๋ณด์ด๊ธฐ ์‹œ์ž‘ํ–ˆ์–ด. ๐Ÿ˜“

ํ•€์˜ ํญ์„ ๋” ์ค„์ด๋ฉด ๊ตฌ์กฐ์ ์œผ๋กœ ๋ถˆ์•ˆ์ •ํ•ด์ง€๊ณ , ๋†’์ด๋ฅผ ๋†’์ด๋ฉด ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„๊ฐ€ ๊ธ‰๊ฒฉํžˆ ์˜ฌ๋ผ๊ฐ€๊ฑฐ๋“ . ๊ฒŒ๋‹ค๊ฐ€ 3๋ฉด๋งŒ ์ œ์–ดํ•˜๋‹ˆ๊นŒ ์—ฌ์ „ํžˆ ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜ ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ์™„์ „ํžˆ ํ•ด๊ฒฐ๋˜์ง€ ์•Š์•˜์–ด. ๊ทธ๋ž˜์„œ ๋“ฑ์žฅํ•œ ๊ฒŒ ๋ฐ”๋กœ GAA์•ผ! ๐ŸŒŸ

GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ํ•ต์‹ฌ ๊ตฌ์กฐ ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ ๊ตฌ์กฐ ์ฑ„๋„ 1 ์ฑ„๋„ 2 ์ฑ„๋„ 3 ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ๊ฐ ์ฑ„๋„์„ ์™„์ „ํžˆ ๋‘˜๋Ÿฌ์Œˆ ์ „๋ฅ˜ ์ œ์–ด๋ ฅ ์ตœ๋Œ€ํ™”! ๐Ÿ’ช ๋‚˜๋…ธ์™€์ด์–ด ๊ตฌ์กฐ ์›ํ†ตํ˜• ์ฑ„๋„์„ ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ 360๋„ ํฌ์œ„ ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜ ์ตœ์†Œํ™”! ๐ŸŽฏ

๐ŸŽจ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ๊ตฌ์กฐ์™€ ์›๋ฆฌ

GAA(Gate-All-Around)๋Š” ์ด๋ฆ„์—์„œ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋“ฏ์ด ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์ฑ„๋„์„ ์™„์ „ํžˆ ๋‘˜๋Ÿฌ์‹ธ๋Š” ๊ตฌ์กฐ์•ผ. 360๋„ ์ „๋ฐฉ์œ„๋กœ ์ œ์–ดํ•˜๋Š” ๊ฑฐ์ง€! ๐Ÿ”„ ์ด๊ฒŒ ์™œ ์ค‘์š”ํ•˜๋ƒ๋ฉด, ์ฑ„๋„์˜ ๋ชจ๋“  ๋ฉด์„ ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์ œ์–ดํ•˜๋‹ˆ๊นŒ ์ „๋ฅ˜ ๋ˆ„์„ค์ด ๊ฑฐ์˜ ์—†์–ด. ๋งˆ์น˜ ์ˆ˜๋„๊ด€์„ ์™„์ „ํžˆ ์กฐ์ด๋Š” ๊ฒƒ์ฒ˜๋Ÿผ ๋ง์ด์•ผ.

GAA์—๋Š” ํฌ๊ฒŒ ๋‘ ๊ฐ€์ง€ ํ˜•ํƒœ๊ฐ€ ์žˆ์–ด:

1๏ธโƒฃ ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ(Nanosheet) ๊ตฌ์กฐ ์–‡์€ ํŒ(์‹œํŠธ) ๋ชจ์–‘์˜ ์ฑ„๋„์„ ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์œผ๋กœ ์Œ“์€ ๊ฑฐ์•ผ. ๊ฐ ์‹œํŠธ๋ฅผ ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์œ„์•„๋ž˜๋กœ ์™„์ „ํžˆ ๊ฐ์‹ธ์ง€. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž๊ฐ€ 3nm GAA ๊ณต์ •์—์„œ ์ฑ„ํƒํ•œ ๋ฐฉ์‹์ด์•ผ. ์‹œํŠธ์˜ ํญ์„ ์กฐ์ ˆํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์„œ ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์ „๋ ฅ ํšจ์œจ์„ ์ตœ์ ํ™”ํ•˜๊ธฐ ์ข‹์•„. ๐Ÿ“Š

์žฅ์ : ์ฑ„๋„ ํญ ์กฐ์ ˆ ๊ฐ€๋Šฅ, ์ „๋ฅ˜ ๊ตฌ๋™๋ ฅ ์šฐ์ˆ˜
๋‹จ์ : ์ œ์กฐ ๊ณต์ • ๋ณต์žก๋„ ๋†’์Œ
2๏ธโƒฃ ๋‚˜๋…ธ์™€์ด์–ด(Nanowire) ๊ตฌ์กฐ ๊ฐ€๋А๋‹ค๋ž€ ์›ํ†ตํ˜• ์™€์ด์–ด๋ฅผ ์ฑ„๋„๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•ด. ๊ฒŒ์ดํŠธ๊ฐ€ ์ด ์™€์ด์–ด๋ฅผ ์™„์ „ํžˆ ๋‘˜๋Ÿฌ์‹ธ๋Š” ๊ฑฐ์ง€. ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ๋ณด๋‹ค ๋” ์ž‘๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์„œ 2nm ์ดํ•˜ ๊ณต์ •์— ์œ ๋ฆฌํ•ด. ๐Ÿ”ฌ

์žฅ์ : ์ตœ๊ณ  ์ˆ˜์ค€์˜ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ œ์–ด๋ ฅ, ๊ทน๋ฏธ์„ธ ๊ณต์ • ๊ฐ€๋Šฅ
๋‹จ์ : ์ „๋ฅ˜ ๊ตฌ๋™๋ ฅ์ด ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๋‚ฎ์Œ, ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„ ๋งค์šฐ ๋†’์Œ

์‚ผ์„ฑ์ „์ž๋Š” ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ ๋ฐฉ์‹์„ MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET)๋ผ๊ณ  ๋ถ€๋ฅด๊ณ , TSMC๋Š” ๋น„์Šทํ•œ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœ ์ค‘์ด์•ผ. ์ธํ…”์€ RibbonFET์ด๋ผ๋Š” ์ด๋ฆ„์œผ๋กœ ์ž์ฒด GAA ๊ธฐ์ˆ ์„ ๊ฐœ๋ฐœํ•˜๊ณ  ์žˆ์ง€. ๊ฐ ํšŒ์‚ฌ๋งˆ๋‹ค ์ด๋ฆ„์€ ๋‹ค๋ฅด์ง€๋งŒ ํ•ต์‹ฌ ์›๋ฆฌ๋Š” ๊ฐ™์•„! ๐Ÿข

๐Ÿ’ก ์žฌ๋ฏธ์žˆ๋Š” ์‚ฌ์‹ค GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ๊ฐœ๋… ์ž์ฒด๋Š” 1990๋…„๋Œ€๋ถ€ํ„ฐ ์žˆ์—ˆ์–ด! ํ•˜์ง€๋งŒ ๋‹น์‹œ ๊ธฐ์ˆ ๋กœ๋Š” ๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ ์ˆ˜์ค€์˜ ์ •๋ฐ€ํ•œ ์ œ์กฐ๊ฐ€ ๋ถˆ๊ฐ€๋Šฅํ–ˆ์ง€. 30๋…„์ด ์ง€๋‚˜์„œ์•ผ EUV(๊ทน์ž์™ธ์„ ) ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ ๊ฐ™์€ ์ฒจ๋‹จ ์žฅ๋น„ ๋•๋ถ„์— ์–‘์‚ฐ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•ด์ง„ ๊ฑฐ์•ผ. ๊ธฐ์ˆ ์˜ ๋ฐœ์ „ ์†๋„๊ฐ€ ์ •๋ง ๋†€๋ž์ง€? ๐Ÿš€

โš™๏ธ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์„ค๊ณ„์˜ ํ•ต์‹ฌ ์š”์†Œ๋“ค

GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ์„ค๊ณ„ํ•  ๋•Œ๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐ€์ง€๋ฅผ ๊ณ ๋ คํ•ด์•ผ ํ•ด. ๋‹จ์ˆœํžˆ ๊ฒŒ์ดํŠธ๋กœ ์ฑ„๋„์„ ๋‘˜๋Ÿฌ์‹ธ๋ฉด ๋์ด ์•„๋‹ˆ๊ฑฐ๋“ ! ๊ฐ ์š”์†Œ๋ฅผ ์ตœ์ ํ™”ํ•ด์•ผ ์ตœ๊ณ ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์„ ๋‚ผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๐ŸŽฏ

๐Ÿ”น ์ฑ„๋„ ์„ค๊ณ„

์ฑ„๋„์€ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ํ๋ฅด๋Š” ํ†ต๋กœ์•ผ. GAA์—์„œ๋Š” ์ด ์ฑ„๋„์˜ ๋‘๊ป˜, ํญ, ๊ฐœ์ˆ˜๊ฐ€ ์—„์ฒญ ์ค‘์š”ํ•ด. ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ณดํ†ต 5~7nm ๋‘๊ป˜๋กœ ๋งŒ๋“ค์–ด. ๋„ˆ๋ฌด ์–‡์œผ๋ฉด ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ์ž˜ ์•ˆ ํ๋ฅด๊ณ , ๋„ˆ๋ฌด ๋‘๊บผ์šฐ๋ฉด ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ œ์–ด๋ ฅ์ด ๋–จ์–ด์ง€๊ฑฐ๋“ .

์ฑ„๋„ ํญ์€ ์šฉ๋„์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ฌ๋ผ์ ธ. ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ์ด ํ•„์š”ํ•œ ๋กœ์ง ํšŒ๋กœ์—๋Š” ๋„“์€ ์ฑ„๋„์„, ์ €์ „๋ ฅ์ด ์ค‘์š”ํ•œ ํšŒ๋กœ์—๋Š” ์ข์€ ์ฑ„๋„์„ ์“ฐ์ง€. ์ด๊ฑธ ์ฑ„๋„ ํญ ์กฐ์ ˆ(Width Scaling)์ด๋ผ๊ณ  ํ•ด. ๊ฐ™์€ ์นฉ ์•ˆ์—์„œ๋„ ๋ถ€๋ถ„๋งˆ๋‹ค ๋‹ค๋ฅธ ํญ์„ ์ ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์„œ ์œ ์—ฐ์„ฑ์ด ๋†’์•„! ๐Ÿ“

์ฑ„๋„ ์ ์ธต ๊ฐœ์ˆ˜์˜ ์˜ํ–ฅ โ€ข 2์ธต ์ ์ธต: ๋ฉด์  ํšจ์œจ ์ตœ๊ณ , ์ „๋ฅ˜ ๊ตฌ๋™๋ ฅ ๋‚ฎ์Œ
โ€ข 3์ธต ์ ์ธต: ๊ท ํ˜•์žกํžŒ ์„ฑ๋Šฅ, ๊ฐ€์žฅ ์ผ๋ฐ˜์ 
โ€ข 4์ธต ์ด์ƒ: ์ „๋ฅ˜ ๊ตฌ๋™๋ ฅ ์ตœ๊ณ , ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„ ๊ธ‰์ƒ์Šน

์‚ผ์„ฑ 3nm ๊ณต์ •์€ 3์ธต ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ๋ฅผ ๊ธฐ๋ณธ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•ด. ์ธต์ˆ˜๊ฐ€ ๋งŽ์„์ˆ˜๋ก ์„ฑ๋Šฅ์€ ์ข‹์ง€๋งŒ ์ˆ˜์œจ์ด ๋–จ์–ด์ง€๊ณ  ๋น„์šฉ์ด ์˜ฌ๋ผ๊ฐ€๊ฑฐ๋“ . ๐Ÿ˜…

๐Ÿ”น ๊ฒŒ์ดํŠธ ์Šคํƒ ์„ค๊ณ„

๊ฒŒ์ดํŠธ๋Š” ๋‹จ์ˆœํžˆ ๊ธˆ์† ๋ฉ์–ด๋ฆฌ๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ์•ผ. ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง„ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์Šคํƒ(Gate Stack) ๊ตฌ์กฐ์•ผ. ๊ฐ€์žฅ ์•ˆ์ชฝ์—๋Š” ๊ฒŒ์ดํŠธ ์œ ์ „์ฒด(Gate Dielectric)๊ฐ€ ์žˆ์–ด. ์ด๊ฑด ์ ˆ์—ฐ์ฒด์ธ๋ฐ, ๊ฒŒ์ดํŠธ์™€ ์ฑ„๋„ ์‚ฌ์ด์˜ ์ „๊ธฐ์žฅ์„ ์กฐ์ ˆํ•˜๋Š” ์—ญํ• ์„ ํ•ด. ๐Ÿงฒ

GAA์—์„œ๋Š” ์ฃผ๋กœ High-k ์œ ์ „์ฒด๋ฅผ ์จ. 'k'๋Š” ์œ ์ „์ƒ์ˆ˜๋ฅผ ๋œปํ•˜๋Š”๋ฐ, ๋†’์„์ˆ˜๋ก ๊ฐ™์€ ๋‘๊ป˜์—์„œ ๋” ๊ฐ•ํ•œ ์ „๊ธฐ์žฅ์„ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๋Œ€ํ‘œ์ ์œผ๋กœ HfOโ‚‚(ํ•˜ํ”„๋Š„ ์‚ฐํ™”๋ฌผ)๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์ง€. ๋‘๊ป˜๋Š” ๋ณดํ†ต 1~2nm ์ •๋„๋กœ ์—„์ฒญ ์–‡์•„!

์œ ์ „์ฒด ๋ฐ”๊นฅ์ชฝ์—๋Š” ์ผํ•จ์ˆ˜ ์กฐ์ ˆ ๊ธˆ์†(Work Function Metal)์ด ์žˆ์–ด. ์ด๊ฒŒ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ๋ฌธํ„ฑ ์ „์••(Threshold Voltage)์„ ๊ฒฐ์ •ํ•ด. NMOS์™€ PMOS์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ค๋ฅธ ๊ธˆ์†์„ ์จ์•ผ ํ•˜๊ฑฐ๋“ . ๊ทธ ์œ„์— ์ตœ์ข…์ ์œผ๋กœ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ „๊ทน(Gate Electrode)์ด ์žˆ์–ด. ๋ณดํ†ต ํ……์Šคํ…(W)์ด๋‚˜ ์ฝ”๋ฐœํŠธ(Co)๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•ด. โšก

๐Ÿ”น ์†Œ์Šค/๋“œ๋ ˆ์ธ ์„ค๊ณ„

์†Œ์Šค์™€ ๋“œ๋ ˆ์ธ์€ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๋“ค์–ด๊ฐ€๊ณ  ๋‚˜์˜ค๋Š” ์ž…์ถœ๊ตฌ์•ผ. GAA์—์„œ๋Š” ์ด ๋ถ€๋ถ„ ์„ค๊ณ„๊ฐ€ ํŠนํžˆ ๊นŒ๋‹ค๋กœ์›Œ. ์™œ๋ƒํ•˜๋ฉด ์ ์ธต๋œ ์ฑ„๋„ ๊ฐ๊ฐ์— ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ๊ท ๋“ฑํ•˜๊ฒŒ ๊ณต๊ธ‰ํ•ด์•ผ ํ•˜๊ฑฐ๋“ ! ๐ŸŽช

์ด๋ฅผ ์œ„ํ•ด ์—ํ”ผํƒ์…œ ์„ฑ์žฅ(Epitaxial Growth) ๊ธฐ์ˆ ์„ ์‚ฌ์šฉํ•ด. ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ ์œ„์— ๊ฒฐ์ • ๊ตฌ์กฐ๊ฐ€ ๋˜‘๊ฐ™์€ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์„ ํ‚ค์šฐ๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. NMOS์—๋Š” ์ธ(P)์„ ๋„ํ•‘ํ•œ nํ˜• ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์„, PMOS์—๋Š” ๋ถ•์†Œ(B)๋ฅผ ๋„ํ•‘ํ•œ pํ˜• ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์„ ํ‚ค์›Œ. ์ด๋•Œ ๊ฒŒ๋ฅด๋งˆ๋Š„(Ge)์„ ์„ž์–ด์„œ SiGe(์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜-๊ฒŒ๋ฅด๋งˆ๋Š„)๋ฅผ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ๋„ ํ•ด. ์ด๋Ÿฌ๋ฉด ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๋” ์ž˜ ํ๋ฅด๊ฑฐ๋“ ! ๐Ÿ’Ž

๐Ÿ”ฌ ๋„ํ•‘(Doping)์ด๋ž€? ๋ฐ˜๋„์ฒด์— ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์„ ์ฒจ๊ฐ€ํ•ด์„œ ์ „๊ธฐ์  ํŠน์„ฑ์„ ๋ฐ”๊พธ๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ์ˆœ์ˆ˜ํ•œ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์€ ์ „๊ธฐ๊ฐ€ ์ž˜ ์•ˆ ํ†ตํ•˜๋Š”๋ฐ, ์ธ์ด๋‚˜ ๋ถ•์†Œ๋ฅผ ์•„์ฃผ ์กฐ๊ธˆ ๋„ฃ์œผ๋ฉด ์ „๊ธฐ๊ฐ€ ์ž˜ ํ†ตํ•˜๊ฒŒ ๋ผ. ์ด๊ฒŒ ๋ฐ˜๋„์ฒด์˜ ํ•ต์‹ฌ ์›๋ฆฌ์ง€! ๋†๋„๋Š” ๋ณดํ†ต 10ยฒโฐ atoms/cmยณ ์ˆ˜์ค€์œผ๋กœ ์—„์ฒญ ์ •๋ฐ€ํ•˜๊ฒŒ ์กฐ์ ˆํ•ด์•ผ ํ•ด.

๐Ÿ”น ์ŠคํŽ˜์ด์„œ ์„ค๊ณ„

์ŠคํŽ˜์ด์„œ(Spacer)๋Š” ๊ฒŒ์ดํŠธ์™€ ์†Œ์Šค/๋“œ๋ ˆ์ธ ์‚ฌ์ด์˜ ๊ฐ„๊ฒฉ์„ ์œ ์ง€ํ•˜๋Š” ์ ˆ์—ฐ์ฒด์•ผ. ์ด๊ฒŒ ์—†์œผ๋ฉด ๊ฒŒ์ดํŠธ์™€ ์†Œ์Šค/๋“œ๋ ˆ์ธ์ด ์ „๊ธฐ์ ์œผ๋กœ ์—ฐ๊ฒฐ๋ผ์„œ ๋‹จ๋ฝ์ด ์ผ์–ด๋‚˜๊ฑฐ๋“ . GAA์—์„œ๋Š” ์ฑ„๋„ ์‚ฌ์ด์‚ฌ์ด์—๋„ ์ŠคํŽ˜์ด์„œ๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•ด์„œ ์„ค๊ณ„๊ฐ€ ๋ณต์žกํ•ด. ๐Ÿ˜ต

๋ณดํ†ต SiN(์งˆํ™”์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜)์ด๋‚˜ SiOโ‚‚(์‚ฐํ™”์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜)๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š”๋ฐ, ๋‘๊ป˜๊ฐ€ 5nm ์ดํ•˜๋กœ ์—„์ฒญ ์–‡์•„. ๋„ˆ๋ฌด ๋‘๊บผ์šฐ๋ฉด ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ํฌ๊ธฐ๊ฐ€ ์ปค์ง€๊ณ , ๋„ˆ๋ฌด ์–‡์œผ๋ฉด ์ ˆ์—ฐ์ด ์ œ๋Œ€๋กœ ์•ˆ ๋˜๊ฑฐ๋“ . ๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ ๋‹จ์œ„์˜ ์ •๋ฐ€ํ•จ์ด ํ•„์š”ํ•œ ๋ถ€๋ถ„์ด์•ผ! ๐ŸŽฏ

GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์ œ์กฐ ๊ณต์ • ํ๋ฆ„ 1๋‹จ๊ณ„ Si/SiGe ๊ต๋Œ€ ์ ์ธต ์—ํ”ผํƒ์…œ ์„ฑ์žฅ 2๋‹จ๊ณ„ ํ•€ ํŒจํ„ฐ๋‹ EUV ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ 3๋‹จ๊ณ„ ๋”๋ฏธ ๊ฒŒ์ดํŠธ ํ˜•์„ฑ ํด๋ฆฌ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์ฆ์ฐฉ 4๋‹จ๊ณ„ ์ŠคํŽ˜์ด์„œ ํ˜•์„ฑ SiN ์ฆ์ฐฉ ๋ฐ ์‹๊ฐ 5๋‹จ๊ณ„ ์†Œ์Šค/๋“œ๋ ˆ์ธ ํ˜•์„ฑ ์—ํ”ผํƒ์…œ ์„ฑ์žฅ 6๋‹จ๊ณ„ SiGe ์„ ํƒ์  ์ œ๊ฑฐ ์Šต์‹ ์‹๊ฐ 7๋‹จ๊ณ„ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์Šคํƒ ํ˜•์„ฑ High-k/Metal ์ฆ์ฐฉ 8๋‹จ๊ณ„ ๋ฐฐ์„  ์—ฐ๊ฒฐ ๊ตฌ๋ฆฌ ๋ฐฐ์„  ํ˜•์„ฑ ํ•ต์‹ฌ ๊ธฐ์ˆ  ํฌ์ธํŠธ EUV ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ: 13.5nm ํŒŒ์žฅ์œผ๋กœ ๊ทน๋ฏธ์„ธ ํŒจํ„ด ํ˜•์„ฑ ์›์ž์ธต ์ฆ์ฐฉ(ALD): 1nm ์ดํ•˜ ๋‘๊ป˜ ์ •๋ฐ€ ์ œ์–ด ์„ ํƒ์  ์‹๊ฐ: ํŠน์ • ๋ฌผ์งˆ๋งŒ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ์ดˆ์ •๋ฐ€ ๊ณต์ •

๐Ÿญ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์˜ ์‹ค์ œ

์ด๋ก ์€ ์•Œ๊ฒ ๋Š”๋ฐ, ์‹ค์ œ๋กœ ์–ด๋–ป๊ฒŒ ๋งŒ๋“œ๋Š”์ง€ ๊ถ๊ธˆํ•˜์ง€? GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์ œ์กฐ๋Š” ์ •๋ง ๋ณต์žกํ•ด. ์ˆ˜๋ฐฑ ๋‹จ๊ณ„์˜ ๊ณต์ •์„ ๊ฑฐ์ณ์•ผ ํ•˜๊ฑฐ๋“ ! ์—ฌ๊ธฐ์„œ๋Š” ํ•ต์‹ฌ ๊ณต์ •๋งŒ ์‚ดํŽด๋ณผ๊ฒŒ. ๐Ÿ—๏ธ

๐Ÿ”ธ 1๋‹จ๊ณ„: ๊ต๋Œ€ ์ ์ธต (Superlattice Formation)

๋จผ์ € ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์›จ์ดํผ ์œ„์— Si(์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜)์™€ SiGe(์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜-๊ฒŒ๋ฅด๋งˆ๋Š„)๋ฅผ ๊ต๋Œ€๋กœ ์Œ“์•„. ์ด๊ฑธ ์—ํ”ผํƒ์…œ ์„ฑ์žฅ์œผ๋กœ ํ•˜๋Š”๋ฐ, ์›์ž ๋‹จ์œ„๋กœ ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ์Œ“์•„์•ผ ํ•ด. Si ์ธต์€ ๋‚˜์ค‘์— ์ฑ„๋„์ด ๋˜๊ณ , SiGe ์ธต์€ ๋‚˜์ค‘์— ์ œ๊ฑฐ๋  ํฌ์ƒ์ธต(Sacrificial Layer)์ด์•ผ. ๋ณดํ†ต 3~5์Œ์„ ์Œ“์ง€. ๊ฐ ์ธต์˜ ๋‘๊ป˜๋Š” 5~10nm ์ •๋„์•ผ! ๐Ÿ“

๐Ÿ”ธ 2๋‹จ๊ณ„: ํ•€ ํŒจํ„ฐ๋‹ (Fin Patterning)

์ ์ธต๋œ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ•€ ๋ชจ์–‘์œผ๋กœ ๊นŽ์•„๋‚ด์•ผ ํ•ด. ์ด๋•Œ EUV(๊ทน์ž์™ธ์„ ) ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•ด. EUV๋Š” ํŒŒ์žฅ์ด 13.5nm๋กœ ์—„์ฒญ ์งง์•„์„œ ๋ฏธ์„ธํ•œ ํŒจํ„ด์„ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ๊ฑฐ๋“ . ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ(๊ฐ๊ด‘์ œ)๋ฅผ ๋ฐ”๋ฅด๊ณ  EUV๋กœ ๋…ธ๊ด‘ํ•œ ๋‹ค์Œ, ์‹๊ฐํ•ด์„œ ํ•€์„ ๋งŒ๋“ค์–ด. ๐Ÿ”ฆ

์ด ๊ณผ์ •์ด ์ •๋ง ์–ด๋ ค์›Œ. ํ•€์˜ ํญ์ด 10nm ์ดํ•˜์ธ๋ฐ, ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ 50nm ์ด์ƒ ๊นŠ์ด๋ฅผ ํŒŒ์•ผ ํ•˜๊ฑฐ๋“ . ์ข…ํšก๋น„(Aspect Ratio)๊ฐ€ 5:1 ์ด์ƒ์ด์•ผ. ๋งˆ์น˜ ์—ฐํ•„๋กœ ์šฐ๋ฌผ์„ ํŒŒ๋Š” ๊ฒƒ์ฒ˜๋Ÿผ ์–ด๋ ค์šด ์ž‘์—…์ด์ง€! ๐Ÿ˜ฐ

๐Ÿ”ธ 3~4๋‹จ๊ณ„: ๋”๋ฏธ ๊ฒŒ์ดํŠธ์™€ ์ŠคํŽ˜์ด์„œ

์ง„์งœ ๊ฒŒ์ดํŠธ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์ „์— ์ž„์‹œ๋กœ ๋”๋ฏธ ๊ฒŒ์ดํŠธ(Dummy Gate)๋ฅผ ๋งŒ๋“ค์–ด. ๋ณดํ†ต ํด๋ฆฌ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์„ ์‚ฌ์šฉํ•ด. ์™œ ์ž„์‹œ๋กœ ๋งŒ๋“œ๋ƒ๊ณ ? ๋‚˜์ค‘์— ๊ณ ์˜จ ๊ณต์ •์„ ๊ฑฐ์ณ์•ผ ํ•˜๋Š”๋ฐ, ์ง„์งœ ๊ธˆ์† ๊ฒŒ์ดํŠธ๋Š” ๊ณ ์˜จ์—์„œ ์†์ƒ๋˜๊ฑฐ๋“ . ๊ทธ๋ž˜์„œ ์ผ๋‹จ ๋”๋ฏธ๋กœ ์ž๋ฆฌ๋ฅผ ์žก์•„๋‘๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๐ŸŽญ

๋”๋ฏธ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์–‘์˜†์— ์ŠคํŽ˜์ด์„œ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค์–ด. SiN(์งˆํ™”์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜)์„ ์ฆ์ฐฉํ•œ ๋‹ค์Œ ์ด๋ฐฉ์„ฑ ์‹๊ฐ์œผ๋กœ ์˜†๋ฉด๋งŒ ๋‚จ๊ธฐ๋Š” ๊ฑฐ์ง€. ์ด ์ŠคํŽ˜์ด์„œ๊ฐ€ ๋‚˜์ค‘์— ์†Œ์Šค/๋“œ๋ ˆ์ธ๊ณผ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์‚ฌ์ด์˜ ๊ฐ„๊ฒฉ์„ ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ์œ ์ง€ํ•ด์ค˜. ์ •๋ฐ€๋„๊ฐ€ 1nm ์ดํ•˜์—ฌ์•ผ ํ•ด! ๐ŸŽฏ

๐Ÿ”ธ 5๋‹จ๊ณ„: ์†Œ์Šค/๋“œ๋ ˆ์ธ ํ˜•์„ฑ

ํ•€์˜ ์–‘์ชฝ ๋๋ถ€๋ถ„์„ ์‹๊ฐํ•ด์„œ ์ œ๊ฑฐํ•˜๊ณ , ๊ทธ ์ž๋ฆฌ์— ๋„ํ•‘๋œ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์„ ์—ํ”ผํƒ์…œ ์„ฑ์žฅ์œผ๋กœ ํ‚ค์›Œ. NMOS์—๋Š” ์ธ(P)์„ ๋„ํ•‘ํ•œ nโบ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์„, PMOS์—๋Š” ๋ถ•์†Œ(B)๋ฅผ ๋„ํ•‘ํ•œ pโบ SiGe๋ฅผ ํ‚ค์šฐ์ง€. ๋„ํ•‘ ๋†๋„๋Š” 10ยฒโฐ~10ยฒยน atoms/cmยณ ์ˆ˜์ค€์œผ๋กœ ์—„์ฒญ ๋†’์•„์•ผ ํ•ด. โš—๏ธ

์ด๋•Œ ์ค‘์š”ํ•œ ๊ฒŒ ์ ‘์ด‰ ์ €ํ•ญ(Contact Resistance)์„ ๋‚ฎ์ถ”๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๊ธˆ์† ๋ฐฐ์„ ๊ณผ ๋ฐ˜๋„์ฒด๊ฐ€ ๋งŒ๋‚˜๋Š” ๋ถ€๋ถ„์˜ ์ €ํ•ญ์ธ๋ฐ, ์ด๊ฒŒ ๋†’์œผ๋ฉด ์„ฑ๋Šฅ์ด ๋–จ์–ด์ง€๊ฑฐ๋“ . ๊ทธ๋ž˜์„œ ๋‹ˆ์ผˆ(Ni)์ด๋‚˜ ํ‹ฐํƒ€๋Š„(Ti)์œผ๋กœ ์‹ค๋ฆฌ์‚ฌ์ด๋“œ(Silicide)๋ฅผ ๋งŒ๋“ค์–ด์„œ ์ €ํ•ญ์„ ๋‚ฎ์ถฐ. ๐Ÿ”Œ

๐Ÿ”ธ 6๋‹จ๊ณ„: ์ฑ„๋„ ๋ฆด๋ฆฌ์Šค (Channel Release)

์ด์ œ ํ•ต์‹ฌ ๊ณต์ •์ด์•ผ! ๋”๋ฏธ ๊ฒŒ์ดํŠธ๋ฅผ ์ œ๊ฑฐํ•˜๊ณ , SiGe ํฌ์ƒ์ธต์„ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์‹๊ฐํ•ด์„œ ์ œ๊ฑฐํ•ด. ์ด๋Ÿฌ๋ฉด Si ์ฑ„๋„๋“ค์ด ๊ณต์ค‘์— ๋–  ์žˆ๋Š” ์ƒํƒœ๊ฐ€ ๋˜์ง€. ์ด๊ฑธ ์ฑ„๋„ ๋ฆด๋ฆฌ์Šค(Channel Release) ๋˜๋Š” ์ฑ„๋„ ์„œ์ŠคํŽœ์…˜(Channel Suspension)์ด๋ผ๊ณ  ํ•ด. ๐ŸŽˆ

SiGe๋งŒ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๊ฒŒ ๊ด€๊ฑด์ด์•ผ. ๋ณดํ†ต ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ(Hโ‚‚Oโ‚‚)์™€ ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„(NHโ‚ƒ)๋ฅผ ์„ž์€ ์šฉ์•ก์„ ์‚ฌ์šฉํ•ด. ์ด ์šฉ์•ก์€ SiGe๋Š” ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์‹๊ฐํ•˜์ง€๋งŒ Si๋Š” ๊ฑฐ์˜ ์‹๊ฐํ•˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋“ . ์„ ํƒ๋น„(Selectivity)๊ฐ€ 100:1 ์ด์ƒ์ด์•ผ! ํ™”ํ•™์˜ ๋งˆ๋ฒ•์ด์ง€? โœจ

๐Ÿ”ธ 7๋‹จ๊ณ„: ๊ฒŒ์ดํŠธ ์Šคํƒ ํ˜•์„ฑ

์ด์ œ ์ง„์งœ ๊ฒŒ์ดํŠธ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค ์ฐจ๋ก€์•ผ. ๋จผ์ € ์›์ž์ธต ์ฆ์ฐฉ(ALD, Atomic Layer Deposition)์œผ๋กœ High-k ์œ ์ „์ฒด๋ฅผ ์ฆ์ฐฉํ•ด. ALD๋Š” ์›์ž ํ•œ ์ธต์”ฉ ์Œ“๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์ด๋ผ ๋‘๊ป˜๋ฅผ 1ร…(์˜น์ŠคํŠธ๋กฌ, 0.1nm) ๋‹จ์œ„๋กœ ์กฐ์ ˆํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. HfOโ‚‚๋ฅผ 1~2nm ๋‘๊ป˜๋กœ ๊ท ์ผํ•˜๊ฒŒ ์ฝ”ํŒ…ํ•˜๋Š” ๊ฑฐ์ง€. ๐ŸŽจ

๊ทธ ์œ„์— ์ผํ•จ์ˆ˜ ์กฐ์ ˆ ๊ธˆ์†์„ ์ฆ์ฐฉํ•ด. NMOS์—๋Š” TiN(์งˆํ™”ํ‹ฐํƒ€๋Š„), PMOS์—๋Š” TiAlC(ํ‹ฐํƒ€๋Š„-์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„-ํƒ„์†Œ) ๊ฐ™์€ ๊ฑธ ์จ. ๋‘๊ป˜๋Š” 2~3nm ์ •๋„์•ผ. ๋งˆ์ง€๋ง‰์œผ๋กœ ํ……์Šคํ…(W)์ด๋‚˜ ์ฝ”๋ฐœํŠธ(Co)๋กœ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ „๊ทน์„ ์ฑ„์›Œ. ์ด๋•Œ CVD(Chemical Vapor Deposition)๋‚˜ PVD(Physical Vapor Deposition)๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•ด. โš™๏ธ

๐ŸŽ“ ALD vs CVD vs PVD ALD: ํ™”ํ•™ ๋ฐ˜์‘์„ ์ด์šฉํ•ด ์›์ž ํ•œ ์ธต์”ฉ ์ฆ์ฐฉ. ๊ฐ€์žฅ ์ •๋ฐ€ํ•˜์ง€๋งŒ ๋А๋ฆผ.
CVD: ํ™”ํ•™ ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ. ๊ธฐ์ฒด ์ƒํƒœ์˜ ์ „๊ตฌ์ฒด๋ฅผ ๋ฐ˜์‘์‹œ์ผœ ๋ฐ•๋ง‰ ํ˜•์„ฑ. ๋น ๋ฅด๊ณ  ๊ท ์ผํ•จ.
PVD: ๋ฌผ๋ฆฌ ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ. ํƒ€๊ฒŸ ๋ฌผ์งˆ์„ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์œผ๋กœ ํŠ•๊ฒจ๋‚ด์„œ ์ฆ์ฐฉ. ๊ธˆ์† ์ฆ์ฐฉ์— ์œ ๋ฆฌ.

๊ฐ ๋ฐฉ๋ฒ•๋งˆ๋‹ค ์žฅ๋‹จ์ ์ด ์žˆ์–ด์„œ ์šฉ๋„์— ๋งž๊ฒŒ ์„ ํƒํ•ด์•ผ ํ•ด!

๐Ÿ”ธ 8๋‹จ๊ณ„: ๋ฐฐ์„  ์—ฐ๊ฒฐ (Interconnect)

ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค์—ˆ์œผ๋ฉด ์ด์ œ ์—ฐ๊ฒฐํ•ด์•ผ์ง€! BEOL(Back-End-Of-Line) ๊ณต์ •์ด๋ผ๊ณ  ํ•ด. ์ธต๊ฐ„ ์ ˆ์—ฐ๋ง‰(ILD, Inter-Layer Dielectric)์„ ์ฆ์ฐฉํ•˜๊ณ , ๋น„์•„(Via)์™€ ๋ฐฐ์„ ์„ ํ˜•์„ฑํ•ด. ๋ณดํ†ต ๊ตฌ๋ฆฌ(Cu)๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š”๋ฐ, ๋“€์–ผ ๋‹ค๋งˆ์‹ (Dual Damascene) ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๋งŒ๋“ค์–ด. ๐Ÿ”—

์ตœ๊ทผ์—๋Š” ๊ตฌ๋ฆฌ ๋Œ€์‹  ์ฝ”๋ฐœํŠธ(Co)๋‚˜ ๋ฃจํ…Œ๋Š„(Ru)์„ ์“ฐ๊ธฐ๋„ ํ•ด. ๋ฏธ์„ธ ๋ฐฐ์„ ์—์„œ๋Š” ๊ตฌ๋ฆฌ๋ณด๋‹ค ์ €ํ•ญ์ด ๋‚ฎ๊ฑฐ๋“ . 3nm ์ดํ•˜ ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ๋ฐฐ์„  ์ €ํ•ญ์ด ์„ฑ๋Šฅ์— ํฐ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์žฌ๋ฃŒ ์„ ํƒ์ด ์ค‘์š”ํ•ด! ๐Ÿ’ก

๐Ÿ“Š GAA vs FinFET: ์„ฑ๋Šฅ ๋น„๊ต

๊ทธ๋ž˜์„œ GAA๊ฐ€ FinFET๋ณด๋‹ค ์–ผ๋งˆ๋‚˜ ์ข‹์€๋ฐ? ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ์ˆ˜์น˜๋กœ ๋น„๊ตํ•ด๋ณผ๊ฒŒ! ๐Ÿ“ˆ

โšก ์„ฑ๋Šฅ ํ–ฅ์ƒ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž 3nm GAA ๊ณต์ • ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ, 5nm FinFET ๋Œ€๋น„:

โ€ข ์„ฑ๋Šฅ: ๊ฐ™์€ ์ „๋ ฅ์—์„œ ์•ฝ 30% ํ–ฅ์ƒ
โ€ข ์ „๋ ฅ ํšจ์œจ: ๊ฐ™์€ ์„ฑ๋Šฅ์—์„œ ์•ฝ 50% ๊ฐ์†Œ
โ€ข ๋ฉด์ : ์•ฝ 35% ์ถ•์†Œ

์ด๊ฒŒ ๋ฌด์Šจ ์˜๋ฏธ๋ƒ๋ฉด, ์Šค๋งˆํŠธํฐ ์นฉ์ด 30% ๋นจ๋ผ์ง€๊ฑฐ๋‚˜, ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๊ฐ€ 50% ๋” ์˜ค๋ž˜ ๊ฐ€๊ฑฐ๋‚˜, ์นฉ ํฌ๊ธฐ๊ฐ€ 35% ์ž‘์•„์ง„๋‹ค๋Š” ๊ฑฐ์•ผ! ๐ŸŽ‰

ํŠนํžˆ ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜ ๊ฐ์†Œ๊ฐ€ ์—„์ฒญ๋‚˜. FinFET์€ 3๋ฉด๋งŒ ์ œ์–ดํ•˜๋‹ˆ๊นŒ ์ฑ„๋„ ๋ฐ‘๋ฉด์œผ๋กœ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ์ƒˆ๋Š”๋ฐ, GAA๋Š” ์™„์ „ํžˆ ๋‘˜๋Ÿฌ์‹ธ๋‹ˆ๊นŒ ๋ˆ„์„ค์ด ๊ฑฐ์˜ ์—†์–ด. ์ด๊ฒŒ ์ €์ „๋ ฅ ๋™์ž‘์— ๊ฒฐ์ •์ ์ด์•ผ. ๋Œ€๊ธฐ ์ „๋ ฅ(Standby Power)์ด 70% ์ด์ƒ ์ค„์–ด๋“ ๋‹ค๊ณ  ํ•ด! ๐Ÿ”‹

๊ตฌ๋™ ์ „๋ฅ˜(Drive Current)๋„ ๊ฐœ์„ ๋ผ. ๊ฐ™์€ ๋ฉด์ ์—์„œ ๋” ๋งŽ์€ ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ํ˜๋ฆด ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ์˜ ํญ์„ ์กฐ์ ˆํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์„œ, ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ํšŒ๋กœ์—๋Š” ๋„“์€ ์ฑ„๋„์„ ์จ์„œ ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ๋งŽ์ด ํ˜๋ฆฌ๊ณ , ์ €์ „๋ ฅ ํšŒ๋กœ์—๋Š” ์ข์€ ์ฑ„๋„์„ ์จ์„œ ๋ˆ„์„ค์„ ์ตœ์†Œํ™”ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์ง€. ์ด๋Ÿฐ ์œ ์—ฐ์„ฑ์ด GAA์˜ ํฐ ์žฅ์ ์ด์•ผ! ๐ŸŽ›๏ธ

๐Ÿ”ฌ DIBL(Drain-Induced Barrier Lowering) ๊ฐœ์„  DIBL์€ ๋“œ๋ ˆ์ธ ์ „์••์ด ๋†’์•„์ง€๋ฉด ๋ฌธํ„ฑ ์ „์••์ด ๋‚ฎ์•„์ง€๋Š” ํ˜„์ƒ์ด์•ผ. ๋‹จ์ฑ„๋„ ํšจ๊ณผ์˜ ๋Œ€ํ‘œ์ ์ธ ์˜ˆ์ง€. FinFET์€ DIBL์ด 50~80 mV/V ์ •๋„์ธ๋ฐ, GAA๋Š” 20~30 mV/V๋กœ ํฌ๊ฒŒ ๊ฐœ์„ ๋ผ. ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ œ์–ด๋ ฅ์ด ๊ทธ๋งŒํผ ์ข‹๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ์•ผ! ๐Ÿ’ช

SCE(Short Channel Effect)๋„ ํ›จ์”ฌ ์ ์–ด. ์ฑ„๋„ ๊ธธ์ด๋ฅผ 10nm ์ดํ•˜๋กœ ์ค„์—ฌ๋„ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๊ฐ€ ์ œ๋Œ€๋กœ ๋™์ž‘ํ•ด. FinFET์€ 12nm ์ดํ•˜๋กœ ๊ฐ€๋ฉด SCE๊ฐ€ ์‹ฌํ•ด์ง€๋Š”๋ฐ, GAA๋Š” 7nm๊นŒ์ง€๋„ ๋ฌธ์ œ์—†์–ด. ์ด๊ฒŒ 2nm, 1.4nm ๊ฐ™์€ ๊ทน๋ฏธ์„ธ ๊ณต์ •์„ ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๊ฒŒ ํ•˜๋Š” ๊ฑฐ์ง€! ๐Ÿ”ฌ

GAA ๊ธฐ์ˆ ์˜ ์žฅ์ ๊ณผ ๊ณผ์ œ โœ… ์ฃผ์š” ์žฅ์  ์ตœ๊ณ  ์ˆ˜์ค€์˜ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ œ์–ด๋ ฅ ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜ ์ตœ์†Œํ™” ์ฑ„๋„ ํญ ์กฐ์ ˆ ๊ฐ€๋Šฅ ๊ทน๋ฏธ์„ธ ๊ณต์ • ๊ตฌํ˜„ ๊ฐ€๋Šฅ ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์ „๋ ฅ ํšจ์œจ ๋™์‹œ ๊ฐœ์„  ๋‹จ์ฑ„๋„ ํšจ๊ณผ ์–ต์ œ ์„ค๊ณ„ ์œ ์—ฐ์„ฑ ํ–ฅ์ƒ ๋ฌด์–ด์˜ ๋ฒ•์น™ ์—ฐ์žฅ โš ๏ธ ์ฃผ์š” ๊ณผ์ œ ์ œ์กฐ ๊ณต์ • ๋ณต์žก๋„ ์ฆ๊ฐ€ ์ƒ์‚ฐ ์ˆ˜์œจ ํ™•๋ณด ์–ด๋ ค์›€ ์ œ์กฐ ๋น„์šฉ ๊ธ‰์ฆ ์ฑ„๋„ ๋ฆด๋ฆฌ์Šค ๊ณต์ • ๋‚œ์ด๋„ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์Šคํƒ ๊ท ์ผ์„ฑ ํ™•๋ณด ๋ฐฐ์„  ์ €ํ•ญ ์ฆ๊ฐ€ ๋ฌธ์ œ ์—ด ๊ด€๋ฆฌ ์–ด๋ ค์›€ ์„ค๊ณ„ ๋„๊ตฌ ๋ฐ ๋ผ์ด๋ธŒ๋Ÿฌ๋ฆฌ ๋ถ€์กฑ

๐Ÿšง GAA ๊ธฐ์ˆ ์˜ ๋„์ „ ๊ณผ์ œ๋“ค

GAA๊ฐ€ ์™„๋ฒฝํ•œ ๊ฑด ์•„๋‹ˆ์•ผ. ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐ€์ง€ ์–ด๋ ค์›€์ด ์žˆ๊ฑฐ๋“ . ์ด๊ฑธ ํ•ด๊ฒฐํ•˜๋Š” ๊ฒŒ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋“ค์˜ ์ˆ™์ œ์ง€! ๐Ÿค”

๐Ÿ”บ ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„์™€ ์ˆ˜์œจ

๊ฐ€์žฅ ํฐ ๋ฌธ์ œ๋Š” ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„์•ผ. FinFET๋ณด๋‹ค ๊ณต์ • ๋‹จ๊ณ„๊ฐ€ 30% ์ด์ƒ ๋งŽ์•„. ํŠนํžˆ ์ฑ„๋„ ๋ฆด๋ฆฌ์Šค ๊ณต์ •์ด ๊นŒ๋‹ค๋กœ์›Œ. SiGe๋ฅผ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์‹๊ฐํ•  ๋•Œ Si ์ฑ„๋„์ด ์†์ƒ๋˜๋ฉด ์•ˆ ๋˜๊ฑฐ๋“ . ์ฑ„๋„ ๋‘๊ป˜๊ฐ€ 5nm๋ฐ–์— ์•ˆ ๋˜๋Š”๋ฐ, 1nm๋งŒ ๊นŽ์—ฌ๋„ ํŠน์„ฑ์ด ํฌ๊ฒŒ ๋ณ€ํ•ด. ๐Ÿ˜ฑ

๊ฒŒ์ดํŠธ ์Šคํƒ์„ ํ˜•์„ฑํ•  ๋•Œ๋„ ์–ด๋ ค์›Œ. ์ ์ธต๋œ ์ฑ„๋„ ์‚ฌ์ด์‚ฌ์ด์— ๊ท ์ผํ•˜๊ฒŒ ์ฆ์ฐฉํ•ด์•ผ ํ•˜๋Š”๋ฐ, ๊ณต๊ฐ„์ด ์ข์•„์„œ ๋ฌผ์งˆ์ด ์ž˜ ์•ˆ ๋“ค์–ด๊ฐ€. ์ด๊ฑธ ๊ฐญ ํ•„๋ง(Gap Filling) ๋ฌธ์ œ๋ผ๊ณ  ํ•ด. ALD๋ฅผ ์จ๋„ ์™„๋ฒฝํ•˜๊ฒŒ ๊ท ์ผํ•˜๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์–ด๋ ค์›Œ. ๋ถˆ๊ท ์ผ๋„๊ฐ€ 5% ์ด์ƒ์ด๋ฉด ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ํŠน์„ฑ์ด ๋“ค์ญ‰๋‚ ์ญ‰ํ•ด์ ธ. ๐Ÿ“‰

์ด๋Ÿฐ ์–ด๋ ค์›€ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ดˆ๊ธฐ ์ˆ˜์œจ(Yield)์ด ๋‚ฎ์•„. ์ˆ˜์œจ์€ ์ •์ƒ์ ์œผ๋กœ ์ž‘๋™ํ•˜๋Š” ์นฉ์˜ ๋น„์œจ์ธ๋ฐ, FinFET์€ 90% ์ด์ƒ์ธ๋ฐ GAA๋Š” ์ดˆ๊ธฐ์— 70% ์ •๋„๋ฐ–์— ์•ˆ ๋์–ด. ์ง€๊ธˆ์€ ๋งŽ์ด ๊ฐœ์„ ๋์ง€๋งŒ ์—ฌ์ „ํžˆ FinFET๋ณด๋‹ค ๋‚ฎ์•„. ์ˆ˜์œจ์ด ๋‚ฎ์œผ๋ฉด ์ƒ์‚ฐ ๋น„์šฉ์ด ์˜ฌ๋ผ๊ฐ€๊ฑฐ๋“ . ๐Ÿ’ธ

๐Ÿ”บ ๋น„์šฉ ๋ฌธ์ œ

GAA ์นฉ์€ ์ •๋ง ๋น„์‹ธ. 3nm GAA ์›จ์ดํผ ํ•œ ์žฅ ๊ฐ€๊ฒฉ์ด 2๋งŒ ๋‹ฌ๋Ÿฌ(์•ฝ 2,600๋งŒ ์›)๊ฐ€ ๋„˜์–ด! ๐Ÿ˜ต 5nm FinFET์˜ 1.5๋ฐฐ ์ด์ƒ์ด์•ผ. ์™œ ์ด๋ ‡๊ฒŒ ๋น„์‹ธ๋ƒ๋ฉด:

๐Ÿ’ฐ GAA ์ œ์กฐ ๋น„์šฉ์ด ๋†’์€ ์ด์œ  1. EUV ๋…ธ๊ด‘ ํšŸ์ˆ˜ ์ฆ๊ฐ€: FinFET์€ 10~15ํšŒ์ธ๋ฐ GAA๋Š” 20ํšŒ ์ด์ƒ. EUV ์žฅ๋น„ ํ•œ ๋Œ€๊ฐ€ 2,000์–ต ์›์ด ๋„˜์–ด!

2. ๊ณต์ • ๋‹จ๊ณ„ ์ฆ๊ฐ€: ์ „์ฒด ๊ณต์ •์ด 1,000๋‹จ๊ณ„ ์ด์ƒ. ๊ฐ ๋‹จ๊ณ„๋งˆ๋‹ค ์‹œ๊ฐ„๊ณผ ๋น„์šฉ์ด ๋“ค์–ด.

3. ์ˆ˜์œจ ์†์‹ค: ์ˆ˜์œจ์ด 10% ๋‚ฎ์œผ๋ฉด ์‹ค์งˆ ๋น„์šฉ์€ 15~20% ์ฆ๊ฐ€ํ•ด.

4. ๊ฒ€์‚ฌ ๋ฐ ์ธก์ •: ๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ ๋‹จ์œ„ ๊ฒ€์‚ฌ ์žฅ๋น„๊ฐ€ ํ•„์š”. ์ด๊ฒƒ๋„ ์ˆ˜๋ฐฑ์–ต ์›์งœ๋ฆฌ์•ผ.

5. ์žฌ๋ฃŒ ๋น„์šฉ: High-k ์œ ์ „์ฒด, ํฌ๊ท€ ๊ธˆ์† ๋“ฑ ๊ณ ๊ฐ€ ์žฌ๋ฃŒ ์‚ฌ์šฉ.

์ด ๋•Œ๋ฌธ์— GAA ์นฉ์€ ์ฃผ๋กœ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ํ”„๋กœ์„ธ์„œ๋‚˜ ํ”„๋ฆฌ๋ฏธ์—„ ์Šค๋งˆํŠธํฐ์—๋งŒ ์“ฐ์—ฌ. ์ €๊ฐ€ ์ œํ’ˆ์—๋Š” ์•„์ง FinFET์„ ์“ฐ์ง€. ๋น„์šฉ ๋Œ€๋น„ ํšจ๊ณผ๋ฅผ ๋”ฐ์ ธ์•ผ ํ•˜๋‹ˆ๊นŒ! ๐Ÿ’ก

๐Ÿ”บ ์—ด ๊ด€๋ฆฌ ๋ฌธ์ œ

GAA๋Š” ์ฑ„๋„์ด ๊ณต์ค‘์— ๋–  ์žˆ์–ด์„œ ์—ด ๋ฐฉ์ถœ(Heat Dissipation)์ด ์–ด๋ ค์›Œ. FinFET์€ ์ฑ„๋„์ด ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๊ธฐํŒ์— ๋ถ™์–ด์žˆ์–ด์„œ ์—ด์ด ๊ธฐํŒ์œผ๋กœ ๋น ์ ธ๋‚˜๊ฐ€๋Š”๋ฐ, GAA๋Š” ๊ทธ๊ฒŒ ์•ˆ ๋ผ. ์—ด์ด ์ฑ„๋„์— ๊ฐ‡ํ˜€์„œ ์˜จ๋„๊ฐ€ ์˜ฌ๋ผ๊ฐ€๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๐Ÿ”ฅ

์˜จ๋„๊ฐ€ 10ยฐC ์˜ฌ๋ผ๊ฐ€๋ฉด ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์„ฑ๋Šฅ์ด 5~10% ๋–จ์–ด์ ธ. ์ˆ˜๋ช…๋„ ์งง์•„์ง€๊ณ . ๊ทธ๋ž˜์„œ ์—ด ๊ด€๋ฆฌ(Thermal Management)๊ฐ€ ์ค‘์š”ํ•ด. ์—ด์ „๋„์œจ์ด ๋†’์€ ์žฌ๋ฃŒ๋ฅผ ์“ฐ๊ฑฐ๋‚˜, ์นฉ ์„ค๊ณ„ ๋‹จ๊ณ„์—์„œ ์—ด ๋ถ„์‚ฐ์„ ๊ณ ๋ คํ•ด์•ผ ํ•ด. ์ตœ๊ทผ์—๋Š” ๋‹ค์ด์•„๋ชฌ๋“œ ํžˆํŠธ ์Šคํ”„๋ ˆ๋” ๊ฐ™์€ ์ฒจ๋‹จ ๋ƒ‰๊ฐ ๊ธฐ์ˆ ๋„ ์—ฐ๊ตฌ ์ค‘์ด์•ผ! โ„๏ธ

๐Ÿ”บ ์„ค๊ณ„ ๋ณต์žก๋„

GAA๋Š” ์„ค๊ณ„๋„ ๋ณต์žกํ•ด. ์ฑ„๋„ ํญ์„ ์กฐ์ ˆํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฑด ์ข‹์€๋ฐ, ๊ทธ๋งŒํผ ์„ค๊ณ„ ๋ณ€์ˆ˜๊ฐ€ ๋งŽ์•„์ง„๋‹ค๋Š” ๋œป์ด์•ผ. ์–ด๋–ค ํšŒ๋กœ์— ์–ด๋–ค ํญ์„ ์“ธ์ง€, ๋ช‡ ์ธต์„ ์Œ“์„์ง€ ๋‹ค ๊ฒฐ์ •ํ•ด์•ผ ํ•˜๊ฑฐ๋“ . ๐ŸŽจ

EDA(Electronic Design Automation) ๋„๊ตฌ๋„ ์—…๋ฐ์ดํŠธ๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•ด. ๊ธฐ์กด FinFET์šฉ ๋„๊ตฌ๋กœ๋Š” GAA๋ฅผ ์ œ๋Œ€๋กœ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ํ•  ์ˆ˜ ์—†์–ด. ์ƒˆ๋กœ์šด SPICE ๋ชจ๋ธ๊ณผ PDK(Process Design Kit)๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•˜์ง€. ์ด๊ฒŒ ๋‹ค ๊ฐœ๋ฐœ๋˜๋ ค๋ฉด ์‹œ๊ฐ„์ด ๊ฑธ๋ ค. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์„ค๊ณ„ ํšŒ์‚ฌ๋“ค์ด GAA๋กœ ์ „ํ™˜ํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‹œ๊ฐ„์ด ๊ฑธ๋ฆฌ๋Š” ์ด์œ ์•ผ. โฐ

๐ŸŽ“ SPICE ๋ชจ๋ธ์ด๋ž€? SPICE(Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis)๋Š” ํšŒ๋กœ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ์ด์•ผ. ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ์ „๊ธฐ์  ํŠน์„ฑ์„ ์ˆ˜์‹์œผ๋กœ ๋ชจ๋ธ๋งํ•ด์„œ, ์นฉ์„ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์ „์— ์ปดํ“จํ„ฐ๋กœ ๋™์ž‘์„ ์˜ˆ์ธกํ•˜๋Š” ๊ฑฐ์ง€. GAA๋Š” ๊ตฌ์กฐ๊ฐ€ ๋ณต์žกํ•ด์„œ ๊ธฐ์กด ๋ชจ๋ธ๋กœ๋Š” ์ •ํ™•๋„๊ฐ€ ๋–จ์–ด์ ธ. ์ƒˆ๋กœ์šด ๋ฌผ๋ฆฌ ๊ธฐ๋ฐ˜ ๋ชจ๋ธ์ด ํ•„์š”ํ•ด!

๐ŸŒ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—…๊ณ„์˜ GAA ๊ฒฝ์Ÿ

GAA๋Š” ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ๋ฐ˜๋„์ฒด์˜ ํ•ต์‹ฌ ๊ธฐ์ˆ ์ด๋ผ ์ „ ์„ธ๊ณ„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ํšŒ์‚ฌ๋“ค์ด ์น˜์—ดํ•˜๊ฒŒ ๊ฒฝ์Ÿํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ๋ˆ„๊ฐ€ ๋จผ์ € ์–‘์‚ฐํ•˜๋А๋ƒ๊ฐ€ ์‹œ์žฅ ์ง€๋ฐฐ๋ ฅ์„ ๊ฒฐ์ •ํ•˜๊ฑฐ๋“ ! ๐Ÿ†

๐Ÿ”ท ์‚ผ์„ฑ์ „์ž: ์„ ๋‘ ์ฃผ์ž

์‚ผ์„ฑ์ „์ž๊ฐ€ 2022๋…„ 6์›”, ์„ธ๊ณ„ ์ตœ์ดˆ๋กœ 3nm GAA ๊ณต์ •์„ ์–‘์‚ฐํ–ˆ์–ด! ๐ŸŽ‰ MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET)์ด๋ผ๋Š” ์ด๋ฆ„์œผ๋กœ ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฑ„ํƒํ–ˆ์ง€. ์ฒซ ๊ณ ๊ฐ์€ ์ค‘๊ตญ์˜ ๊ด‘์‚ฐ ์ฑ„๊ตด ์นฉ ์—…์ฒด์˜€๋Š”๋ฐ, ์ดํ›„ ํ€„์ปด, ์—”๋น„๋””์•„ ๊ฐ™์€ ๋Œ€ํ˜• ๊ณ ๊ฐ๋“ค๋„ ๊ด€์‹ฌ์„ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ์–ด.

์‚ผ์„ฑ์€ 2์„ธ๋Œ€ 3nm(3GAE), 2nm, 1.4nm ๋กœ๋“œ๋งต๋„ ๋ฐœํ‘œํ–ˆ์–ด. 2nm๋Š” 2025๋…„, 1.4nm๋Š” 2027๋…„ ์–‘์‚ฐ ๋ชฉํ‘œ์•ผ. 1.4nm์—์„œ๋Š” ๋‚˜๋…ธ์™€์ด์–ด ๊ตฌ์กฐ๋กœ ์ „ํ™˜ํ•  ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ๋„ ์žˆ์–ด. ์‚ผ์„ฑ์˜ ๊ฐ•์ ์€ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ์™€ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ํ†ตํ•ฉ์ด์•ผ. DRAM, NAND์™€ ๋กœ์ง์„ ํ•œ ํŒจํ‚ค์ง€์— ๋„ฃ๋Š” HBM(High Bandwidth Memory) ๊ฐ™์€ ๊ธฐ์ˆ ์—์„œ ์œ ๋ฆฌํ•˜์ง€! ๐Ÿ’ช

๐Ÿ”ท TSMC: ์ถ”๊ฒฉ์ž

TSMC๋Š” 2025๋…„ ํ•˜๋ฐ˜๊ธฐ์— 2nm GAA ๊ณต์ •์„ ์–‘์‚ฐํ•  ์˜ˆ์ •์ด์•ผ. ์‚ผ์„ฑ๋ณด๋‹ค ๋Šฆ์ง€๋งŒ, TSMC๋Š” ์ˆ˜์œจ๊ณผ ์•ˆ์ •์„ฑ์—์„œ ์ •ํ‰์ด ๋‚˜ ์žˆ์–ด. ์• ํ”Œ, AMD, ์—”๋น„๋””์•„ ๊ฐ™์€ ๋Œ€ํ˜• ๊ณ ๊ฐ๋“ค์ด ๊ธฐ๋‹ค๋ฆฌ๊ณ  ์žˆ์ง€. ๐ŸŽ

TSMC๋Š” GAA๋ฅผ GAAFET์ด๋ผ๊ณ  ๋ถ€๋ฅด๋Š”๋ฐ, ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฑ„ํƒํ•  ๊ฑฐ์•ผ. ํŠน์ดํ•œ ์ ์€ ๋ฐฑ์‚ฌ์ด๋“œ ์ „๋ ฅ ๊ณต๊ธ‰(Backside Power Delivery) ๊ธฐ์ˆ ์„ ํ•จ๊ป˜ ๋„์ž…ํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ์นฉ ๋’ท๋ฉด์œผ๋กœ ์ „๋ ฅ์„ ๊ณต๊ธ‰ํ•ด์„œ ๋ฐฐ์„  ํ˜ผ์žก๋„๋ฅผ ์ค„์ด๋Š” ๊ฑฐ์ง€. ์ด๋Ÿฌ๋ฉด ์„ฑ๋Šฅ์ด 10% ์ด์ƒ ํ–ฅ์ƒ๋œ๋Œ€! โšก

๐Ÿ”ท ์ธํ…”: ๋…์ž ๋…ธ์„ 

์ธํ…”์€ RibbonFET์ด๋ผ๋Š” ์ž์ฒด GAA ๊ธฐ์ˆ ์„ ๊ฐœ๋ฐœ ์ค‘์ด์•ผ. 2024๋…„ ์ถœ์‹œ ์˜ˆ์ •์ธ Intel 20A ๊ณต์ •(์‹ค์ œ๋กœ๋Š” 2nm๊ธ‰)๋ถ€ํ„ฐ ์ ์šฉํ•  ๊ฑฐ์•ผ. ์ธํ…”์˜ ํŠน์ง•์€ ๋‚˜๋…ธ๋ฆฌ๋ณธ(Nanoribbon) ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์“ด๋‹ค๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ๋ณด๋‹ค ์–‡๊ณ  ๋„“์€ ํ˜•ํƒœ์ง€. ๐ŸŽ€

์ธํ…”์€ RibbonFET๊ณผ ํ•จ๊ป˜ PowerVia๋ผ๋Š” ๋ฐฑ์‚ฌ์ด๋“œ ์ „๋ ฅ ๊ณต๊ธ‰ ๊ธฐ์ˆ ๋„ ๋„์ž…ํ•ด. TSMC์™€ ๋น„์Šทํ•œ ์ ‘๊ทผ์ด์•ผ. ์ธํ…”์˜ ๋ชฉํ‘œ๋Š” 2025๋…„๊นŒ์ง€ 5์„ธ๋Œ€ ๊ณต์ •(Intel 18A, 1.8nm๊ธ‰)์„ ์ถœ์‹œํ•ด์„œ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ์‹œ์žฅ 2์œ„๋กœ ์˜ฌ๋ผ์„œ๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ์•ผ์‹ฌ์ฐฌ ๊ณ„ํš์ด์ง€! ๐Ÿš€

๐ŸŒ ์ค‘๊ตญ์˜ GAA ๊ฐœ๋ฐœ ํ˜„ํ™ฉ ์ค‘๊ตญ๋„ GAA ๊ธฐ์ˆ  ๊ฐœ๋ฐœ์— ๋ฐ•์ฐจ๋ฅผ ๊ฐ€ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. SMIC(์ค‘๊ตญ ์ตœ๋Œ€ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ)๊ฐ€ 7nm ๊ณต์ •๊นŒ์ง€๋Š” ์–‘์‚ฐํ–ˆ๋Š”๋ฐ, ๋ฏธ๊ตญ์˜ ์ œ์žฌ๋กœ EUV ์žฅ๋น„๋ฅผ ๋ชป ๊ตฌํ•ด์„œ GAA ๊ฐœ๋ฐœ์ด ์ง€์—ฐ๋˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ํ•˜์ง€๋งŒ DUV(Deep UV) ๋‹ค์ค‘ ํŒจํ„ฐ๋‹์œผ๋กœ 5nm๊ธ‰ ๊ณต์ •์„ ๊ฐœ๋ฐœ ์ค‘์ด๋ผ๋Š” ์†Œ๋ฌธ๋„ ์žˆ์–ด. ๊ธฐ์ˆ  ์ž๋ฆฝ์„ ์œ„ํ•ด ์—„์ฒญ๋‚œ ํˆฌ์ž๋ฅผ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์ง€! ๐Ÿ‡จ๐Ÿ‡ณ

์ด๋ ‡๊ฒŒ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—…๊ณ„๊ฐ€ GAA๋ฅผ ์ค‘์‹ฌ์œผ๋กœ ์žฌํŽธ๋˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ๋ˆ„๊ฐ€ ๋จผ์ € ์•ˆ์ •์ ์œผ๋กœ ์–‘์‚ฐํ•˜๋А๋ƒ๊ฐ€ ํ–ฅํ›„ 10๋…„์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‹œ์žฅ์„ ์ขŒ์šฐํ•  ๊ฑฐ์•ผ. ์ •๋ง ํฅ๋ฏธ์ง„์ง„ํ•œ ๊ฒฝ์Ÿ์ด์ง€? ๐ŸŽฏ

๐Ÿ”ฎ GAA ์ดํ›„์˜ ๋ฏธ๋ž˜: ์ฐจ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ๊ธฐ์ˆ ๋“ค

GAA๊ฐ€ ์ตœ์ข… ๋ชฉ์ ์ง€๋Š” ์•„๋‹ˆ์•ผ. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์ˆ ์€ ๊ณ„์† ์ง„ํ™”ํ•˜๊ฑฐ๋“ ! GAA ์ดํ›„์—๋Š” ๋ญ๊ฐ€ ์˜ฌ๊นŒ? ๐Ÿค”

๐Ÿ”ธ CFET (Complementary FET)

CFET์€ NMOS์™€ PMOS๋ฅผ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ์Œ“๋Š” ๊ตฌ์กฐ์•ผ. ์ง€๊ธˆ์€ NMOS์™€ PMOS๊ฐ€ ์˜†์œผ๋กœ ๋‚˜๋ž€ํžˆ ์žˆ๋Š”๋ฐ, ์ด๊ฑธ ์œ„์•„๋ž˜๋กœ ์Œ“์œผ๋ฉด ๋ฉด์ ์ด ์ ˆ๋ฐ˜์œผ๋กœ ์ค„์–ด๋“ค์–ด! ๐Ÿ—๏ธ

CFET์€ GAA์˜ ์ง„ํ™”ํ˜•์ด๋ผ๊ณ  ๋ณผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ๋‚˜ ๋‚˜๋…ธ์™€์ด์–ด๋ฅผ ์ˆ˜์ง์œผ๋กœ ๋ฐฐ์น˜ํ•˜๋Š” ๊ฑฐ์ง€. ์ด๋ก ์ ์œผ๋กœ๋Š” ์ง‘์ ๋„๋ฅผ 2๋ฐฐ ๋†’์ผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ํ•˜์ง€๋งŒ ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„๊ฐ€ GAA๋ณด๋‹ค ํ›จ์”ฌ ๋†’์•„. 2028~2030๋…„์ฏค ์‹ค์šฉํ™”๋  ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์˜ˆ์ƒ๋ผ. โณ

๐Ÿ”ธ 2D ์†Œ์žฌ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ

์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ๋Œ€์‹  2D ์†Œ์žฌ๋ฅผ ์“ฐ๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๋Œ€ํ‘œ์ ์œผ๋กœ ๊ทธ๋ž˜ํ•€(Graphene)์ด๋‚˜ MoSโ‚‚(์ดํ™ฉํ™”๋ชฐ๋ฆฌ๋ธŒ๋ด) ๊ฐ™์€ ๊ฑฐ์ง€. ์ด๋Ÿฐ ์†Œ์žฌ๋Š” ์›์ž ํ•œ ์ธต ๋‘๊ป˜(0.3~0.7nm)๋ฐ–์— ์•ˆ ๋ผ์„œ ๊ทน๋ฏธ์„ธ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๐Ÿ”ฌ

ํŠนํžˆ MoSโ‚‚๋Š” ๋ฐด๋“œ๊ฐญ์ด ์žˆ์–ด์„œ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋กœ ์“ฐ๊ธฐ ์ข‹์•„. ์ด๋ฏธ ์‹คํ—˜์‹ค์—์„œ๋Š” 1nm ์ฑ„๋„ ๊ธธ์ด์˜ MoSโ‚‚ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๊ฐ€ ๋งŒ๋“ค์–ด์กŒ์–ด! ํ•˜์ง€๋งŒ ๋Œ€๋Ÿ‰ ์ƒ์‚ฐ ๊ธฐ์ˆ ์ด ์—†์–ด์„œ ์ƒ์šฉํ™”๋Š” 2030๋…„๋Œ€๋กœ ์˜ˆ์ƒ๋ผ. ๐ŸŒŸ

๐Ÿ”ธ ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ

CNT(Carbon Nanotube)๋Š” ํƒ„์†Œ ์›์ž๊ฐ€ ์œก๊ฐํ˜•์œผ๋กœ ์—ฐ๊ฒฐ๋œ ์›ํ†ตํ˜• ๊ตฌ์กฐ์•ผ. ์ „์ž ์ด๋™๋„๊ฐ€ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜๋ณด๋‹ค 100๋ฐฐ ์ด์ƒ ๋†’์•„์„œ ์ดˆ๊ณ ์† ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. โšก

MIT์™€ ์Šคํƒ ํผ๋“œ ๋Œ€ํ•™์—์„œ CNT ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ™œ๋ฐœํžˆ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ๋ฌธ์ œ๋Š” CNT๋ฅผ ๊ท ์ผํ•˜๊ฒŒ ๋ฐฐ์—ดํ•˜๊ธฐ ์–ด๋ ต๋‹ค๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๊ธˆ์†์„ฑ CNT์™€ ๋ฐ˜๋„์ฒด์„ฑ CNT๊ฐ€ ์„ž์—ฌ ์žˆ์–ด์„œ ๋ถ„๋ฆฌํ•˜๋Š” ๊ฒƒ๋„ ๊ณผ์ œ๊ณ . ํ•˜์ง€๋งŒ ํ•ด๊ฒฐ๋˜๋ฉด ํ˜๋ช…์ ์ธ ์„ฑ๋Šฅ ํ–ฅ์ƒ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•ด! ๐ŸŽŠ

๐Ÿ”ธ ์–‘์ž ํ„ฐ๋„๋ง ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ

TFET(Tunneling FET)์€ ์–‘์ž ํ„ฐ๋„๋ง ํšจ๊ณผ๋ฅผ ์ด์šฉํ•˜๋Š” ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์•ผ. ๊ธฐ์กด ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ณด๋‹ค ํ›จ์”ฌ ๋‚ฎ์€ ์ „์••์—์„œ ๋™์ž‘ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด์„œ ์ดˆ์ €์ „๋ ฅ ํšŒ๋กœ์— ์œ ๋ฆฌํ•ด. ๐Ÿ”‹

๋ฌธ์ œ๋Š” ์ „๋ฅ˜ ๊ตฌ๋™๋ ฅ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ๊ทธ๋ž˜์„œ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ํšŒ๋กœ๋ณด๋‹ค๋Š” IoT ์„ผ์„œ ๊ฐ™์€ ์ €์ „๋ ฅ ์‘์šฉ์— ์ ํ•ฉํ•ด. ์ธํ…”๊ณผ IBM์ด ์—ฐ๊ตฌ ์ค‘์ด๊ณ , 2030๋…„๋Œ€ ์ƒ์šฉํ™”๋ฅผ ๋ชฉํ‘œ๋กœ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ๐ŸŽฏ

๐Ÿš€ ๋ฏธ๋ž˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์ˆ  ๋กœ๋“œ๋งต 2024~2025: 2nm GAA ์–‘์‚ฐ (TSMC, ์‚ผ์„ฑ)
2026~2027: 1.4nm GAA, ๋ฐฑ์‚ฌ์ด๋“œ ์ „๋ ฅ ๊ณต๊ธ‰ ํ™•๋Œ€
2028~2030: CFET, 1nm ์ดํ•˜ ๊ณต์ •
2030~2035: 2D ์†Œ์žฌ, CNT ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ์ƒ์šฉํ™”
2035~: ์–‘์ž ์ปดํ“จํŒ…, ๋‰ด๋กœ๋ชจํ”ฝ ์นฉ ๋ณธ๊ฒฉํ™”

๋ฌผ๋ก  ์ด๊ฑด ์˜ˆ์ƒ์ด๊ณ , ๊ธฐ์ˆ  ๋ฐœ์ „ ์†๋„์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ฌ๋ผ์งˆ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด! ๐ŸŒˆ
GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ ๐Ÿ“ฑ ๋ชจ๋ฐ”์ผ ์Šค๋งˆํŠธํฐ AP 5G/6G ๋ชจ๋Ž€ ์ €์ „๋ ฅ ์„ผ์„œ ์›จ์–ด๋Ÿฌ๋ธ” ๊ธฐ๊ธฐ ๐Ÿ’ป ์ปดํ“จํŒ… ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ CPU ์„œ๋ฒ„ ํ”„๋กœ์„ธ์„œ ๋ฐ์ดํ„ฐ์„ผํ„ฐ ์—ฃ์ง€ ์ปดํ“จํŒ… ๐ŸŽฎ ๊ทธ๋ž˜ํ”ฝ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ GPU AI ๊ฐ€์†๊ธฐ ๋ ˆ์ดํŠธ๋ ˆ์ด์‹ฑ ๋ฉ”ํƒ€๋ฒ„์Šค ๐Ÿค– AI NPU TPU ์ถ”๋ก  ์นฉ ํ•™์Šต ์นฉ ๐Ÿš— ์ž๋™์ฐจ ์ž์œจ์ฃผํ–‰ ์นฉ ADAS ์ธํฌํ…Œ์ธ๋จผํŠธ ์ „๋ ฅ ๊ด€๋ฆฌ ๐Ÿฅ ์˜๋ฃŒ ์›จ์–ด๋Ÿฌ๋ธ” ์„ผ์„œ ์ง„๋‹จ ์žฅ๋น„ ์ด์‹ํ˜• ๊ธฐ๊ธฐ ์›๊ฒฉ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง ๐Ÿญ ์‚ฐ์—… IoT ์„ผ์„œ ์Šค๋งˆํŠธ ํŒฉํ† ๋ฆฌ ๋กœ๋ด‡ ์ œ์–ด ์—๋„ˆ์ง€ ๊ด€๋ฆฌ ๐ŸŒ ํ†ต์‹  5G ๊ธฐ์ง€๊ตญ ๋„คํŠธ์›Œํฌ ์œ„์„ฑํ†ต์‹  6G ์—ฐ๊ตฌ ๋ชจ๋“  ๋ถ„์•ผ์—์„œ ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ํšจ์œจ์˜ ํ˜์‹ ์„ ์ด๋Œ์–ด! ๐Ÿš€

๐ŸŽฏ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ์‹ค์ œ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ

์ด๋ก ์€ ์ถฉ๋ถ„ํžˆ ์•Œ์•„๋ดค์œผ๋‹ˆ, ์ด์ œ GAA๊ฐ€ ์‹ค์ œ๋กœ ์–ด๋””์— ์“ฐ์ด๋Š”์ง€ ์•Œ์•„๋ณด์ž! ๐ŸŒŸ

๐Ÿ“ฑ ๋ชจ๋ฐ”์ผ ํ”„๋กœ์„ธ์„œ

GAA์˜ ๊ฐ€์žฅ ํฐ ์‹œ์žฅ์€ ์—ญ์‹œ ์Šค๋งˆํŠธํฐ AP(Application Processor)์•ผ. ํ€„์ปด์˜ ์Šค๋ƒ…๋“œ๋ž˜๊ณค, ์• ํ”Œ์˜ A์‹œ๋ฆฌ์ฆˆ, ์‚ผ์„ฑ์˜ ์—‘์‹œ๋…ธ์Šค ๊ฐ™์€ ์นฉ๋“ค์ด์ง€. ์ด๋Ÿฐ ์นฉ๋“ค์€ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์ €์ „๋ ฅ์„ ๋™์‹œ์— ์š”๊ตฌํ•˜๊ฑฐ๋“ . GAA๊ฐ€ ๋”ฑ ๋งž์•„! ๐Ÿ“ฑ

์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ์‚ผ์„ฑ ์—‘์‹œ๋…ธ์Šค 2400์€ 3nm GAA ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๋งŒ๋“ค์–ด์กŒ์–ด. ์ด์ „ ์„ธ๋Œ€ ๋Œ€๋น„ ์„ฑ๋Šฅ์ด 30% ํ–ฅ์ƒ๋˜๊ณ  ์ „๋ ฅ ์†Œ๋น„๋Š” 40% ์ค„์—ˆ์ง€. ๋•๋ถ„์— ์Šค๋งˆํŠธํฐ ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๊ฐ€ ๋” ์˜ค๋ž˜ ๊ฐ€๊ณ , ๊ฒŒ์ž„์ด๋‚˜ AI ๊ธฐ๋Šฅ์ด ๋” ๋นจ๋ผ์กŒ์–ด. ์‚ฌ์šฉ์ž ์ž…์žฅ์—์„œ๋Š” ์ฒด๊ฐ ์„ฑ๋Šฅ์ด ํ™• ์ข‹์•„์ง„ ๊ฑฐ์ง€! ๐ŸŽฎ

๐Ÿ’ป ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ์ปดํ“จํŒ…

์„œ๋ฒ„์šฉ CPU๋„ GAA๋กœ ์ „ํ™˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. AMD์˜ EPYC, ์ธํ…”์˜ Xeon ๊ฐ™์€ ํ”„๋กœ์„ธ์„œ๋“ค์ด์•ผ. ๋ฐ์ดํ„ฐ์„ผํ„ฐ์—์„œ๋Š” ์ „๋ ฅ ํšจ์œจ์ด ์—„์ฒญ ์ค‘์š”ํ•ด. ์„œ๋ฒ„ ์ˆ˜์ฒœ ๋Œ€๊ฐ€ 24์‹œ๊ฐ„ ๋Œ์•„๊ฐ€๋‹ˆ๊นŒ ์ „๊ธฐ๋ฃŒ๊ฐ€ ์–ด๋งˆ์–ด๋งˆํ•˜๊ฑฐ๋“ . ๐Ÿ’ธ

GAA ๊ธฐ๋ฐ˜ ์„œ๋ฒ„ CPU๋Š” ๊ฐ™์€ ์„ฑ๋Šฅ์—์„œ ์ „๋ ฅ์„ 50% ์ค„์ผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ์ด๊ฒŒ ๋ฐ์ดํ„ฐ์„ผํ„ฐ ์ „์ฒด๋กœ ๋ณด๋ฉด ์—ฐ๊ฐ„ ์ˆ˜์–ต ์›์˜ ์ „๊ธฐ๋ฃŒ ์ ˆ๊ฐ์ด์•ผ! ๊ฒŒ๋‹ค๊ฐ€ ๋ฐœ์—ด๋„ ์ค„์–ด์„œ ๋ƒ‰๊ฐ ๋น„์šฉ๋„ ์ค„์–ด๋“ค์ง€. ๊ตฌ๊ธ€, ์•„๋งˆ์กด, ๋งˆ์ดํฌ๋กœ์†Œํ”„ํŠธ ๊ฐ™์€ ํด๋ผ์šฐ๋“œ ์—…์ฒด๋“ค์ด GAA ์นฉ์— ๊ด€์‹ฌ์ด ๋งŽ์€ ์ด์œ ์•ผ. โ˜๏ธ

๐Ÿค– AI ๊ฐ€์†๊ธฐ

AI ์นฉ์€ GAA์˜ ๋˜ ๋‹ค๋ฅธ ํ‚ฌ๋Ÿฌ ์•ฑ์ด์•ผ. ์—”๋น„๋””์•„์˜ GPU, ๊ตฌ๊ธ€์˜ TPU, ํ…Œ์Šฌ๋ผ์˜ Dojo ๊ฐ™์€ ์นฉ๋“ค์ด์ง€. AI ํ•™์Šต๊ณผ ์ถ”๋ก ์—๋Š” ์—„์ฒญ๋‚œ ์—ฐ์‚ฐ๋Ÿ‰์ด ํ•„์š”ํ•œ๋ฐ, GAA์˜ ๊ณ ์ง‘์ ๋„๊ฐ€ ๋”ฑ ๋งž์•„! ๐Ÿง 

ํŠนํžˆ ์˜จ๋””๋ฐ”์ด์Šค AI์— ์œ ๋ฆฌํ•ด. ์Šค๋งˆํŠธํฐ์ด๋‚˜ ์—ฃ์ง€ ๊ธฐ๊ธฐ์—์„œ AI๋ฅผ ๋Œ๋ฆฌ๋ ค๋ฉด ์ €์ „๋ ฅ์ด ํ•„์ˆ˜๊ฑฐ๋“ . GAA ๊ธฐ๋ฐ˜ NPU(Neural Processing Unit)๋Š” ๊ฐ™์€ ์ „๋ ฅ์—์„œ 2๋ฐฐ ์ด์ƒ์˜ AI ์„ฑ๋Šฅ์„ ๋‚ผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๋•๋ถ„์— ์Šค๋งˆํŠธํฐ์—์„œ๋„ ์‹ค์‹œ๊ฐ„ ๋ฒˆ์—ญ, ์‚ฌ์ง„ ํŽธ์ง‘, ์Œ์„ฑ ์ธ์‹์ด ๋นจ๋ผ์กŒ์ง€! ๐ŸŽค

๐Ÿš— ์ž๋™์ฐจ ๋ฐ˜๋„์ฒด

์ž์œจ์ฃผํ–‰์ฐจ์—๋Š” ์—„์ฒญ๋‚œ ์—ฐ์‚ฐ ๋Šฅ๋ ฅ์ด ํ•„์š”ํ•ด. ์นด๋ฉ”๋ผ, ๋ผ์ด๋‹ค, ๋ ˆ์ด๋” ๋ฐ์ดํ„ฐ๋ฅผ ์‹ค์‹œ๊ฐ„์œผ๋กœ ์ฒ˜๋ฆฌํ•ด์•ผ ํ•˜๊ฑฐ๋“ . ํ…Œ์Šฌ๋ผ์˜ FSD(Full Self-Driving) ์นฉ, ์—”๋น„๋””์•„์˜ Drive Orin ๊ฐ™์€ ์นฉ๋“ค์ด GAA๋กœ ์ „ํ™˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ๐Ÿš™

์ž๋™์ฐจ ์นฉ์€ ์‹ ๋ขฐ์„ฑ์ด ์—„์ฒญ ์ค‘์š”ํ•ด. ์‚ฌ๋žŒ ๋ชฉ์ˆจ์ด ๊ฑธ๋ฆฐ ๋ฌธ์ œ๋‹ˆ๊นŒ! GAA๋Š” ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ์ ์–ด์„œ ์˜ค์ž‘๋™ ํ™•๋ฅ ์ด ๋‚ฎ์•„. ๊ฒŒ๋‹ค๊ฐ€ ์˜จ๋„ ๋ฒ”์œ„๋„ ๋„“์–ด. ์ž๋™์ฐจ๋Š” -40ยฐC์—์„œ 125ยฐC๊นŒ์ง€ ๋™์ž‘ํ•ด์•ผ ํ•˜๋Š”๋ฐ, GAA๊ฐ€ ์ด๋Ÿฐ ๊ทนํ•œ ํ™˜๊ฒฝ์—์„œ๋„ ์•ˆ์ •์ ์ด์•ผ. ๐ŸŒก๏ธ

๐Ÿฅ ์˜๋ฃŒ ๊ธฐ๊ธฐ์—์„œ์˜ GAA ์›จ์–ด๋Ÿฌ๋ธ” ํ—ฌ์Šค์ผ€์–ด ๊ธฐ๊ธฐ๋„ GAA์˜ ์ค‘์š”ํ•œ ์‘์šฉ ๋ถ„์•ผ์•ผ. ์• ํ”Œ ์›Œ์น˜, ์‚ผ์„ฑ ๊ฐค๋Ÿญ์‹œ ์›Œ์น˜ ๊ฐ™์€ ๊ธฐ๊ธฐ๋“ค์ด์ง€. ์ด๋Ÿฐ ๊ธฐ๊ธฐ๋Š” ์ž‘์€ ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ๋กœ ๋ฉฐ์น ์”ฉ ๋™์ž‘ํ•ด์•ผ ํ•˜๋‹ˆ๊นŒ ์ดˆ์ €์ „๋ ฅ์ด ํ•„์ˆ˜์•ผ. GAA์˜ ๋‚ฎ์€ ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๋”ฑ ๋งž์•„! ์‹ฌ๋ฐ•์ˆ˜, ํ˜ˆ์••, ํ˜ˆ๋‹น ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง ๊ฐ™์€ ๊ธฐ๋Šฅ์ด ๋” ์ •ํ™•ํ•˜๊ณ  ์˜ค๋ž˜ ๋™์ž‘ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์ง€. ๐Ÿ’“

์ด๋ ‡๊ฒŒ GAA๋Š” ์šฐ๋ฆฌ ์ผ์ƒ์˜ ๊ฑฐ์˜ ๋ชจ๋“  ์ „์ž๊ธฐ๊ธฐ์— ๋“ค์–ด๊ฐ€๊ณ  ์žˆ์–ด. ์Šค๋งˆํŠธํฐ๋ถ€ํ„ฐ ์ž๋™์ฐจ, ์˜๋ฃŒ๊ธฐ๊ธฐ๊นŒ์ง€! ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์ˆ ์˜ ๋ฐœ์ „์ด ์šฐ๋ฆฌ ์‚ถ์„ ์–ผ๋งˆ๋‚˜ ๋ฐ”๊พธ๋Š”์ง€ ์‹ค๊ฐ๋‚˜์ง€? ๐Ÿ˜Š

๐ŸŽ“ GAA ์„ค๊ณ„ ์‹œ ๊ณ ๋ ค์‚ฌํ•ญ๊ณผ ์ตœ์ ํ™” ์ „๋žต

์‹ค์ œ๋กœ GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ์„ค๊ณ„ํ•  ๋•Œ๋Š” ๋ญ˜ ๊ณ ๋ คํ•ด์•ผ ํ• ๊นŒ? ๋ฐ˜๋„์ฒด ์„ค๊ณ„ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด์˜ ๊ด€์ ์—์„œ ์•Œ์•„๋ณด์ž! ๐Ÿ”ง

๐Ÿ”น ์ฑ„๋„ ํญ ์ตœ์ ํ™”

GAA์˜ ๊ฐ€์žฅ ํฐ ์žฅ์ ์€ ์ฑ„๋„ ํญ์„ ์ž์œ ๋กญ๊ฒŒ ์กฐ์ ˆํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฑฐ์•ผ. ์ด๊ฑธ ํ™œ์šฉํ•ด์„œ ํšŒ๋กœ๋งˆ๋‹ค ์ตœ์ ํ™”ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๐Ÿ“Š

์ฑ„๋„ ํญ์— ๋”ฐ๋ฅธ ํŠน์„ฑ ์ข์€ ์ฑ„๋„ (20~30nm):
โ€ข ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜ ์ตœ์†Œํ™”
โ€ข ์ €์ „๋ ฅ ํšŒ๋กœ์— ์ ํ•ฉ
โ€ข SRAM, ์ €์ „๋ ฅ ๋กœ์ง

์ค‘๊ฐ„ ์ฑ„๋„ (40~60nm):
โ€ข ๊ท ํ˜•์žกํžŒ ์„ฑ๋Šฅ
โ€ข ์ผ๋ฐ˜ ๋กœ์ง ํšŒ๋กœ
โ€ข ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์˜ ๋””์ง€ํ„ธ ํšŒ๋กœ

๋„“์€ ์ฑ„๋„ (80~100nm):
โ€ข ๋†’์€ ๊ตฌ๋™ ์ „๋ฅ˜
โ€ข ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ํšŒ๋กœ์— ์ ํ•ฉ
โ€ข I/O ๋ฒ„ํผ, ๊ณ ์† ์ธํ„ฐํŽ˜์ด์Šค

์„ค๊ณ„ํ•  ๋•Œ๋Š” ๊ฐ ๋ธ”๋ก์˜ ์š”๊ตฌ์‚ฌํ•ญ์„ ๋ถ„์„ํ•ด์„œ ์ตœ์ ์˜ ์ฑ„๋„ ํญ์„ ์„ ํƒํ•ด์•ผ ํ•ด. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, CPU ์ฝ”์–ด๋Š” ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ์ด ํ•„์š”ํ•˜๋‹ˆ ๋„“์€ ์ฑ„๋„์„, ์บ์‹œ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ๋Š” ์ €์ „๋ ฅ์ด ์ค‘์š”ํ•˜๋‹ˆ ์ข์€ ์ฑ„๋„์„ ์“ฐ๋Š” ์‹์ด์ง€. ์ด๋Ÿฐ ํ˜ผํ•ฉ ์ฑ„๋„ ํญ ์„ค๊ณ„(Mixed-Width Design)๊ฐ€ GAA์˜ ํ•ต์‹ฌ ์ „๋žต์ด์•ผ! ๐ŸŽฏ

๐Ÿ”น ์ ์ธต ๊ฐœ์ˆ˜ ๊ฒฐ์ •

๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ๋ฅผ ๋ช‡ ์ธต ์Œ“์„์ง€๋„ ์ค‘์š”ํ•œ ๊ฒฐ์ •์ด์•ผ. ์ธต์ˆ˜๊ฐ€ ๋งŽ์„์ˆ˜๋ก ์ „๋ฅ˜ ๊ตฌ๋™๋ ฅ์€ ์ข‹์•„์ง€์ง€๋งŒ, ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„์™€ ๋น„์šฉ์ด ์˜ฌ๋ผ๊ฐ€๊ฑฐ๋“ . ๐Ÿ—๏ธ

์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ 3์ธต์ด ํ‘œ์ค€์ด์•ผ. 2์ธต์€ ๋ฉด์  ํšจ์œจ์€ ์ข‹์ง€๋งŒ ์„ฑ๋Šฅ์ด ๋ถ€์กฑํ•˜๊ณ , 4์ธต ์ด์ƒ์€ ์ˆ˜์œจ์ด ๋–จ์–ด์ ธ. ํ•˜์ง€๋งŒ ํŠน์ˆ˜ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ๋‹ค๋ฅด๊ฒŒ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ์ดˆ๊ณ ์† I/O ํšŒ๋กœ๋Š” 4์ธต์„ ์จ์„œ ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ์ตœ๋Œ€ํ™”ํ•˜๊ณ , ์ €์ „๋ ฅ ์„ผ์„œ๋Š” 2์ธต์œผ๋กœ ๋ฉด์ ์„ ์ค„์ด๋Š” ์‹์ด์ง€. ๐Ÿ’ก

๐Ÿ”น ๋ฌธํ„ฑ ์ „์•• ์กฐ์ ˆ

๋ฌธํ„ฑ ์ „์••(Threshold Voltage, Vth)์€ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๊ฐ€ ์ผœ์ง€๋Š” ์ „์••์ด์•ผ. ์ด๊ฒŒ ๋‚ฎ์œผ๋ฉด ๋น ๋ฅด์ง€๋งŒ ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๋งŽ๊ณ , ๋†’์œผ๋ฉด ๋А๋ฆฌ์ง€๋งŒ ๋ˆ„์„ค์ด ์ ์–ด. ํŠธ๋ ˆ์ด๋“œ์˜คํ”„ ๊ด€๊ณ„์ง€. โš–๏ธ

GAA์—์„œ๋Š” ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ผํ•จ์ˆ˜ ๊ธˆ์†์„ ๋ฐ”๊ฟ”์„œ Vth๋ฅผ ์กฐ์ ˆํ•ด. ๋ณดํ†ต 3~4๊ฐ€์ง€ Vth ์˜ต์…˜์„ ์ œ๊ณตํ•ด:

Vth ์˜ต์…˜ โ€ข LVT (Low Vth): 0.2~0.3V, ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ํšŒ๋กœ
โ€ข RVT (Regular Vth): 0.3~0.4V, ์ผ๋ฐ˜ ํšŒ๋กœ
โ€ข HVT (High Vth): 0.4~0.5V, ์ €์ „๋ ฅ ํšŒ๋กœ
โ€ข SLVT (Super Low Vth): 0.1~0.2V, ์ดˆ๊ณ ์† ํšŒ๋กœ (์„ ํƒ์ )

์„ค๊ณ„์ž๋Š” ํƒ€์ด๋ฐ ๋ถ„์„์„ ํ†ตํ•ด ๊ฐ ๊ฒฝ๋กœ์— ์ ์ ˆํ•œ Vth๋ฅผ ์„ ํƒํ•ด์•ผ ํ•ด!

๐Ÿ”น ๋ฐฐ์„  ์ตœ์ ํ™”

3nm ์ดํ•˜์—์„œ๋Š” ๋ฐฐ์„  ์ €ํ•ญ์ด ์„ฑ๋Šฅ ๋ณ‘๋ชฉ์ด ๋ผ. ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋Š” ๋นจ๋ผ์กŒ๋Š”๋ฐ ๋ฐฐ์„ ์ด ๋А๋ฆฌ๋ฉด ์˜๋ฏธ๊ฐ€ ์—†๊ฑฐ๋“ ! ๐ŸŒ

๊ทธ๋ž˜์„œ ์—ฌ๋Ÿฌ ์ตœ์ ํ™” ๊ธฐ๋ฒ•์„ ์จ:

1. ๋ฐฑ์‚ฌ์ด๋“œ ์ „๋ ฅ ๊ณต๊ธ‰: ์ „๋ ฅ์„ ์„ ์นฉ ๋’ท๋ฉด์œผ๋กœ ๋นผ์„œ ์‹ ํ˜ธ์„ ๊ณผ ๋ถ„๋ฆฌํ•ด. ๋ฐฐ์„  ํ˜ผ์žก๋„๊ฐ€ ์ค„์–ด๋“ค์–ด ์‹ ํ˜ธ ์ง€์—ฐ์ด ๊ฐ์†Œํ•ด. ๐Ÿ”Œ

2. ์ €์ €ํ•ญ ๊ธˆ์†: ๊ตฌ๋ฆฌ ๋Œ€์‹  ๋ฃจํ…Œ๋Š„(Ru)์ด๋‚˜ ์ฝ”๋ฐœํŠธ(Co)๋ฅผ ์จ. ๋ฏธ์„ธ ๋ฐฐ์„ ์—์„œ๋Š” ์ด๊ฒŒ ์ €ํ•ญ์ด ๋” ๋‚ฎ์•„. โšก

3. ์—์–ด๊ฐญ: ๋ฐฐ์„  ์‚ฌ์ด์— ๊ณต๊ธฐ์ธต์„ ๋„ฃ์–ด์„œ ๊ธฐ์ƒ ์ปคํŒจ์‹œํ„ด์Šค๋ฅผ ์ค„์—ฌ. ์‹ ํ˜ธ ์†๋„๊ฐ€ ๋นจ๋ผ์ง€์ง€. ๐Ÿ’จ

๐Ÿ”น ์ „๋ ฅ ๊ด€๋ฆฌ

GAA ์นฉ์€ ์ „๋ ฅ ๋ฐ€๋„๊ฐ€ ๋†’์•„์„œ ์—ด ๊ด€๋ฆฌ๊ฐ€ ์ค‘์š”ํ•ด. ์„ค๊ณ„ ๋‹จ๊ณ„์—์„œ๋ถ€ํ„ฐ ๊ณ ๋ คํ•ด์•ผ ํ•ด. ๐Ÿ”ฅ

์ „๋ ฅ ์ตœ์ ํ™” ๊ธฐ๋ฒ• โ€ข ํด๋Ÿญ ๊ฒŒ์ดํŒ…: ์•ˆ ์“ฐ๋Š” ํšŒ๋กœ์˜ ํด๋Ÿญ์„ ๊บผ์„œ ๋™์  ์ „๋ ฅ ์ ˆ๊ฐ
โ€ข ์ „๋ ฅ ๊ฒŒ์ดํŒ…: ์•ˆ ์“ฐ๋Š” ๋ธ”๋ก์˜ ์ „์›์„ ์•„์˜ˆ ์ฐจ๋‹จ
โ€ข DVFS: ๋™์  ์ „์••/์ฃผํŒŒ์ˆ˜ ์กฐ์ ˆ๋กœ ๋ถ€ํ•˜์— ๋”ฐ๋ผ ์ „๋ ฅ ์กฐ์ ˆ
โ€ข ๋ฉ€ํ‹ฐ ์ „์•• ๋„๋ฉ”์ธ: ๋ธ”๋ก๋งˆ๋‹ค ๋‹ค๋ฅธ ์ „์•• ์‚ฌ์šฉ
โ€ข ์—ด ์ธ์‹ ๋ฐฐ์น˜: ๋ฐœ์—ด์ด ๋งŽ์€ ๋ธ”๋ก์„ ๋ถ„์‚ฐ ๋ฐฐ์น˜

์ด๋Ÿฐ ๊ธฐ๋ฒ•๋“ค์„ ์กฐํ•ฉํ•˜๋ฉด ์ „๋ ฅ์„ 30~50% ์ค„์ผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด!

๐Ÿ› ๏ธ GAA ์„ค๊ณ„ ๋„๊ตฌ์™€ ๋ฐฉ๋ฒ•๋ก 

GAA ์นฉ์„ ์„ค๊ณ„ํ•˜๋ ค๋ฉด ํŠน๋ณ„ํ•œ ๋„๊ตฌ์™€ ๋ฐฉ๋ฒ•๋ก ์ด ํ•„์š”ํ•ด. ๊ธฐ์กด FinFET์šฉ ๋„๊ตฌ๋กœ๋Š” ๋ถ€์กฑํ•˜๊ฑฐ๋“ ! ๐Ÿ”จ

๐Ÿ”ธ TCAD ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜

TCAD(Technology Computer-Aided Design)๋Š” ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์˜ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋™์ž‘์„ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ํ•˜๋Š” ๋„๊ตฌ์•ผ. GAA ๊ฐ™์€ ์ƒˆ๋กœ์šด ๊ตฌ์กฐ๋Š” ์‹คํ—˜์ ์œผ๋กœ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์ „์— TCAD๋กœ ๋จผ์ € ๊ฒ€์ฆํ•ด์•ผ ํ•ด. ์‹œํ–‰์ฐฉ์˜ค๋ฅผ ์ค„์ผ ์ˆ˜ ์žˆ๊ฑฐ๋“ ! ๐Ÿ–ฅ๏ธ

Synopsys์˜ Sentaurus, Silvaco์˜ ATLAS ๊ฐ™์€ ๋„๊ตฌ๋ฅผ ์จ. ์ด๊ฑธ๋กœ ์ฑ„๋„ ๋‘๊ป˜, ๊ฒŒ์ดํŠธ ์Šคํƒ ๊ตฌ์กฐ, ๋„ํ•‘ ํ”„๋กœํŒŒ์ผ ๊ฐ™์€ ๊ฑธ ์ตœ์ ํ™”ํ•ด. ์ˆ˜๋ฐฑ ๋ฒˆ์˜ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜์„ ๋Œ๋ ค์„œ ์ตœ์  ์กฐ๊ฑด์„ ์ฐพ๋Š” ๊ฑฐ์ง€. ์‹œ๊ฐ„์€ ์˜ค๋ž˜ ๊ฑธ๋ฆฌ์ง€๋งŒ ์‹ค์ œ ์ œ์กฐ ๋น„์šฉ์„ ํฌ๊ฒŒ ์ค„์ผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด! โฑ๏ธ

๐Ÿ”ธ SPICE ๋ชจ๋ธ๋ง

TCAD๋กœ ์ตœ์ ํ™”ํ•œ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ SPICE ๋ชจ๋ธ๋กœ ๋งŒ๋“ค์–ด์•ผ ํšŒ๋กœ ์„ค๊ณ„์— ์“ธ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. GAA๋Š” ๊ตฌ์กฐ๊ฐ€ ๋ณต์žกํ•ด์„œ ๊ธฐ์กด BSIM ๋ชจ๋ธ๋กœ๋Š” ์ •ํ™•๋„๊ฐ€ ๋–จ์–ด์ ธ. ๊ทธ๋ž˜์„œ ์ƒˆ๋กœ์šด BSIM-IMG(Independent Multi-Gate) ๋ชจ๋ธ์„ ๊ฐœ๋ฐœํ–ˆ์–ด. ๐Ÿ“

์ด ๋ชจ๋ธ์€ ๊ฐ ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ๋ฅผ ๋…๋ฆฝ์ ์œผ๋กœ ๋ชจ๋ธ๋งํ•ด์„œ ์ •ํ™•๋„๋ฅผ ๋†’์˜€์–ด. ์˜ค์ฐจ๊ฐ€ 5% ์ด๋‚ด๋กœ ์ค„์–ด๋“ค์—ˆ์ง€. ๋ชจ๋ธ ํŒŒ๋ผ๋ฏธํ„ฐ๊ฐ€ 100๊ฐœ ์ด์ƒ์ด๋ผ ์ถ”์ถœํ•˜๊ธฐ ์–ด๋ ต์ง€๋งŒ, ์ •ํ™•ํ•œ ํšŒ๋กœ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜์„ ์œ„ํ•ด ํ•„์ˆ˜์•ผ! ๐ŸŽฏ

๐Ÿ”ธ PDK์™€ ์„ค๊ณ„ ๋ฃฐ

PDK(Process Design Kit)๋Š” ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ๊ฐ€ ์ œ๊ณตํ•˜๋Š” ์„ค๊ณ„ ํ‚คํŠธ์•ผ. ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ๋ชจ๋ธ, ํ‘œ์ค€ ์…€ ๋ผ์ด๋ธŒ๋Ÿฌ๋ฆฌ, ์„ค๊ณ„ ๋ฃฐ ๋“ฑ์ด ํฌํ•จ๋ผ ์žˆ์–ด. GAA PDK๋Š” FinFET๋ณด๋‹ค ํ›จ์”ฌ ๋ณต์žกํ•ด. ์ฑ„๋„ ํญ ์˜ต์…˜์ด ๋งŽ๊ณ , ์ ์ธต ๊ฐœ์ˆ˜๋„ ์„ ํƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋‹ˆ๊นŒ! ๐Ÿ“š

์„ค๊ณ„ ๋ฃฐ๋„ ๊นŒ๋‹ค๋กœ์›Œ. ์ตœ์†Œ ๊ฐ„๊ฒฉ, ์ตœ์†Œ ํญ, ์ธ์ ‘ ํšจ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฒŒ ๋” ์—„๊ฒฉํ•ด. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ ์‚ฌ์ด ๊ฐ„๊ฒฉ์€ 5nm ์ด์ƒ์ด์–ด์•ผ ํ•˜๊ณ , ๊ฒŒ์ดํŠธ ํ”ผ์น˜๋Š” 48nm ์ด์ƒ์ด์–ด์•ผ ํ•ด. ์ด๋Ÿฐ ๋ฃฐ์„ ์–ด๊ธฐ๋ฉด ์ œ์กฐ๊ฐ€ ์•ˆ ๋˜๊ฑฐ๋‚˜ ์ˆ˜์œจ์ด ๋–จ์–ด์ ธ. ์„ค๊ณ„์ž๋Š” ์ด ๋ฃฐ์„ ์ฒ ์ €ํžˆ ์ง€์ผœ์•ผ ํ•ด! โš ๏ธ

๐Ÿ”ธ EDA ๋„๊ตฌ ์ฒด์ธ

์‹ค์ œ ์นฉ ์„ค๊ณ„๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ EDA ๋„๊ตฌ๋ฅผ ์—ฐ๊ณ„ํ•ด์„œ ํ•ด. ์ „์ฒด ํ๋ฆ„์€ ์ด๋ž˜:

GAA ์นฉ ์„ค๊ณ„ ํ๋ฆ„ 1. RTL ์„ค๊ณ„: Verilog/VHDL๋กœ ๊ธฐ๋Šฅ ์„ค๊ณ„
2. ๋…ผ๋ฆฌ ํ•ฉ์„ฑ: Synopsys Design Compiler๋กœ ๊ฒŒ์ดํŠธ ๋ ˆ๋ฒจ ๋ณ€ํ™˜
3. ๋ฐฐ์น˜: Cadence Innovus๋กœ ํ‘œ์ค€ ์…€ ๋ฐฐ์น˜
4. ํด๋Ÿญ ํŠธ๋ฆฌ ํ•ฉ์„ฑ: ํด๋Ÿญ ๋ถ„๋ฐฐ ๋„คํŠธ์›Œํฌ ์ƒ์„ฑ
5. ๋ฐฐ์„ : ์‹ ํ˜ธ์„  ์—ฐ๊ฒฐ
6. ํƒ€์ด๋ฐ ๊ฒ€์ฆ: Synopsys PrimeTime์œผ๋กœ ํƒ€์ด๋ฐ ์ฒดํฌ
7. ๋ฌผ๋ฆฌ ๊ฒ€์ฆ: Mentor Calibre๋กœ DRC/LVS ์ฒดํฌ
8. ๊ธฐ์ƒ ์ถ”์ถœ: StarRC๋กœ ๋ฐฐ์„  ๊ธฐ์ƒ ์„ฑ๋ถ„ ์ถ”์ถœ
9. ์ตœ์ข… ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜: ๊ธฐ์ƒ ์„ฑ๋ถ„ ํฌํ•จํ•ด์„œ ์žฌ๊ฒ€์ฆ

๊ฐ ๋‹จ๊ณ„๋งˆ๋‹ค ๋ฐ˜๋ณต๊ณผ ์ตœ์ ํ™”๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•ด. ์ „์ฒด ์„ค๊ณ„์— ์ˆ˜๊ฐœ์›”์ด ๊ฑธ๋ ค!

GAA ์„ค๊ณ„๋Š” FinFET๋ณด๋‹ค 20~30% ์‹œ๊ฐ„์ด ๋” ๊ฑธ๋ ค. ๋ณต์žก๋„๊ฐ€ ๋†’์œผ๋‹ˆ๊นŒ! ํ•˜์ง€๋งŒ ์„ฑ๋Šฅ ํ–ฅ์ƒ์„ ์ƒ๊ฐํ•˜๋ฉด ์ถฉ๋ถ„ํžˆ ๊ฐ€์น˜ ์žˆ๋Š” ํˆฌ์ž์•ผ. ๐Ÿš€

๐Ÿ’ผ GAA ๊ธฐ์ˆ ๊ณผ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฐ์—…์˜ ๋ฏธ๋ž˜

GAA๋Š” ๋‹จ์ˆœํžˆ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ ๊ตฌ์กฐ์˜ ๋ณ€ํ™”๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ์•ผ. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฐ์—… ์ „์ฒด์˜ ํŒ๋„๋ฅผ ๋ฐ”๊พธ๊ณ  ์žˆ์–ด! ๐ŸŒ

๐Ÿ”น ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ๊ฒฝ์Ÿ ๊ตฌ๋„ ๋ณ€ํ™”

GAA ์–‘์‚ฐ ๋Šฅ๋ ฅ์ด ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ์˜ ๊ฒฝ์Ÿ๋ ฅ์„ ๊ฒฐ์ •ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ์‚ผ์„ฑ์ด 3nm GAA๋ฅผ ๋จผ์ € ์–‘์‚ฐํ•˜๋ฉด์„œ TSMC๋ฅผ ์ถ”๊ฒฉํ•˜๊ณ  ์žˆ์ง€. TSMC๋Š” 2025๋…„ 2nm GAA๋กœ ๋ฐ˜๊ฒฉํ•  ์˜ˆ์ •์ด๊ณ . ์ธํ…”๋„ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ์‚ฌ์—…์— ๋›ฐ์–ด๋“ค๋ฉด์„œ 3ํŒŒ์ „ ๊ตฌ๋„๊ฐ€ ํ˜•์„ฑ๋˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ๐ŸฅŠ

์ค‘์š”ํ•œ ๊ฑด ๊ธฐ์ˆ ๋ ฅ๋ฟ ์•„๋‹ˆ๋ผ ์ˆ˜์œจ๊ณผ ๋น„์šฉ์ด์•ผ. ์•„๋ฌด๋ฆฌ ์„ฑ๋Šฅ์ด ์ข‹์•„๋„ ์ˆ˜์œจ์ด ๋‚ฎ์œผ๋ฉด ๊ณ ๊ฐ์ด ์•ˆ ์™€. TSMC๊ฐ€ ๊ฐ•ํ•œ ์ด์œ ๋Š” 90% ์ด์ƒ์˜ ๋†’์€ ์ˆ˜์œจ ๋•Œ๋ฌธ์ด๊ฑฐ๋“ . ์‚ผ์„ฑ๋„ ์ˆ˜์œจ์„ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ๊ฐœ์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. 2024๋…„ ๋ง์—๋Š” 80% ์ด์ƒ์œผ๋กœ ์˜ฌ๋ผ๊ฐˆ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์˜ˆ์ƒ๋ผ. ๐Ÿ“ˆ

๐Ÿ”น ์„ค๊ณ„ ํšŒ์‚ฌ์˜ ๋Œ€์‘

ํŒน๋ฆฌ์Šค(์„ค๊ณ„ ์ „๋ฌธ) ํšŒ์‚ฌ๋“ค๋„ GAA์— ์ ์‘ํ•ด์•ผ ํ•ด. ๊ธฐ์กด ์„ค๊ณ„๋ฅผ ๊ทธ๋Œ€๋กœ ์“ธ ์ˆ˜ ์—†๊ฑฐ๋“ . ๋””์ž์ธ ๋งˆ์ด๊ทธ๋ ˆ์ด์…˜(Design Migration)์ด ํ•„์š”ํ•ด. ๐Ÿ”„

ํ€„์ปด, ์—”๋น„๋””์•„, AMD ๊ฐ™์€ ํšŒ์‚ฌ๋“ค์€ ์ด๋ฏธ GAA ์„ค๊ณ„ ํŒ€์„ ๊พธ๋ ธ์–ด. ์ƒˆ๋กœ์šด PDK๋ฅผ ๋ฐฐ์šฐ๊ณ , ์„ค๊ณ„ ๋ฐฉ๋ฒ•๋ก ์„ ์—…๋ฐ์ดํŠธํ•˜๊ณ , IP๋ฅผ ์žฌ์„ค๊ณ„ํ•˜๋Š” ์ž‘์—…์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์ง€. ์ด๊ฒŒ 1~2๋…„ ๊ฑธ๋ฆฌ๋Š” ํฐ ํ”„๋กœ์ ํŠธ์•ผ. ํ•˜์ง€๋งŒ GAA์˜ ์„ฑ๋Šฅ ํ–ฅ์ƒ์„ ์ƒ๊ฐํ•˜๋ฉด ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ํˆฌ์ž์ง€! ๐Ÿ’ช

๐Ÿ”น ์žฅ๋น„ ์—…์ฒด์˜ ๊ธฐํšŒ

GAA ์ œ์กฐ์—๋Š” ์ฒจ๋‹จ ์žฅ๋น„๊ฐ€ ํ•„์ˆ˜์•ผ. ์ด๊ฒŒ ์žฅ๋น„ ์—…์ฒด๋“ค์—๊ฒŒ๋Š” ํฐ ๊ธฐํšŒ์ง€! ๐ŸŽฐ

GAA ํ•ต์‹ฌ ์žฅ๋น„ โ€ข ASML: EUV ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ ์žฅ๋น„ (Twinscan NXE ์‹œ๋ฆฌ์ฆˆ)
โ€ข Applied Materials: ์—ํ”ผํƒ์…œ ์„ฑ์žฅ, CVD, ์‹๊ฐ ์žฅ๋น„
โ€ข Lam Research: ์›์ž์ธต ์‹๊ฐ(ALE), ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ์‹๊ฐ
โ€ข Tokyo Electron: ์ฆ์ฐฉ, ์‹๊ฐ, ์„ธ์ • ์žฅ๋น„
โ€ข KLA: ๊ฒ€์‚ฌ ๋ฐ ์ธก์ • ์žฅ๋น„

์ด ํšŒ์‚ฌ๋“ค์˜ ์ฃผ๊ฐ€๊ฐ€ GAA ์–‘์‚ฐ๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ๊ธ‰๋“ฑํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด! ๐Ÿ“Š

ํŠนํžˆ EUV ์žฅ๋น„๋Š” GAA์˜ ํ•ต์‹ฌ์ด์•ผ. ASML์ด ๋…์  ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๋Š”๋ฐ, ํ•œ ๋Œ€์— 2,000์–ต ์›์ด ๋„˜์–ด. ๊ทธ๋Ÿฐ๋ฐ๋„ ์ฃผ๋ฌธ์ด ๋ฐ€๋ ค์„œ 2๋…„ ์ด์ƒ ๊ธฐ๋‹ค๋ ค์•ผ ํ•ด. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—…์ฒด๋“ค์ด GAA ์–‘์‚ฐ์„ ์œ„ํ•ด ์ˆ˜์‹ญ ๋Œ€์”ฉ ์ฃผ๋ฌธํ•˜๊ณ  ์žˆ๊ฑฐ๋“ ! ๐Ÿ’ฐ

๐Ÿ”น ์ธ์žฌ ์ˆ˜์š” ์ฆ๊ฐ€

GAA ๊ธฐ์ˆ  ๊ฐœ๋ฐœ๊ณผ ์–‘์‚ฐ์œผ๋กœ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ธ์žฌ ์ˆ˜์š”๊ฐ€ ํญ๋ฐœ์ ์œผ๋กœ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ํŠนํžˆ ๊ณต์ • ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด, ์„ค๊ณ„ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด, ์žฅ๋น„ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ๋ถ€์กฑํ•ด. ๐ŸŽ“

์‚ผ์„ฑ์ „์ž์™€ TSMC๋Š” ๋งค๋…„ ์ˆ˜์ฒœ ๋ช…์”ฉ ์ฑ„์šฉํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด. ์ดˆ๋ด‰๋„ ๋†’์•„์ง€๊ณ  ์žˆ์ง€. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ „๊ณต์ž๋Š” ์ทจ์—… ๊ฑฑ์ •์ด ์—†๋Š” ์‹œ๋Œ€์•ผ! ๋งŒ์•ฝ ์ „๊ธฐ์ „์ž๊ณตํ•™์„ ๊ณต๋ถ€ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค๋ฉด, GAA ๊ฐ™์€ ์ตœ์‹  ๊ธฐ์ˆ ์„ ๋ฐฐ์›Œ๋‘๋ฉด ํฐ ๋„์›€์ด ๋  ๊ฑฐ์•ผ. ์žฌ๋Šฅ๋„ท ๊ฐ™์€ ํ”Œ๋žซํผ์—์„œ ๊ด€๋ จ ์ง€์‹์„ ๊ณต์œ ํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ๋ฐฐ์šธ ์ˆ˜๋„ ์žˆ๊ณ ! ๐Ÿ˜Š

๐ŸŽฏ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ๋˜๋ ค๋ฉด? ํ•„์š”ํ•œ ์ง€์‹:
โ€ข ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ฌผ๋ฆฌํ•™ (์–‘์ž์—ญํ•™, ๊ณ ์ฒด๋ฌผ๋ฆฌ)
โ€ข ์ „์žํšŒ๋กœ (์•„๋‚ ๋กœ๊ทธ, ๋””์ง€ํ„ธ)
โ€ข ๊ณต์ • ๊ธฐ์ˆ  (๋ฐ•๋ง‰, ์‹๊ฐ, ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ)
โ€ข ์„ค๊ณ„ ๋„๊ตฌ (Cadence, Synopsys, Mentor)
โ€ข ํ”„๋กœ๊ทธ๋ž˜๋ฐ (Python, C++, Verilog)

์ถ”์ฒœ ์ง„๋กœ:
โ€ข ๋Œ€ํ•™: ์ „๊ธฐ์ „์ž๊ณตํ•™, ๋ฐ˜๋„์ฒด๊ณตํ•™ ์ „๊ณต
โ€ข ๋Œ€ํ•™์›: ์„์‚ฌ ์ด์ƒ (์—ฐ๊ตฌ๊ฐœ๋ฐœ์ง์€ ๊ฑฐ์˜ ํ•„์ˆ˜)
โ€ข ์ธํ„ด: ๋ฐฉํ•™ ๋•Œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ํšŒ์‚ฌ ์ธํ„ด ๊ฒฝํ—˜
โ€ข ์ž๊ฒฉ์ฆ: ๋ฐ˜๋„์ฒด์„ค๊ณ„๊ธฐ์‚ฌ, ๋ฐ˜๋„์ฒด์ œ์กฐ๊ธฐ์‚ฌ

์—ด์‹ฌํžˆ ๊ณต๋ถ€ํ•˜๋ฉด ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์—…์—์„œ ์ผํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด! ๐ŸŒŸ

๐ŸŒฑ GAA ๊ธฐ์ˆ ์˜ ํ™˜๊ฒฝ์  ์˜ํ–ฅ

๊ธฐ์ˆ  ๋ฐœ์ „๋งŒํผ ์ค‘์š”ํ•œ ๊ฒŒ ํ™˜๊ฒฝ์ด์•ผ. GAA๋Š” ํ™˜๊ฒฝ์— ์–ด๋–ค ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น ๊นŒ? ๐ŸŒ

๐Ÿ”ธ ์—๋„ˆ์ง€ ํšจ์œจ ๊ฐœ์„ 

GAA์˜ ๊ฐ€์žฅ ํฐ ํ™˜๊ฒฝ์  ์ด์ ์€ ์—๋„ˆ์ง€ ํšจ์œจ์ด์•ผ. ๊ฐ™์€ ์„ฑ๋Šฅ์—์„œ ์ „๋ ฅ์„ 50% ์ค„์ผ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฑด, ์ „ ์„ธ๊ณ„์ ์œผ๋กœ ์—„์ฒญ๋‚œ ์—๋„ˆ์ง€ ์ ˆ๊ฐ์ด์•ผ! โšก

์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ๋ฐ์ดํ„ฐ์„ผํ„ฐ๋Š” ์ „ ์„ธ๊ณ„ ์ „๋ ฅ์˜ 1~2%๋ฅผ ์†Œ๋น„ํ•ด. GAA ์นฉ์œผ๋กœ ์ „ํ™˜ํ•˜๋ฉด ์ด ์ค‘ ์ ˆ๋ฐ˜์„ ์ค„์ผ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ์—ฐ๊ฐ„ ์ˆ˜๋ฐฑ TWh์˜ ์ „๋ ฅ ์ ˆ๊ฐ์ด์ง€. ์ด์‚ฐํ™”ํƒ„์†Œ ๋ฐฐ์ถœ๋„ ์ˆ˜์ฒœ๋งŒ ํ†ค ์ค„์–ด๋“ค์–ด. ๊ธฐํ›„๋ณ€ํ™” ๋Œ€์‘์— ํฐ ๋„์›€์ด ๋˜๋Š” ๊ฑฐ์•ผ! ๐ŸŒฑ

๐Ÿ”ธ ์ œ์กฐ ๊ณผ์ •์˜ ํ™˜๊ฒฝ ๋ถ€๋‹ด

ํ•˜์ง€๋งŒ GAA ์ œ์กฐ ๊ณผ์ •์€ ํ™˜๊ฒฝ ๋ถ€๋‹ด์ด ์ปค. ๊ณต์ • ๋‹จ๊ณ„๊ฐ€ ๋งŽ์•„์„œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์‚ฌ์šฉ๋Ÿ‰์ด ๋Š˜์–ด๋‚˜๊ฑฐ๋“ . ํŠนํžˆ ๋ถˆํ™”์ˆ˜์†Œ(HF), ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„(NHโ‚ƒ), ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ(Hโ‚‚Oโ‚‚) ๊ฐ™์€ ์œ„ํ—˜ ๋ฌผ์งˆ์„ ๋งŽ์ด ์จ. โš ๏ธ

๋ฌผ ์‚ฌ์šฉ๋Ÿ‰๋„ ์—„์ฒญ๋‚˜. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์žฅ ํ•˜๋‚˜๊ฐ€ ํ•˜๋ฃจ์— ์ˆ˜๋งŒ ํ†ค์˜ ๋ฌผ์„ ์“ฐ๊ฑฐ๋“ . GAA๋Š” ์„ธ์ • ๊ณต์ •์ด ๋” ๋งŽ์•„์„œ ๋ฌผ ์‚ฌ์šฉ๋Ÿ‰์ด 20~30% ์ฆ๊ฐ€ํ•ด. ์ด๊ฒŒ ํ™˜๊ฒฝ ๋ฌธ์ œ๋กœ ์ง€์ ๋ฐ›๊ณ  ์žˆ์–ด. ๐Ÿ’ง

๋ฐ˜๋„์ฒด ์—…๊ณ„์˜ ํ™˜๊ฒฝ ๋Œ€์‘ โ€ข ์žฌ์ƒ์—๋„ˆ์ง€ ์‚ฌ์šฉ: ์‚ผ์„ฑ, TSMC๋Š” 2030๋…„๊นŒ์ง€ ์žฌ์ƒ์—๋„ˆ์ง€ 100% ๋ชฉํ‘œ
โ€ข ๋ฌผ ์žฌํ™œ์šฉ: ํ์ˆ˜ ์ฒ˜๋ฆฌ ํ›„ ์žฌ์‚ฌ์šฉ, ์žฌํ™œ์šฉ๋ฅ  90% ์ด์ƒ
โ€ข ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์ €๊ฐ: ์นœํ™˜๊ฒฝ ๋Œ€์ฒด ๋ฌผ์งˆ ๊ฐœ๋ฐœ
โ€ข ํƒ„์†Œ ํฌ์ง‘: ๊ณต์ • ์ค‘ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” COโ‚‚ ํฌ์ง‘ ๋ฐ ์ €์žฅ
โ€ข ํ๊ธฐ๋ฌผ ์žฌํ™œ์šฉ: ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์›จ์ดํผ ์žฌ์ƒ, ๊ธˆ์† ํšŒ์ˆ˜

ํ™˜๊ฒฝ๊ณผ ๊ธฐ์ˆ  ๋ฐœ์ „์„ ๋™์‹œ์— ์ถ”๊ตฌํ•˜๋Š” ๊ฒŒ ๊ณผ์ œ์•ผ! ๐ŸŒฟ

๐Ÿ”ธ ์ œํ’ˆ ์ˆ˜๋ช…๊ณผ ์ „์ž ํ๊ธฐ๋ฌผ

GAA ์นฉ์€ ์„ฑ๋Šฅ์ด ์ข‹์•„์„œ ์ œํ’ˆ ์ˆ˜๋ช…์ด ๊ธธ์–ด์งˆ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ์Šค๋งˆํŠธํฐ์„ 2๋…„์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ 3~4๋…„ ์“ธ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋ฉด, ์ „์ž ํ๊ธฐ๋ฌผ์ด ์ค„์–ด๋“ค๊ฒ ์ง€? โ™ป๏ธ

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๐ŸŽฌ ๋งˆ๋ฌด๋ฆฌ: GAA๊ฐ€ ์—ฌ๋Š” ๋ฏธ๋ž˜

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โœ… ์žฅ์ : ์ตœ๊ณ ์˜ ๊ฒŒ์ดํŠธ ์ œ์–ด๋ ฅ, ๋ˆ„์„ค ์ „๋ฅ˜ ์ตœ์†Œํ™”, ์„ฑ๋Šฅ๊ณผ ์ „๋ ฅ ํšจ์œจ ๋™์‹œ ๊ฐœ์„ 

โœ… ์ข…๋ฅ˜: ๋‚˜๋…ธ์‹œํŠธ(ํ˜„์žฌ), ๋‚˜๋…ธ์™€์ด์–ด(๋ฏธ๋ž˜)

โœ… ์ œ์กฐ: EUV ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ, ์›์ž์ธต ์ฆ์ฐฉ, ์„ ํƒ์  ์‹๊ฐ ๋“ฑ ์ฒจ๋‹จ ๊ณต์ • ํ•„์š”

โœ… ์‘์šฉ: ์Šค๋งˆํŠธํฐ, ์„œ๋ฒ„, AI ์นฉ, ์ž๋™์ฐจ, ์˜๋ฃŒ๊ธฐ๊ธฐ ๋“ฑ ๋ชจ๋“  ๋ถ„์•ผ

โœ… ๊ณผ์ œ: ์ œ์กฐ ๋‚œ์ด๋„, ๋น„์šฉ, ์ˆ˜์œจ, ์—ด ๊ด€๋ฆฌ

โœ… ๋ฏธ๋ž˜: 2nm, 1.4nm๋กœ ๊ณ„์† ๋ฐœ์ „, ์ดํ›„ CFET, 2D ์†Œ์žฌ๋กœ ์ง„ํ™”

GAA๋Š” ๋ฌด์–ด์˜ ๋ฒ•์น™์„ ์—ฐ์žฅํ•˜๊ณ  ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฐ์—…์˜ ๋ฏธ๋ž˜๋ฅผ ์—ฌ๋Š” ํ•ต์‹ฌ ๊ธฐ์ˆ ์ด์•ผ! ๐Ÿš€

GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋Š” ๋‹จ์ˆœํ•œ ๊ธฐ์ˆ  ๋ฐœ์ „์ด ์•„๋‹ˆ์•ผ. ์šฐ๋ฆฌ ์‚ถ์„ ๋ฐ”๊พธ๋Š” ํ˜์‹ ์ด์ง€. ๋” ๋น ๋ฅธ ์Šค๋งˆํŠธํฐ, ๋” ์˜ค๋ž˜ ๊ฐ€๋Š” ๋ฐฐํ„ฐ๋ฆฌ, ๋” ๋˜‘๋˜‘ํ•œ AI, ๋” ์•ˆ์ „ํ•œ ์ž์œจ์ฃผํ–‰์ฐจ... ์ด ๋ชจ๋“  ๊ฒŒ GAA ๋•๋ถ„์— ๊ฐ€๋Šฅํ•ด์ง€๊ณ  ์žˆ์–ด. ๐ŸŒˆ

๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์ˆ ์€ ๊ณ„์† ์ง„ํ™”ํ•  ๊ฑฐ์•ผ. GAA ์ดํ›„์—๋„ CFET, 2D ์†Œ์žฌ, ํƒ„์†Œ ๋‚˜๋…ธํŠœ๋ธŒ ๊ฐ™์€ ์ƒˆ๋กœ์šด ๊ธฐ์ˆ ๋“ค์ด ๊ธฐ๋‹ค๋ฆฌ๊ณ  ์žˆ์–ด. ์–ด์ฉŒ๋ฉด ์ง€๊ธˆ ์ด ๊ธ€์„ ์ฝ๋Š” ๋„ˆํฌ ์ค‘ ๋ˆ„๊ตฐ๊ฐ€๊ฐ€ ์ฐจ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœํ• ์ง€๋„ ๋ชฐ๋ผ! ๐ŸŽ“

์ „๊ธฐ์ „์ž๊ณตํ•™, ํŠนํžˆ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ„์•ผ๋Š” ์ •๋ง ํฅ๋ฏธ์ง„์ง„ํ•œ ๋ถ„์•ผ์•ผ. ๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ ์„ธ๊ณ„์—์„œ ์›์ž๋ฅผ ๋‹ค๋ฃจ๋Š” ๊ธฐ์ˆ , ์–‘์ž์—ญํ•™์„ ์‘์šฉํ•˜๋Š” ๋ฌผ๋ฆฌํ•™, ๋ณต์žกํ•œ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์„ค๊ณ„ํ•˜๋Š” ๊ณตํ•™... ๋ชจ๋“  ๊ฒŒ ์–ด์šฐ๋Ÿฌ์ง„ ์ข…ํ•ฉ ์˜ˆ์ˆ ์ด์ง€. ์–ด๋ ต์ง€๋งŒ ๊ทธ๋งŒํผ ๋ณด๋žŒ๋„ ํฌ๊ณ ! ๐Ÿ’ช

๋งŒ์•ฝ ์ด ๋ถ„์•ผ์— ๊ด€์‹ฌ์ด ์ƒ๊ฒผ๋‹ค๋ฉด, ๋” ๊ณต๋ถ€ํ•ด๋ณด๊ธธ ์ถ”์ฒœํ•ด. ๋Œ€ํ•™ ๊ฐ•์˜, ์˜จ๋ผ์ธ ์ฝ”์Šค, ๋…ผ๋ฌธ, ํŠนํ—ˆ ๋“ฑ ๋ฐฐ์šธ ์ž๋ฃŒ๊ฐ€ ๋งŽ์•„. ์žฌ๋Šฅ๋„ท ๊ฐ™์€ ํ”Œ๋žซํผ์—์„œ ์ „๋ฌธ๊ฐ€์—๊ฒŒ ๋ฐฐ์šฐ๊ฑฐ๋‚˜, ๋ฐ˜๋Œ€๋กœ ๋„ˆ์˜ ์ง€์‹์„ ๊ณต์œ ํ•  ์ˆ˜๋„ ์žˆ์–ด. ํ•จ๊ป˜ ๋ฐฐ์šฐ๊ณ  ์„ฑ์žฅํ•˜๋Š” ๊ฒŒ ์ค‘์š”ํ•˜๋‹ˆ๊นŒ! ๐Ÿ“š

๊ธฐ์ˆ ์€ ๊ณ„์† ๋ฐœ์ „ํ•˜์ง€๋งŒ, ๊ทธ ๊ธฐ์ˆ ์„ ๋งŒ๋“ค๊ณ  ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฑด ๊ฒฐ๊ตญ ์‚ฌ๋žŒ์ด์•ผ. GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ๋„ ์ˆ˜๋งŽ์€ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋“ค์˜ ๋•€๊ณผ ๋…ธ๋ ฅ์ด ๋งŒ๋“ค์–ด๋‚ธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฌผ์ด์ง€. ์šฐ๋ฆฌ๋„ ๊ฐ์ž์˜ ์ž๋ฆฌ์—์„œ ์„ธ์ƒ์„ ๋” ๋‚˜์€ ๊ณณ์œผ๋กœ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ์–ด. ๊ธฐ์ˆ ๋กœ, ์ง€์‹์œผ๋กœ, ์žฌ๋Šฅ์œผ๋กœ! ๐ŸŒŸ

๊ธด ๊ธ€ ์ฝ์–ด์ค˜์„œ ๊ณ ๋งˆ์›Œ! GAA ํŠธ๋žœ์ง€์Šคํ„ฐ์— ๋Œ€ํ•ด ๊ถ๊ธˆํ•œ ๊ฒŒ ์žˆ์œผ๋ฉด ์–ธ์ œ๋“  ๋” ์ฐพ์•„๋ณด๊ณ , ์งˆ๋ฌธํ•˜๊ณ , ํ† ๋ก ํ•ด๋ด. ์ง€์‹์€ ๋‚˜๋ˆŒ์ˆ˜๋ก ์ปค์ง€๋‹ˆ๊นŒ! ๋‹ค์Œ์— ๋˜ ์žฌ๋ฏธ์žˆ๋Š” ๊ธฐ์ˆ  ์ด์•ผ๊ธฐ๋กœ ๋งŒ๋‚˜์ž. ์•ˆ๋…•! ๐Ÿ‘‹

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